一种半导体外延片的制作方法

本实用新型涉及led生产技术领域，尤其涉及一种半导体外延片。

背景技术：

外延是半导体工艺当中的一种。在bipolar工艺中，硅片最底层是p型衬底硅(有的加点埋层)；然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层；再后来在外延层上注入基区、发射区等等。最后基本形成纵向npn管结构：外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区。经检索，申请号为201621109547.6的专利文献公开了一种半导体外延片，包括圆形衬底和设置在所述圆形衬底上表面的半导体晶体层，其特征在于所述衬底上表面和半导体晶体层的上表面的边缘设置连续切角。本实用新型将外延片加工成边缘设置连续切角的形状，以确保制成的外延表面平整，在后续的芯片加工中不会因为翘曲引起研磨的破片。

该专利提出的一种半导体外延片中，外延片存在拆装不便，且在使用时，外延片上容易产生积尘，不便于进行清理。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体外延片。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体外延片，包括安装块，所述安装块的一侧开设有安装槽，安装槽内活动安装有外延片本体，所述安装槽内滑动安装有缓冲板，所述缓冲板远离安装槽开口的一侧均匀焊接有多个第一弹簧的一端，第一弹簧的另一端焊接于安装槽的内壁上，所述缓冲板的另一侧和外延片本体相接触，所述安装块的一侧开设有两个连接槽，安装槽位于两个连接槽之间，连接槽内滑动安装有滑杆，连接槽远离连接槽开口的一侧内壁上焊接有第二弹簧的一端，第二弹簧的另一端焊接于对应的滑杆的一侧，滑杆的另一侧延伸至安装块的外侧并转动安装有连接轴，连接轴靠近安装块的一侧焊接有定位块，外延片本体远离缓冲板的一侧开设有两个定位槽，定位块和对应的定位槽相卡装。

优选的，所述安装块的顶部焊接有固定座，固定座的底部分别开设有水平槽，水平槽内滑动安装有连接座，固定座的一侧固定安装有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至水平槽内并与连接座相卡装。

优选的，所述连接座上转动安装有连接杆的一端，固定座的底部开设有滑槽，滑槽内滑动安装有推拉杆。

优选的，所述推拉杆的底端延伸至固定座的下方并焊接有刷块，刷块靠近安装块的一侧设有刷毛，刷毛和外延片本体的一侧相接触。

优选的，所述刷块靠近安装块的一侧设有刷毛，刷毛和外延片本体的一侧相接触。

优选的，所述连接槽的顶部内壁和底部内壁上均开设有限位槽，滑杆的顶部和底部均焊接有限位块，限位块滑动安装于对应的限位槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过缓冲板、第一弹簧、连接槽、滑杆、第二弹簧、连接轴、定位块和定位槽相配合，能够更加方便对外延片本体进行拆装，便于对外延片本体进行检修、更换，同时在使用时，通过推杆电机的运作，能够带动刷毛在外延片本体的裸露的一侧来回刷动，从而方便对外延片本体进行除尘；

本实用新型便于对外延片本体进行拆装，便于对外延片本体进行检修、更换，同时便于对外延片本体进行除尘，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体外延片的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种半导体外延片的a部分结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种半导体外延片的b部分结构示意图。

图中：1安装块、2安装槽、3外延片本体、4缓冲板、5第一弹簧、6连接槽、7滑杆、8第二弹簧、9连接轴、10定位块、11定位槽、12固定座、13水平槽、14连接座、15推杆电机、16连接杆、17刷块、18刷毛、19滑槽、20推拉杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种半导体外延片，包括安装块1，安装块1的一侧开设有安装槽2，安装槽2内活动安装有外延片本体3，安装槽2内滑动安装有缓冲板4，缓冲板4远离安装槽2开口的一侧均匀焊接有多个第一弹簧5的一端，第一弹簧5的另一端焊接于安装槽2的内壁上，缓冲板4的另一侧和外延片本体3相接触，安装块1的一侧开设有两个连接槽6，安装槽2位于两个连接槽6之间，连接槽6内滑动安装有滑杆7，连接槽6远离连接槽6开口的一侧内壁上焊接有第二弹簧8的一端，第二弹簧8的另一端焊接于对应的滑杆7的一侧，滑杆7的另一侧延伸至安装块1的外侧并转动安装有连接轴9，连接轴9靠近安装块1的一侧焊接有定位块10，外延片本体3远离缓冲板4的一侧开设有两个定位槽11，定位块10和对应的定位槽11相卡装，通过缓冲板4、第一弹簧5、连接槽6、滑杆7、第二弹簧8、连接轴9、定位块10和定位槽11相配合，能够更加方便对外延片本体3进行拆装，便于对外延片本体3进行检修、更换，同时在使用时，通过推杆电机15的运作，能够带动刷毛18在外延片本体3的裸露的一侧来回刷动，从而方便对外延片本体3进行除尘，本实用新型便于对外延片本体3进行拆装，便于对外延片本体3进行检修、更换，同时便于对外延片本体3进行除尘，结构简单，使用方便。

本实用新型中，安装块1的顶部焊接有固定座12，固定座12的底部分别开设有水平槽13，水平槽13内滑动安装有连接座14，固定座12的一侧固定安装有推杆电机15，推杆电机15的输出轴延伸至水平槽13内并与连接座14相卡装，连接座14上转动安装有连接杆16的一端，固定座12的底部开设有滑槽19，滑槽19内滑动安装有推拉杆20，推拉杆20的底端延伸至固定座12的下方并焊接有刷块17，刷块17靠近安装块1的一侧设有刷毛18，刷毛18和外延片本体3的一侧相接触，刷块17靠近安装块1的一侧设有刷毛18，刷毛18和外延片本体3的一侧相接触，连接槽6的顶部内壁和底部内壁上均开设有限位槽，滑杆7的顶部和底部均焊接有限位块，限位块滑动安装于对应的限位槽内，通过缓冲板4、第一弹簧5、连接槽6、滑杆7、第二弹簧8、连接轴9、定位块10和定位槽11相配合，能够更加方便对外延片本体3进行拆装，便于对外延片本体3进行检修、更换，同时在使用时，通过推杆电机15的运作，能够带动刷毛18在外延片本体3的裸露的一侧来回刷动，从而方便对外延片本体3进行除尘，本实用新型便于对外延片本体3进行拆装，便于对外延片本体3进行检修、更换，同时便于对外延片本体3进行除尘，结构简单，使用方便。

工作原理：在使用时，首先通过来动两个连接轴9，连接轴9带动滑杆7在连接槽6内滑动带动第二弹簧8受力拉伸，同时连接轴9带动定位块10脱离对应的定位槽11，从而解除对外延片本体3的限位，在转动连接轴9，使连接轴9带动定位块10离开外延片11，通过第一弹簧5的弹力使得外延片本体3的一侧小幅度弹出安装槽2，从而实现对外延片本体3的拆除，同样，通过将外延片本体3挤压至安装槽2内，在转动连接轴9，使定位块10卡装至定位槽11内，从而实现对外延片本体3安装，在需要除尘时，启动推杆电机15，推杆电机15的输出轴伸缩带动连接座14在水平槽13内滑动，连接座14带动连接杆16转动移动，连接杆17带动刷块17移动，通过滑槽19和推拉杆20的配合，保证刷块17上下滑动不偏位，从而带动刷毛18在外延片本体3的一侧来回刷动，从而对外延片本体3的一侧进行除尘。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。