1.一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,包括:
真空管路(7),为一真空的空心腔室;
氩气枪(2),设置于所述真空管路(7)的一侧,用于产生氩气束(8),并将氩气束(8)输送至所述真空管路(7)内;
汇聚管路(6),设置于所述真空管路(7)的另一侧,且其与所述真空管路(7)连通;
所述真空管路(7)内,沿着所述氩气束(8)的流动方向依次间隔设置有电离系统、加速系统和中和系统,其中:
电离系统,用于提供电场,将氩气束(8)电离为氩等离子体束(9);
加速系统,用于提供电场,对所述氩等离子体束(9)进一步加速;
中和系统,用于过滤经加速的所述氩等离子体束(9),并将其转换为氩原子束(10),所述氩原子束(10)汇聚于所述汇聚管路(6)处并加速输出。
2.如权利要求1所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,所述电离系统,为包括多个间隔并列设置的带孔正电压金属板(3),每个带孔正电压金属板(3)的中心均设置有通孔,所述通孔用于供所述氩气束(8)穿过,各个所述带孔正电压金属板(3)外接电压,各个所述外接电压按照所述氩气束(8)流动的方向为逐级降压。
3.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,所述加速系统,为一带孔接地金属板(4),所述带孔接地金属板(4)的中心设置有通孔,所述通孔用于供所述氩等离子体束(9)穿过。
4.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,所述中和系统,为采用易于发射负电子或者亲和势低的金属制成的金属网(5),所述金属网(5)的网孔用于供所述氩等离子体束(9)通过,所述金属网(5)包括多根金属丝,各个所述金属丝平行设置或交叉设置。
5.如权利要求4所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,所述金属网(5)的金属丝为交叉设置的,其形成的网孔形状为方形、圆形或者多边形。
6.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,所述氩气枪(2)的喷射压力大于1.5个大气压。
7.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,所述氩气束(8)的流量为10-300sccm,所述氩气枪(2)的喷射孔直径为0.05-0.5cm,所述汇聚管路(6)的直径为0.5-2cm。
8.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,设相邻带孔正电压金属板(3)之间的间距均为l1,设相邻所述带孔正电压金属板(3)和所述带孔接地金属板(4)之间的间距为l2,要求l1<l2。
9.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置,其特征在于,相邻的带孔正电压金属板(3)和带孔接地金属板(4)之间的间距为5-20cm,所述带孔正电压金属板(3)和带孔接地金属板(4)上的小孔直径均为0.5-2cm。