一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具的制作方法

本实用新型涉及制造设备技术领域，具体为一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具。

背景技术：

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。

但是，现有的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具在使用过程中存在以下缺点：

1、而现有的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具操作比较繁琐，使用非常的不方便。

2、现有的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具在对硅片进行夹持时，只对硅片的四角处进行固定，对硅片夹持的稳定性较差。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，以解决上述背景技术中而现有的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具操作比较繁琐，使用非常的不方便，现有的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具在对硅片进行夹持时，只对硅片的四角处进行固定，对硅片夹持的稳定性较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括凸形底座和限位槽，所述凸形底座上表面开设有限位槽，所述凸形底座上表面边角处均转动连接有z字型压架，且z字型压架共设置有四组，所述z字型压架一端插接有固定轴，所述z字型压架通过固定轴与凸形底座相连，所述z字型压架另一端底部均粘贴有橡胶压盘，所述橡胶压盘下表面中间均一体成型有定位柱，所述定位柱一端均一体成型有倒锥形胶塞，所述z字型压架另一端侧壁均转动连接有压杆。

优选的，所述压杆下表面均粘贴有橡胶垫，通过压杆可对硅片进行施压，且压杆底部通过橡胶垫与硅片进行连接，从而有效避免压杆对硅片表面造成损伤。

优选的，所述相邻两组的压杆一端分别设置有榫头和榫槽，且榫头和榫槽相互配合，通过榫头和榫槽相互配合从而可对压杆一端进行连接。

优选的，所述凸形底座内腔转动设置有齿轮盘，所述齿轮盘表面咬合连接有空心齿轮轴，所述空心齿轮轴共设置有四组，且分别位于凸形底座内腔边角处，齿轮盘在转动时，可通过表面的齿槽同步带动空心齿轮轴进行转动。

优选的，所述空心齿轮轴下表面均一体成型有一号斜面圆盘，所述固定轴另一端均贯穿空心齿轮轴，且固定轴另一端连接有二号斜面圆盘，所述二号斜面圆盘和一号斜面圆盘相互配合，空心齿轮轴在转动时同步带动一号斜面圆盘进行偏转，并通过一号斜面圆盘和二号斜面圆盘相互配合，从而通过固定轴对z字型压架一个向下的压力。

优选的，所述凸形底座下表面开设有凹槽，所述凹槽内腔设置有转盘，且转盘顶部通过连杆与齿轮盘相连，通过转动转盘可带动齿轮盘进行转动，其中转盘位于凹槽内腔，可使凸形底座底部更加的平整。

本实用新型提供了一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，具备以下有益效果：

(1)、本实用新型通过旋转凹槽内的转盘，通过转盘可带动齿轮盘进行转动，齿轮盘可同步带动空心齿轮轴进行转轴，其中空心齿轮轴共设置有四组，且每组底部均一体成型有一号斜面圆盘，一号斜面圆盘在偏转时，斜面与二号斜面圆盘相互挤压，从而可通过二号斜面圆盘对固定轴施加一个向下的力，固定轴将力传递到z字型压架，从而可通过z字型压架一端的橡胶压盘对硅片表面进行施压，且只需一步即可对硅片进行夹持，使用更加的方便。

(2)、本实用新型通过旋转压杆，压杆之间通过榫头和榫槽相互配合，并连接在一起，通过压杆可对硅片进行施压，从而将进一步的提升对硅片夹持的稳定性，且压杆底部通过橡胶垫与硅片进行连接，从而有效避免压杆对硅片表面造成损伤。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图；

图3为本实用新型的榫卯结构示意图。

图中：1、凸形底座；101、限位槽；2、z字型压架；201、固定轴；202、橡胶压盘；203、定位柱；204、倒锥形胶塞；3、压杆；301、橡胶垫；302、榫头；303、榫槽；4、齿轮盘；401、空心齿轮轴；402、一号斜面圆盘；403、二号斜面圆盘；5、转盘；501、凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括凸形底座1和限位槽101，所述凸形底座1上表面开设有限位槽101，所述凸形底座1上表面边角处均转动连接有z字型压架2，且z字型压架2共设置有四组，所述z字型压架2一端插接有固定轴201，所述z字型压架2通过固定轴201与凸形底座1相连，所述z字型压架2另一端底部均粘贴有橡胶压盘202，所述橡胶压盘202下表面中间均一体成型有定位柱203，所述定位柱203一端均一体成型有倒锥形胶塞204，所述z字型压架2另一端侧壁均转动连接有压杆3。

优选的，所述压杆3下表面均粘贴有橡胶垫301，通过压杆可对硅片进行施压，且压杆底部通过橡胶垫301与硅片进行连接，从而有效避免压杆3对硅片表面造成损伤。

优选的，所述相邻两组的压杆3一端分别设置有榫头302和榫槽303，且榫头302和榫槽303相互配合，通过榫头302和榫槽303相互配合从而可对压杆3一端进行连接。

优选的，所述凸形底座1内腔转动设置有齿轮盘4，所述齿轮盘4表面咬合连接有空心齿轮轴401，所述空心齿轮轴401共设置有四组，且分别位于凸形底座1内腔边角处，齿轮盘4在转动时，可通过表面的齿槽同步带动空心齿轮轴401进行转动。

优选的，所述空心齿轮轴401下表面均一体成型有一号斜面圆盘402，所述固定轴201另一端均贯穿空心齿轮轴401，且固定轴201另一端连接有二号斜面圆盘403，所述二号斜面圆盘403和一号斜面圆盘402相互配合，空心齿轮轴401在转动时同步带动一号斜面圆盘402进行偏转，并通过一号斜面圆盘402和二号斜面圆盘403相互配合，从而通过固定轴201对z字型压架2一个向下的压力。

优选的，所述凸形底座1下表面开设有凹槽501，所述凹槽501内腔设置有转盘5，且转盘5顶部通过连杆与齿轮盘4相连，通过转动转盘可带动齿轮盘进行转动，其中转盘位于凹槽内腔，可使凸形底座底部更加的平整。

需要说明的是，一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，在工作时，将硅片放置在凸形底座1上表面的限位槽101内，通过限位槽101对硅片进行固定，可有效提升等离子刻蚀机对硅片的刻蚀精度，通过旋转凹槽501内的转盘5，通过转盘5可带动齿轮盘4进行转动，齿轮盘4可同步带动空心齿轮轴401进行转轴，其中空心齿轮轴401共设置有四组，且每组底部均一体成型有一号斜面圆盘402，一号斜面圆盘402在偏转时，斜面与二号斜面圆盘403相互挤压，从而可通过二号斜面圆盘403对固定轴201施加一个向下的力，固定轴201将力传递到z字型压架2，从而可通过z字型压架2一端的橡胶压盘202对硅片表面进行施压，同时定位柱203和倒锥形胶塞204被压进硅片上的固定孔内，并通过倒锥形胶塞204顶部对硅片下表面进行固定，可有效提升对硅片固定的稳定性，通过旋转压杆3，压杆3之间通过榫头302和榫槽303相互配合，并连接在一起，通过压杆3可对硅片进行施压，从而将进一步的提升对硅片夹持的稳定性，且压杆3底部通过橡胶垫301与硅片进行连接，从而有效避免压杆3对硅片表面造成损伤。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。