一种用于检测晶圆滑出的装置的制作方法

本实用新型总体涉及检测技术领域，具体涉及一种用于检测晶圆滑出的装置。

背景技术：

线上的操作人员在放置晶圆时，由于用力过猛，或者晶圆本身存在缺陷，导致晶圆没有被放置在恰当的位置，晶圆从正常的位置处滑出，这引起跨片，也就是晶圆跨在销钉上并且翘起，晶圆之间接触不好，造成蚀刻率变动降低，以致均匀度/平坦度变差。

现有技术中并未记载能够检测晶圆是否滑出的装置。因此，急需开发一种检测晶圆的放置位置是否发生异常的装置。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于检测晶圆滑出的装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种用于检测晶圆滑出的装置，包括具有发射端和接收端的传感器、晶圆、以及与所述传感器通信的控制电路，其中，

所述发射端发射光源，并且所述发射端设置在所述晶圆的上方，所述光源的方向与所述晶圆叠放的厚度方向垂直；

所述接收端接收所述光源，并且所述接收端设置在所述晶圆的下方；

所述控制电路获取所述接收端接收的所述光源的实际光照强度，所述控制电路进一步获取所述接收端接收的所述光源的光照强度阈值。

进一步地，所述传感器为区域型激光传感器。

进一步地，进一步包括机台，所述机台与所述传感器和所述控制电路通信。

进一步地，进一步包含晶舟，所述晶圆放置在所述晶舟内，所述发射端设置在所述晶舟的上方。

进一步地，所述晶圆处于滑出位置时，所述控制电路断开所述机台的开关。

进一步地，所述晶圆处于滑出位置时，所述实际光照强度小于所述光照强度阈值。

进一步地，所述实际光照强度可转化为电压值、所述光照强度阈值可转化为电压值阈值。

进一步地，所述晶圆处于滑出位置时，所述电压值为零或小于所述电压值阈值。

进一步地，所述实际光照强度可转化为阻抗值。

进一步地，所述晶圆处于滑出位置时，所述阻抗值为零。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果为：本实用新型通过在晶圆的上方和下方分别设置光源发射端和接收端，通过控制电路获取接收端接收的光源的实际光照强度和光源的光照强度阈值来检测晶圆是否处于滑出位置，确保晶圆处于正常位置，进而保证晶圆具有较好的蚀刻率和均匀度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为晶圆处于正常位置的结构示意图；

图2为晶圆处于异常位置的结构示意图；

图3为晶圆处于正常位置的另一结构示意图；

图4为晶圆处于异常位置的另一结构示意图；

图5a-5b为控制电路的电路板的正面示意图；

图6a-6b为控制电路的电路板的背面示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型的实施例进一步详细说明。

如图1所示，晶圆1在晶舟2中处于正常位置，此时，晶圆1处于图1中所示的距离h内，当机械手臂3抓取晶圆1并将其放置在定位器5中时，晶圆1在销钉4所组成的环形圈内，没有发生跨片的情况。

然而，线上的操作人员放置晶圆1时，可能用力过猛，或者放置的位置不太好，导致晶圆1处于异常位置。如图2所示，晶圆1在晶舟2中处于异常位置，此时，晶圆1的一部分处于图2中所示的距离h之外，当机械手臂3抓取晶圆1并将其放置在定位器5中时，晶圆1的位置偏掉并且跨在销钉4上，进而产生跨片的情况，晶圆1在跨片处6翘起，导致晶圆1之间接触不好。如表1所示，晶圆1滑出超过1.5mm就会导致跨片，造成蚀刻率变动降低，以致均匀度/平坦度变差。

表1晶圆处于正常位置和滑出时的参数对比

基于上述缺陷，本实用新型提供一种用于检测晶圆滑出的装置，如图3和4所示，包括具有发射端7和接收端8的传感器、晶圆1、以及与传感器通信的控制电路。发射端7发射光源9，并且发射端7设置在晶圆1的上方，光源9的方向与晶圆1叠放的厚度方向垂直。接收端8接收光源9，并且接收端8设置在晶圆1的下方。控制电路获取接收端8接收的光源9的实际光照强度。

在一优选实施例中，传感器为区域型激光传感器。进一步地，包括机台，机台与传感器和控制电路通信。在一优选实施例中，包含晶舟2，晶圆1放置在晶舟2内，发射端7设置在晶舟2的上方，发射端7发射的光源9垂直照射晶圆1。

如图3所示，当发射端发射光源9而照射叠加在一起的处于正常位置的晶圆1上时，接收端8接收到的光具有宽度w1和光照强度l1。如图4所示，由于晶圆1滑出而处于异常位置，接收端8接收到的光具有宽度w2和光照强度l2。由于图4中的晶圆1滑出而遮挡了部分光源9，因此宽度w2小于w1。另外，由于光源9的光照强度为一定值，当晶圆1处于正常位置时，接收端8接收到的光源9的实际光照强度也为一定值，由于晶圆1滑出而遮挡了部分光源9，因此光照强度l2小于光照强度l1。据此，可根据对光源9的不同遮挡程度所对应的接收端8接收的实际光照强度来检测晶圆1的滑出，晶圆1滑出的位置越多，接收端8接收的光源9的实际光照强度越低，换句话说，可以根据接收端8接收到的光的实际光照强度的改变来判断晶圆1是否处于异常位置。因此，可以设置一个接收端8接收的光源9的光照强度阈值，如果接收端8接收的光源9的实际光照强度大于等于预先设置的光照强度阈值，则判断晶圆1处于正常位置。如果接收端8接收的光源9的实际光照强度小于预先设置的光照强度阈值，则判断晶圆1处于异常位置。

如图5a-5b、6a-6b所示，当控制电路从接收端8获取的实际光照强度小于光照强度阈值，晶圆1处于异常位置时，控制电路控制电路板断开机台的开关，机台将报警并停止生产。此时操作人员纠正处于异常位置的晶圆1，确保晶圆1正确地放置在晶舟2内。

在一优选实施例中，接收端8可以根据所接收的光源9的实际光照强度，将该实际光照强度转化为传感器检测端的电压值，同时将光源9的预先设置的光照强度阈值转化为传感器检测端的电压值阈值进行判断。例如，如果电压值阈值为5v，接收端8接收的光源9的实际光照强度经转化后的电压值大于等于5v，则判断晶圆1处于正常位置。如果接收端8接收的光源9的实际光照强度经转化后的电压值为0v或小于5v，则判断晶圆1处于异常(滑出)位置。

在一优选实施例中，接收端8可以根据所接收的光源9的实际光照强度，将该光照强度转化为对地的阻抗值。例如，控制电路中有两路信号，当晶圆1处于正常位置时，第一路信号对地的阻抗理论上为无穷大，因而第一路信号的指示灯不亮，而第二路信号的指示灯点亮。相反，当晶圆1处于异常位置时，第一路信号对地的阻抗约为0，因而第一路信号的指示灯点亮，而第二路信号的指示灯不亮。由此，也可以判断晶圆1是否处于异常位置。

以上是本实用新型公开的示例性实施例，上述本实用新型实施例公开的顺序仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。但是应当注意，以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子，在不背离权利要求限定的范围的前提下，可以进行多种改变和修改。根据这里描述的公开实施例的方法权利要求的功能、步骤和/或动作不需以任何特定顺序执行。此外，尽管本实用新型实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求，但除非明确限制为单数，也可以理解为多个。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型实施例的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包括在本实用新型实施例的保护范围之内。