一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法与流程

本发明涉及太阳能电池生产制造技术领域，更具体的是涉及一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法。

背景技术：

在电池生产中的需要使用到大量的氢氟酸，一方面是在制绒工序，对绒面进行制绒，另一方面还需要使用氢氟酸去除硅片表面的氧化层，还需要使用氢氟酸清洗硅片表面或石墨舟表面的氮化硅，还有对石墨舟表面的氧化层进行清洗等，所以氢氟酸的耗量很大，而且排放量也很大。

现有技术中镀膜后的返工片清洗机使用外围集中供酸液进行去氮化硅清洗，将氢氟酸抽入pe返工片清洗机内进行浸泡清洗和纯水漂洗，这部分氢氟酸经过反复使用后，直接排掉，另一方面制绒工序和刻蚀工序的酸槽，经过一段时间的使用后，也会将氢氟酸直接排掉。

可见，现有技术在电池片的清洗过程中对氢氟酸的浪费较大。因此，我们迫切的需要一种可以节省氢氟酸用量的方法。

技术实现要素：

基于以上问题，本发明提供了一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法，用于解决现有技术中在电池片的清洗过程中对氢氟酸的浪费较大的问题。本发明中通过将旧氢氟酸收集在废酸储存池中，然后将旧氢氟酸再次配兑直到到达要求的浓度后，再用于对返工片的清洗，以此达到对旧氢氟酸的循环利用，从而可以节省大量的氢氟酸。

本发明为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法，包括以下步骤：

步骤1：将使用过的旧氢氟酸收集并储存在废酸储存池中；

步骤2：将废酸储存池中的旧氢氟酸抽入自配存放池中；

步骤3：测量自配存放池中的旧氢氟酸浓度；

步骤4：根据测量自配存放池中旧氢氟酸的浓度，向自配存放池中加入新氢氟酸或者清水，直到自配存放池中旧氢氟酸的浓度达到要求为止；

步骤5：将自配存放池中的旧氢氟酸加入石墨舟清洗槽中，并将带返工片的花篮放入石墨舟清洗槽中浸泡。

工作原理：将制绒工序或其他清洗工序中大量使用的旧氢氟酸储存在废酸储存池中，当需要对返工片进行清洗时，可以将废酸储存池中的旧氢氟酸抽到自配存放池中，然后对旧氢氟酸的浓度进行测量，若旧氢氟酸的浓度高于要求的浓度时，可以向废酸储存池中增加清水，直到旧氢氟酸达到要求的浓度后停止向废酸储存池中增加清水；若旧氢氟酸的浓度低于要求的浓度时，可以向废酸储存池中增加新氢氟酸，新氢氟酸的浓度要求高于旧氢氟酸的浓度，直到旧氢氟酸达到要求的浓度后停止向废酸储存池中增加新氢氟酸，然后将配兑好后的旧氢氟酸加入石墨舟清洗槽中，再将带返工片的花篮放入石墨舟清洗槽中浸泡，这样旧氢氟酸就可以得到再从利用，从而可以节省大量的氢氟酸。

作为一种优选的方式，所述石墨舟清洗槽、废酸储存池、自配存放池依次通过导液管连通，所述自配存放池与石墨舟清洗槽间通过连通管连通，所述石墨舟清洗槽与废酸储存池间的导液管上、废酸储存池与自配存放池间的导液管上、自配存放池与石墨舟清洗槽间的连通管上均安装有水阀，所述石墨舟清洗槽的下部还安装有流出管，所述流出管上安装有水阀。

作为一种优选的方式，所述新氢氟酸盛装在新酸存放池中，所述新酸存放池与自配存放池通过加酸管连通，所述加酸管上安装有水阀。

作为一种优选的方式，所述清水盛装在水池中，所述水池与自配存放池间通过加水管连通，所述加水管上安装有水阀。

作为一种优选的方式，所述自配存放池的内壁上安装有可封闭连通管的过滤罩，所述过滤罩上开有多个过滤孔。

作为一种优选的方式，所述石墨舟清洗槽中旧氢氟酸的浓度为15％。

作为一种优选的方式，所述返工片在石墨舟清洗槽中浸泡1200秒。

本发明的有益效果如下：

(1)本发明中通过将旧氢氟酸收集在废酸储存池中，然后将旧氢氟酸再次配兑直到到达要求的浓度后，再用于对返工片的清洗，以此达到对旧氢氟酸的循环利用，从而可以节省大量的氢氟酸。

(2)本发明中石墨舟清洗槽、废酸储存池、自配存放池间依次相互连通，形成一个闭环，只需通过打开或者关闭上述两者间的水阀即可实现其内部旧氢氟酸的流通，当然如果压力过小，还可以在导液管上安装水泵，用于增加相应的压力；制绒工序或其他清洗工序中大量使用的旧氢氟酸可以通过导液管流入废酸储存池中，然后再通过导液管流入自配存放池中，自配存放池中的旧氢氟酸配兑好后再通过连通管流入石墨舟清洗槽中，当石墨舟清洗槽中的旧氢氟酸不能再使用后，可以通过流出管将旧氢氟酸引流到规定的地方，如此对旧氢氟酸的循环利用更加方便，效率更高。

(3)本发明中新氢氟酸盛装在新酸存放池中，新酸存放池与自配存放池通过加酸管连通，加酸管上安装有水阀，当旧氢氟酸的浓度低于要求的浓度时，打开加酸管上的水阀，使新酸存放池中的酸流入自配存放池中，这样方便向自配存放池中增加新氢氟酸。

(4)本发明中清水盛装在水池中，水池与自配存放池间通过加水管连通，所述加水管上安装有水阀，当旧氢氟酸的浓度高于要求的浓度时，打开加水管上的水阀，使水池中的清水流入自配存放池中，这样方便向自配存放池中增加清水。

(5)本发明中自配存放池的内壁上安装有可封闭连通管的过滤罩，过滤罩上开有多个过滤孔，过滤罩可以过滤掉就氢氟酸中的杂物，用于减少旧氢氟酸中没有杂质或者沉积物。

附图说明

图1为本发明的结构简图；

图2为本发明图1中a处的放大示意图；

附图标记：1导液管，2自配存放池，3新酸存放池，4加酸管，5水池，6加水管，7连通管，8石墨舟清洗槽，9水阀，10废酸储存池，11流出管，12过滤罩，121过滤孔。

具体实施方式

为了本技术领域的人员更好的理解本发明，下面结合附图和以下实施例对本发明作进一步详细描述。

实施例1：

如图1所示，一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法，包括以下步骤：

步骤1：将使用过的旧氢氟酸收集并储存在废酸储存池10中；

步骤2：将废酸储存池10中的旧氢氟酸抽入自配存放池2中；

步骤3：测量自配存放池2中的旧氢氟酸浓度；

步骤4：根据测量自配存放池2中旧氢氟酸的浓度，向自配存放池2中加入新氢氟酸或者清水，直到自配存放池2中旧氢氟酸的浓度达到要求为止；

步骤5：将自配存放池2中的旧氢氟酸加入石墨舟清洗槽8中，并将带返工片的花篮放入石墨舟清洗槽8中浸泡。

工作原理：将制绒工序或其他清洗工序中大量使用的旧氢氟酸储存在废酸储存池10中，当需要对返工片进行清洗时，可以将废酸储存池10中的旧氢氟酸抽到自配存放池2中，然后对旧氢氟酸的浓度进行测量，若旧氢氟酸的浓度高于要求的浓度时，可以向废酸储存池10中增加清水，直到旧氢氟酸达到要求的浓度后停止向废酸储存池10中增加清水；若旧氢氟酸的浓度低于要求的浓度时，可以向废酸储存池10中增加新氢氟酸，新氢氟酸的浓度要求高于旧氢氟酸的浓度，直到旧氢氟酸达到要求的浓度后停止向废酸储存池10中增加新氢氟酸，然后将配兑好后的旧氢氟酸加入石墨舟清洗槽8中，再将带返工片的花篮放入石墨舟清洗槽8中浸泡，这样旧氢氟酸就可以得到再从利用，从而可以节省大量的氢氟酸。

值得注意的是：目前常规工艺中只有制绒和刻蚀清洗工序使用到氢氟酸洗槽，如果以后出现其他工序有使用氢氟酸或者废酸主要成分是氢氟酸的，也应该包含在本专利中。

实施例2：

如图1-2所示，在上述实施例的基础上，本实施例给出了能使旧氢氟酸循环利用的一种优选方式，即石墨舟清洗槽8、废酸储存池10、自配存放池2依次通过导液管1连通，自配存放池2与石墨舟清洗槽8间通过连通管7连通，石墨舟清洗槽8与废酸储存池10间的导液管1上、废酸储存池10与自配存放池2间的导液管1上、自配存放池2与石墨舟清洗槽8间的连通管7上均安装有水阀9，石墨舟清洗槽8的下部还安装有流出管11，流出管11上安装有水阀9。

优选的，新氢氟酸盛装在新酸存放池3中，新酸存放池3与自配存放池2通过加酸管4连通，加酸管4上安装有水阀9，当旧氢氟酸的浓度低于要求的浓度时，打开加酸管4上的水阀9，使新酸存放池3中的酸流入自配存放池2中，这样方便向自配存放池2中增加新氢氟酸。

优选的，清水盛装在水池5中，水池5与自配存放池2间通过加水管6连通，加水管6上安装有水阀9，当旧氢氟酸的浓度高于要求的浓度时，打开加水管6上的水阀9，使水池5中的清水流入自配存放池2中，这样方便向自配存放池2中增加清水。

优选的，自配存放池2的内壁上安装有可封闭连通管7的过滤罩12，过滤罩12上开有多个过滤孔121，过滤罩12可以过滤掉就氢氟酸中的杂物，用于减少旧氢氟酸中没有杂质或者沉积物。

优选的，石墨舟清洗槽8中旧氢氟酸的浓度为15％，返工片在石墨舟清洗槽8中浸泡1200秒，当然也可以根据浸泡的返工片种类不同而使石墨舟清洗槽8中旧氢氟酸的浓度以及浸泡时间不同。

在上述技术方案的基础上：本专利是不仅仅针对返工片的氮化硅的清洗，其他使用氢氟酸可以清洗的，比如氮化硅、二氧化硅或者其他钝化层也应该包含在本专利中；本专利是不仅仅针对氢氟酸的回收利用，其他较纯净的易分离提取的废液，比如hcl，h2o2或者其他化学用品也应该包含在本专利中。

其余部分与实施例1相同，故在此不作赘述。

如上即为本发明的实施例。上述实施例以及实施例中的具体参数仅是为了清楚表述发明验证过程，并非用以限制本发明的专利保护范围，本发明的专利保护范围仍然以其权利要求书为准，凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。