一种电荷捕获型存储器及其制作方法与流程

文档序号:21626505发布日期:2020-07-29 02:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电荷捕获型存储器,其特征在于,包括:

第一衬底;

所述第一衬底上包括:源区和漏区以及所述源区和所述漏区之间的应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力。

2.如权利要求1所述的电荷捕获型存储器,其特征在于,所述源区和所述漏区均为sige结构。

3.如权利要求1所述的电荷捕获型存储器,其特征在于,还包括:

sige层,所述sige层位于所述第一衬底和所述应变硅沟道之间。

4.如权利要求1所述的电荷捕获型存储器,其特征在于,还包括:

氧化层,所述氧化层位于所述第一衬底和所述应变硅沟道之间。

5.如权利要求1-4中任一所述的电荷捕获型存储器,其特征在于,还包括:

位于所述应变硅沟道上的由下至上排布的隧穿层、俘获层、阻挡层以及栅电极层。

6.如权利要求2所述的电荷捕获型存储器,其特征在于,还包括:

围绕在所述应变硅沟道四周且由内向外依次排布的隧穿圈层、俘获圈层、阻挡圈层以及栅电极圈层。

7.一种电荷捕获型存储器的制作方法,其特征在于,包括:

提供第一衬底;

在所述第一衬底上形成源区和漏区,以及所述源区和所述漏区之间的应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力。

8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,在所述第一衬底上形成源区和漏区,以及所述源区和所述漏区之间的应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力,包括:

在所述第一衬底上形成第一sige层;

在所述第一sige层上形成应变硅层;

对所述应变硅层的两侧分别注入离子,形成所述源区和所述漏区,使得所述源区和所述漏区之间的区域形成所述应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力。

9.如权利要求7所述的方法,其特征在于,在所述第一衬底上形成源区和漏区,以及所述源区和所述漏区之间的应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力,包括:

提供第二衬底;

在所述第二衬底上形成第二sige层;

在所述第二sige层上形成应变硅层;

在所述应变硅层上形成第一氧化层;

在所述第一衬底上形成第二氧化层;

将所述第一氧化层与所述第二氧化层键合,形成氧化层;

去除所述第二衬底和所述第二sige层;

对所述应变硅层的两侧分别注入离子,形成所述源区和所述漏区,使得所述源区和所述漏区之间的区域形成所述应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力。

10.如权利要求7所述的方法,其特征在于,在所述第一衬底上形成源区和漏区,以及所述源区和所述漏区之间的应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力,具体包括:

对所述第一衬底两侧分别开槽,形成所述源区和所述漏区;

在所述源区和所述漏区均形成sige结构,使得所述源区和所述漏区之间形成所述应变硅沟道,所述应变硅沟道具备应力。

11.如权利要求7-10中任一所述的方法,其特征在于,还包括:

在所述应变硅沟道上由下至上依次形成隧穿层、俘获层、阻挡层和栅电极层。

12.如权利要求7或10所述的方法,其特征在于,还包括:

在所述应变硅沟道四周由内向外依次形成隧穿圈层、俘获圈层、阻挡圈层和栅电极圈层。


技术总结
本发明公开了一种电荷捕获型存储器及其制作方法,该电荷捕获型存储器包括第一衬底,该第一衬底上的源区和漏区以及源区和漏区之间的应变硅沟道,该应变硅沟道具备应力,由于该沟道采用该应变硅材料,因此,在沟道引入了应力,应力的引入可以提高该器件的迁移率,从而提高该沟道开启时载流子的平均能量,获得更高的隧穿概率,从而等效于器件捕获了更多的电荷,进而提高了器件的可靠性。

技术研发人员:段佳辉;王文武;项金娟;马雪丽;王晓磊;李永亮
受保护的技术使用者:中国科学院微电子研究所
技术研发日:2020.04.09
技术公布日:2020.07.28
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