显示面板及显示面板的制作方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及显示面板的制作方法。

背景技术：

柔性显示装置是一种基于柔性基底材料形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此，在便携产品、多数显示应用领域，柔性显示装置具有广阔的应用前景以及良好的市场潜力。

柔性有机发光二极管(organiclightemittingdiode,oled)显示面板由于其制程复杂、需要掩膜板数量多，导致生产良率偏低，造成其价格高居不下。现有柔性oled显示面板至少有12到掩膜板制程。其中，在源漏电极与有源层连接的过孔以及显示区内用于释放弯折应力的过孔都需要单独的一道掩膜板制程，使得显示面板的制作工艺变得复杂、成本也大幅提高，并且每一道制程都可能出现不良的产品，导致显示面板的生产良率降低，同时显示面板还存在一定厚度的无机材料的膜层，柔性较差的无机材料使得柔性显示面板在弯折过程中会产生裂纹的风险。

综上所述，现有显示面板存在过孔的制作工艺复杂、成本高并且生产良率较低的问题。故，有必要提供一种显示面板及显示面板的制作方法来改善这一缺陷。

技术实现要素：

本揭示实施例提供一种显示面板及显示面板的制作方法，用于解决现有显示面板存在过孔的制作工艺复杂、成本高并且生产良率较低的问题。

本揭示实施例提供一种显示面板，包括显示区和围绕所述显示区的非显示区，所述非显示区包括绑定区，所述显示面板还包括：

衬底基板；

阻隔层，设置于所述衬底基板上；

缓冲层，设置于所述阻隔层远离所述衬底基板的一侧上；

薄膜晶体管阵列层，设置于所述缓冲层远离所述衬底基板的一侧上，包括多个薄膜晶体管以及至少两层用于阻隔所述薄膜晶体管内各器件的层叠设置的绝缘层；以及

显示器件层，设置于所述薄膜晶体管阵列层远离所述衬底基板的一侧上；

其中，所述显示区内设有多个间隔排列的第一过孔，所述绑定区内设有多个间隔排列的第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔均由所述绝缘层贯穿至所述衬底基板靠近所述阻隔层的一侧，且所述第一过孔和所述第二过孔内均填充有柔性材料。

根据本揭示一实施例，所述第二过孔包括第一区域和第二区域，所述第二区域的底面与所述衬底基板靠近所述阻隔层的一侧接触，所述第一区域和所述第二区域在所述缓冲层远离所述衬底基板的一侧连通。

根据本揭示一实施例，所述第一过孔包括第一部分和第二部分，所述第一部分与所述第二过孔的所述第一区域同层设置，所述第二部分与所述第二过孔的所述第二区域同层设置。

根据本揭示一实施例，所述第一部分的孔径大于所述第二部分的孔径。

根据本揭示一实施例，所述第一部分的孔径和所述第二部分的孔径沿所述绝缘层至所述衬底基板的方向均逐渐减小。

根据本揭示一实施例，所述第一过孔的侧壁和所述第二过孔的侧壁分别与第一方向形成的夹角的取值均介于40°至80°之间。

本揭示实施例还提供一种显示面板的制作方法，包括：

提供衬底基板，所述衬底基板上形成有阻隔层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极线层以及层间绝缘层；

采用第一掩膜板，刻蚀形成贯穿所述层间绝缘层和所述栅极绝缘层的第一过孔的第一部分以及第二过孔的第一区域；

采用第二掩膜板，在所述第一部分和所述第一区域的基础上继续刻蚀，形成贯穿所述缓冲层和所述阻隔层的所述第一过孔的第二部分和所述第二过孔的第二区域；以及

在所述层间绝缘层表面形成柔性层，所述柔性层的柔性材料填充所述第一过孔和所述第二过孔；

其中，所述衬底基板包括显示区和围绕所述显示区的非显示区，所述非显示区包括绑定区，多个所述第一过孔间隔排列于所述显示区内，多个所述第二过孔间隔排列于所述绑定区内。

根据本揭示一实施例，采用所述第一掩膜板刻蚀形成所述第一部分和所述第一区域的同时，形成多个贯穿所述层间绝缘层和所述栅极绝缘层的第三过孔以暴露出部分所述有源层。

根据本揭示一实施例，所述第一部分的孔径大于所述第二部分的孔径。

根据本揭示一实施例，所述第一部分和所述第二部分的侧壁与第一方向形成的夹角的取值均介于40°至80°之间。

本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例通过在显示面板的显示区内设置多个间隔排布的第一过孔，并在绑定区内设有多个间隔排列的第二过孔，第一过孔和第二过孔均由所述绝缘层贯穿至所述衬底基板靠近所述阻隔层的一侧，以此可以利用第二过孔的工艺同时制作形成第一过孔，省去单独制作第一过孔的制程以及掩膜板，提高生产良率并降低生产成本，同时利用第一过孔可去除缓冲层和阻隔层中的部分无机绝缘材料，并在其内部填充有柔性材料，以此提高显示面板的抗弯折性能，减少裂纹发生的风险。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是揭示的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本揭示实施例提供的显示面板的平面结构示意图；

图2为本揭示实施例图1提供的显示面板沿c-c方向的截面结构示意图；

图3a至图3c为本揭示实施例提供的显示面板制作方法中图1的显示面板沿c-c方向的截面结构示意图；

图4为本揭示实施例提供的另一种显示面板的制作方法中图1的显示面板沿c-c方向的截面结构示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本揭示可用以实施的特定实施例。本揭示所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

下面结合附图和具体实施例对本揭示做进一步的说明。

本揭示实施例提供一种显示面板，下面结合图1进行详细说明。如图1所示，图1为本揭示实施例提供的显示面板的平面结构示意图，所述显示面板包括显示区域a和围绕所述显示区域a的非显示区域b，所述非显示区域b包括绑定区b1，绑定区b1可弯折至显示面板背面，以此减小显示面板的边框宽度，提高屏占比。

如图2所示，图2为图1中的显示面板沿c-c方向的截面结构示意图，显示面板包括衬底基板11、设置于衬底基板11上的阻隔层12、设置于阻隔层12远离衬底基板11的一侧上的缓冲层13、设置于缓冲层13远离衬底基板11的一侧上的薄膜晶体管阵列层14以及设置于薄膜晶体管阵列层14远离衬底基板11的一侧上的显示器件层15。

在本揭示实施例中，阻隔层12所用的材料包括氧化硅、氮化硅、氮氧化硅和非晶硅中的一种或几种，主要用于阻隔水氧，防止外部的水汽或者氧气侵蚀所述显示面板。缓冲层13所用的材料包括氮化硅和氧化硅中的一种或两种，主要用于缓冲和保护的作用。

具体地，薄膜晶体管阵列层14包括多个薄膜晶体管141，其中本揭示实施例中的薄膜晶体管141为双栅极结构的薄膜晶体管，包括有源层1411、第一栅极线层1412、第二栅极线层1413以及源漏电极层1414，薄膜晶体管阵列层14还包括设置于缓冲层13远离衬底基板11一侧上的第一栅极绝缘层142以及层叠设置于所述第一栅极绝缘层142上的第二栅极绝缘层143和层间绝缘层144。源漏电极层1414与层间绝缘层144之间设有柔性层16，源漏电极层1414通过贯穿所述柔性层16、层间绝缘层144、第二栅极绝缘层143以及第一栅极绝缘层142的过孔与有源层1411电性连接。当然，在一些实施例中，薄膜晶体管141也可以为仅含有一层栅极线层的薄膜晶体管，此外，薄膜晶体管141也可以为顶栅或者是底栅结构，均可适用于本揭示实施例，此处不做限制。

如图1所示，柔性层16远离衬底基板11的一侧上设有平坦层17，显示器件层15设置于所述平坦层17上，包括阳极151、发光层152以及阴极(图中未示出)，阳极151通过贯穿平坦层17的过孔与源漏电极层1414连接。平坦层17上还设有像素定义层18，像素定义层18覆盖阳极151，同时像素定义层18上设有凹槽，所述凹槽暴露出部分阳极151，发光层152设置于所述凹槽内。像素定义层18远离阵列基板11的一侧设有多个间隔排列的隔垫物19。

在本揭示实施例中，显示区a内设有多个间隔排列的第一过孔v1，绑定区b1内设有多个间隔排列的第二过孔v2，并且第一过孔v1和第二过孔v2均由层间绝缘层144贯穿至衬底基板11靠近阻隔层12的一侧，且两者沿垂直于显示面板厚度方向的高度相同，并均暴露出部分衬底基板11，以此去除缓冲层13和阻隔层12中的部分无机绝缘材料，提高显示面板的抗弯折性能。同时，第一过孔v1和第二过孔v2中均填充有柔性层16中的柔性材料，第一过孔v1用于释放显示区a在弯折过程中所产生的应力，使得显示区在弯折时不易产生裂纹，第二过孔v2则用于释放绑定区b1在弯折过程中所产生的应力，以防止位于其上方的多条数据线l发生断裂。

具体地，第二过孔v2包括第一区域v21和第二区域v22。其中，第一区域v21贯穿层间绝缘层144、第二栅极绝缘层143和第一栅极绝缘层142，第二区域v22贯穿缓冲层13和阻隔层12，第二区域v22的底面与衬底基板11靠近阻隔层12的一侧接触，第一区域v21和第二区域v22在缓冲层13远离衬底基板11的一侧连通。在制作形成所述第二过孔v2时，第一区域v21和第二区域v22由于所在膜层不同以及孔径大小也不同，需要分别使用两张掩膜板进行两次刻蚀形成。

第一过孔v1同样也包括第一部分v11和第二部分v12，第一部分v11与第二过孔v2的第一区域v21同层设置，即第一部分v11贯穿层间绝缘层144、第二栅极绝缘层143和第一栅极绝缘层142，且第一部分v11和第一区域v21沿显示面板厚度方向的高度相同；第二部分v12与第二过孔v2的的第二区域v22同层设置，即第二部分v12贯穿缓冲层13和阻隔层12，从而不仅可以利用第二部分v12去除阻隔层12和缓冲层13中的无机绝缘材料以此增大显示面板的抗弯折性能，同时还可以利用形成第二过孔v2的制作工艺，在形成第二过孔v2的同时形成第一过孔v1，以此省去单独制作第一过孔v1的制程以及掩膜板，从而提高生产良率并降低生产成本。

进一步的，第一过孔v1的第一部分v11的孔径应大于第二部分v12的孔径，以此在缓冲层13的第一部分v11和第二部分v12的连通处形成台阶状的缓冲角，可减缓第一过孔v1的坡度，从而减小显示区a在弯折过程中的弯折应力。

更进一步的，第一过孔v1的第一部分v11的孔径和第二部分v12的孔径沿层间绝缘层144至衬底基板11的方向均逐渐减小，即第一部分v11和第二部分v12在如图1所示的截面结构图中的形状为倒置梯形，第一部分v11的侧壁和第二部分v12的侧壁分别与第一方向形成的夹角均为锐角，其中第一方向为与显示面板厚度方向垂直的水平方向。

优选的，第一部分v11的侧壁和第二部分v12的侧壁分别与第一方向形成的夹角的取值均介于40°至80°之间，夹角的角度过大会导致第一过孔v1的坡度过大，不利于减小显示区内的弯折应力，夹角的角度过小则会导致第一过孔v1的开孔面积过大，不利于提高像素的开口面积。此外，第二过孔v2的第一区域v21和第二区域v21与上述第一过孔v1的特性相同，此处不再赘述。

本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例提供的显示面板在显示区内设置多个间隔排布的第一过孔，并在绑定区内设有多个间隔排列的第二过孔，第一过孔和第二过孔均由所述绝缘层贯穿至所述衬底基板靠近所述阻隔层的一侧，以此可以利用第二过孔的工艺同时制作形成第一过孔，省去单独制作第一过孔的制程以及掩膜板，提高生产良率并降低生产成本，同时利用第一过孔可去除缓冲层13和阻隔层12中的部分无机绝缘材料，并在其内部填充有柔性材料，以此提高显示面板的抗弯折性能，减少裂纹发生的风险。

本揭示实施例还提供一种显示面板的制作方法，下面结合图1至图3c进行详细说明，图3a至图3c为本揭示实施例提供的显示面板制作方法中图1的显示面板沿c-c方向的截面结构示意图，所述制作方法包括：

步骤s1：提供衬底基板11，在所述衬底基板11上形成阻隔层12、缓冲层13、有源层1411、第一栅极绝缘层142、第一栅极线层1412、第二栅极绝缘层143、第二栅极线层1413以及层间绝缘层144；

步骤s2：采用第一掩膜板，刻蚀形成如图3a所示的贯穿层间绝缘层144、第一栅极绝缘层143和第二栅极绝缘层142的第一过孔v1的第一部分v11以及第二过孔v2的第一区域v21；

步骤s3：采用第二掩膜板，在所述第一部分v11和所述第一区域v21的基础上继续刻蚀，形成如图3b所示的贯穿所述缓冲层13和所述阻隔层12的第一过孔v1的第二部分v12和第二过孔v2的第二区域v22；

步骤s4：采用第三掩膜板，刻蚀形成如图3c所示的多个贯穿层间绝缘层144、第一栅极绝缘层143和第二栅极绝缘层142的第三过孔v3,所述第三过孔v3底面与有源层1411接触，并暴露出部分有源层1411；

步骤s5：如图2所示，在层间绝缘层144远离衬底基板11的一侧表面形成柔性层16，所述柔性层16的柔性材料填充第一过孔v1和第二过孔v2；

步骤s6：在柔性层16上形成源漏电极层1414以及多条数据线l，源漏电极层1414通过第三过孔v3与有源层1411接触；以及

步骤s7：在所述柔性层16远离衬底基板11一侧形成层叠设置的平坦层17、像素定义层18、显示器件层15以及多个隔垫物19。其中，显示器件层15的结构与上述实施例所提供的显示面板中的显示器件层的结构相同，此处不再赘述。

步骤s2中，采用第一掩膜板可以在形成第二过孔v2的第一区域v21的同时形成第一过孔v1的第一部分v11，并且在步骤s3中，采用第二掩膜板可以在形成第二过孔v2的第二区域v22的同时形成第一过孔v1的第二部分v12，以此不仅可以减少单独制作形成第一过孔v1所需要的掩膜板以及相关工艺制程，并降低产品的不良率和减少生产成本，贯穿缓冲层13和阻隔层12的第二部分v12还可以去除部分缓冲层13和阻隔层12中的无机绝缘材料，以此提高显示面板显示区a的抗弯折性能。

进一步的，如图3c所示，第一过孔v1的第一部分v11的孔径大于第二部分v12的孔径，以此在缓冲层13的第一部分v11和第二部分v12的连通处形成台阶状的缓冲角，可减缓第一过孔v1的坡度，从而减小显示区a在弯折过程中的弯折应力。

更进一步的，第一过孔v1的第一部分v11的孔径和第二部分v12的孔径沿层间绝缘层144至衬底基板11的方向均逐渐减小，即第一部分v11和第二部分v12在如图1所示的截面结构图中的形状为倒置梯形，第一部分v11的侧壁和第二部分v12的侧壁分别与第一方向形成的夹角均为锐角，其中第一方向为与显示面板厚度方向垂直的水平方向。

优选的，第一部分v11的侧壁和第二部分v12的侧壁分别与第一方向形成的夹角的取值均介于40°至80°之间，夹角的角度过大会导致第一过孔v1的坡度过大，不利于减小显示区内的弯折应力，夹角的角度过小则会导致第一过孔v1的开孔面积过大，不利于提高像素的开口面积。

本揭示实施例还提供另一种显示面板的制作方法，下面结合图3c至图4进行详细说明，图4为本揭示实施例提供的显示面板的制作方法中图1的显示面板沿c-c方向的截面结构示意图。所述显示面板的制作方法包括：

步骤s1：如图4所示，提供衬底基板11，在所述衬底基板11上形成阻隔层12、缓冲层13、有源层1411、第一栅极绝缘层142、第一栅极线层1412、第二栅极绝缘层143、第二栅极线层1413以及层间绝缘层144；

步骤s2：采用第一掩膜板，刻蚀形成如图4所示的贯穿层间绝缘层144、第一栅极绝缘层143和第二栅极绝缘层142的第一过孔v1的第一部分v11、第二过孔v2的第一区域v21以及多个贯穿第一绝缘层143、第二绝缘层142并暴露出部分有源层1411的第三过孔v3；

步骤s3：采用第二掩膜板，在所述第一部分v11和所述第一区域v21的基础上继续刻蚀，形成如图3c所示的贯穿所述缓冲层13和所述阻隔层12的第一过孔v1的第二部分v12和第二过孔v2的第二区域v22；

步骤s4：如图2所示，在层间绝缘层144远离衬底基板11的一侧表面形成柔性层16，所述柔性层16的柔性材料填充第一过孔v1和第二过孔v2；

步骤s5：在柔性层16上形成源漏电极层1414以及多条数据线l，源漏电极层1414通过第三过孔v3与有源层1411接触；以及

步骤s6：在所述柔性层16远离衬底基板11一侧形成层叠设置的平坦层17、像素定义层18、显示器件层15以及多个隔垫物19。其中，显示器件层15的结构与上述实施例所提供的显示面板中的显示器件层的结构相同，此处不再赘述。

本揭示实施例所提供的显示面板的制作方法相较于上述实施例所提供的制作方法，区别在于将第三过孔v3的制作过程与第一过孔v1的第一部分v11以及第二过孔v2的第一区域v21的制作过程结合，利用三个过孔均需要刻蚀层间绝缘层144、第二栅极绝缘层143和第一栅极绝缘层142，而有源层则可以阻挡第三过孔v3的继续刻蚀，以此减少单独刻蚀形成第一过孔v1以及第三过孔v3所需要的掩膜板以及相关工艺制程，相较于上述实施例提供的制作方法，可以节省两张掩膜板以及相关工艺制程。

本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例通过将第一过孔v1的制作工艺与第二过孔v2的两个区域的制作工艺结合，以此减少单独制作第一过孔v1所需要的掩膜板以及相关工艺制程，并降低产品的不良率和减少生产成本，贯穿缓冲层13和阻隔层12的第二部分v12还可以去除部分缓冲层13和阻隔层12中的无机绝缘材料，以此提高显示面板显示区a的抗弯折性能。

综上所述，虽然本揭示以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本揭示，本领域的普通技术人员，在不脱离本揭示的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本揭示的保护范围以权利要求界定的范围为基准。