保护膜剥离装置和利用其的保护膜剥离方法与流程

本发明涉及可靠性得到提高的保护膜剥离装置、保护膜剥离方法以及显示模块制造方法。

背景技术：

正在开发用于诸如电视、便携电话、平板电脑、导航仪、游戏机等多媒体装置的多种显示装置。显示装置包括诸如显示模块、输入传感器、窗口、光学膜等多种功能性部件。

经过制造工序或者加工工序的功能性部件彼此结合。经过多次的结合工序而制造叠层结构的显示装置。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种可靠性得到提高的保护膜剥离装置。

本发明的目的在于提供一种利用了所述保护膜剥离装置的保护膜剥离方法以及显示模块制造方法。

根据本发明的一实施例的保护膜剥离方法可以包括如下步骤：在台架上提供母体玻璃、多个显示部以及覆盖所述多个显示部的保护部，其中，所述多个显示部布置在所述母体玻璃上并且分别包括检查垫部；沿第一切割线而将所述保护部半切割；沿与所述第一切割线不同的第二切割线而将所述保护部全切割；以及剥离所述保护部的一部分。

在所述多个显示部中的每一个定义有布置有所述检查垫的垫区域和与所述垫区域相邻的保护区域，所述第一切割线可以对应于作为围绕所述多个显示部中的每一个的多个边沿中的一部分的第一边沿以及所述保护区域与所述垫区域之间的区域。

所述第二切割线可以与作为所述多个边沿中的剩余一部分的第二边沿对应。

所述第二边沿可以为所述垫区域的边沿中的一个。

所述多个显示部中的每一个还可以包括布置在所述垫区域且与所述检查垫电连接的信号垫，所述第二切割线与所述信号垫和所述检查垫之间的区域对应。

所述半切割的步骤可以包括如下步骤：照射第一激光束，其中，所述全切割的步骤可以包括如下步骤：照射具有比所述第一激光束更高的能量的第二激光束。

可以同时进行所述半切割的步骤和所述全切割的步骤。

根据本发明的一实施例的一种保护膜剥离装置，可以包括：台架；光源部，布置在所述台架上，沿第一切割线照射第一激光束，并且沿与所述第一切割线不同的第二切割线照射具有比所述第一激光束更高的能量的第二激光束；以及剥离部，布置在所述台架上。

还可以包括：第一光学部，将所述第一激光束和所述第二激光束中的至少一个的高斯光束轮廓变换为平顶光束轮廓；以及第二光学部，将所述第一激光束和所述第二激光束中的至少一个变换为沿第一方向延伸的光束轮廓。

还包括：扫描部，与所述光源部结合，并且沿第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向移动，其中，所述台架可以随着所述扫描部的移动而沿所述第一方向或者所述第二方向移动。

根据本发明，可以利用激光束加工保护部。在与布置有多个显示部的区域重叠的母体玻璃和保护部各自的区域可以没有物理接触。由于在没有物理接触的情况下通过激光束加工保护部，因此母体玻璃可以不发生物理接触所导致的裂缝和损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离装置、利用其的保护膜剥离方法以及显示模块制造方法。

附图说明

图1是示出根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的立体图。

图2是示出根据本发明的一实施例的保护膜剥离方法的流程图。

图3是根据本发明的一实施例的母体玻璃以及保护部的平面图。

图4是根据本发明的一实施例的沿图1的i-i'截取的剖面图。

图5是根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的剖面图。

图6是根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的平面图。

图7是根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的平面图。

图8是根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的剖面图。

图9是示出根据本发明的一实施例的母体玻璃的蚀刻工序的剖面图。

图10是示出根据本发明的一实施例的显示模块制造方法的一步骤的平面图。

图11是示出根据本发明的一实施例的第一预备显示模块的剖面图。

图12是示出根据本发明的一实施例的第二预备显示模块的剖面图。

图13是示出根据本发明的一实施例的显示模块的平面图。

图14是示出根据本发明的一实施例的母体玻璃以及保护部的平面图。

符号说明

fpa：保护膜剥离装置st：台架

lz：光源部sc：扫描部

pr：剥离部ws：母体玻璃

pp：保护部

具体实施方式

在本说明书中，当被提及为某构成要素(或者区域、层、部分等)位于另一构成要素“之上”、与另一构成要素“连接”或者与另一构成要素“结合”时，其表示可以直接布置于另一构成要素上、连接/结合于另一构成要素，或者在它们之间还可以布置有第三构成要素。

相同的附图标记指代相同的构成要素。并且，在附图中，构成要素的厚度、比率以及尺寸为了针对技术内容进行有效的说明而被夸大。

“和/或”将相关构成可以定义的一个以上的组合全部都包括。

第一、第二等术语可以用于说明多种构成要素，但所述构成要素不应被所述术语限定。所述术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，相似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。单数的表述只要在语境中没有明确表示出不同含义，便包括复数的表述。

并且，“下方”、“下侧”、“上方”、“上侧”等术语用于说明附图中示出的构成之间的相关关系。所述术语作为相对概念，以附图中表示的方向为基准而被说明。

只要没有被定义为不同，本说明书中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属技术领域的技术人员通常所理解的术语相同的含义。并且，诸如通常使用的词典中所定义的术语等术语应当被解释为具有与在相关技术的语境中的含义一致的含义，并且只要没有被解释为理想的或者过度地形式性的含义，则可以在此明示性地被定义。

“包括”或者“具有”等术语旨在定义说明书上所记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在，应当被理解为不预先排除一个或者其以上的其他特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在或者附加的可能性。

以下，参照附图说明本发明的实施例。

图1是示出根据本发明的一实施的保护膜剥离装置的立体图。

参照图1，保护膜剥离装置fpa可以包括台架st、光源部lz、扫描部sc、控制部ct以及剥离部pr。

台架st可以支撑被保护部pp覆盖的母体玻璃ws。例如，台架st可以真空吸附而支撑母体玻璃ws。虽然图1示出了保护部pp的面积小于母体玻璃ws的面积的情形，但根据本发明的一实施例的保护部pp的面积并不限于此。例如，保护部pp的面积与母体玻璃ws的面积可以相同。

母体玻璃ws可以与第一方向dr1和与第一方向dr1交叉的第二方向dr2所定义的面平行。母体玻璃ws的法线发向可以指第三方向dr3。第三方向dr3可以指母体玻璃ws的厚度方向。第三方向dr3可以是与第一方向dr1和第二方向dr2交叉的方向。第一方向dr1、第二方向dr2以及第三方向dr3可以彼此垂直。

此外，第一方向dr1至第三方向dr3所指的方向为相对的概念，可以被转换为不同方向。并且，在本说明书中，将第一方向dr1和第二方向dr2所定义的面定义为平面，“在平面上观察”可以被定义为从第三方向dr3观察的情形。

母体玻璃ws可以包括玻璃基板。

在母体玻璃ws可以布置有多个显示部da。虽然图1示出了以3×3行列布置的显示部da，但其仅为示例性的，根据本发明的一实施例的多个显示部da的数量并不限于此。例如，多个显示部da可以根据母体玻璃ws的尺寸和多个显示部da各自的尺寸而以多种数量布置。

多个显示部da中的每一个可以被分离而形成显示模块。多个显示部da可以分别包括显示面板。根据本发明的一实施例的所述显示面板可以是发光型显示面板，并且不受特别限制。例如，所述显示面板可以包括有机发光显示面板或者量子点发光显示面板。所述有机发光显示面板的发光层可以包括有机发光物质，所述量子点发光显示面板的发光层可以包括量子点或者量子棒等。例如，根据本发明的一实施例的所述显示面板可以是所述有机发光显示面板。

保护部pp可以布置在多个显示部da上，从而覆盖多个显示部da。

光源部lz可以布置在台架st上。光源部lz可以是使激光束ls振荡的装置。例如，光源部lz可以包括振荡器(oscillator)。光源部lz可以将激光束ls照射到保护部pp。激光束ls可以包括co2激光。然而，其仅为示例性的，根据本发明的一实施例的激光束ls并不限于此。例如，激光束ls可以包括准分子(excimer)激光、钇铝石榴石(yag：yttriumaluminumgarnet)激光、玻璃激光、原钒酸钇(yvo4：yttriumorthovanadate)激光或者ar激光。

扫描部sc可以与光源部lz结合。扫描部sc可以沿第一方向dr1和第二方向dr2移动。激光束ls可以通过扫描部sc的移动而被照射到保护部pp的上面。

扫描部sc可以沿第一方向dr1或者第二方向dr2反复移动。光源部lz可以沿第一方向dr1或者第二方向dr2反复地向保护部pp照射激光束ls。台架st可以根据扫描部sc的移动而沿第一方向dr1或者第二方向dr2移动。根据本发明，激光束ls可以沿第一方向dr1或者第二方向dr2反复地被照射。施加到保护部pp的瞬时峰值强度可能减小。通过减小的所述瞬时峰值强度，可以防止在母体玻璃ws发生热变形以及损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离装置fpa。

控制部ct可以控制光源部lz。控制部ct可以选择从光源部lz照射的激光束ls的种类。控制部ct可以与扫描部sc连接。控制部ct可以控制扫描部sc的移动。

剥离部pr可以布置在台架st上。剥离部pr可以与保护部pp的一端部相邻而布置。

保护膜剥离装置fpa还可以包括光学部op。光学部op可以与光源部lz结合而变换激光束ls的形状。光学部op可以包括第一光学部或者第二光学部。

所述第一光学部可以将激光束ls的高斯光束(gaussianbeam)轮廓(profile)变换为平顶光束(flattopbeam)轮廓。所述高斯光束轮廓在光束的剖面上在中心部与周围部之间具有能量强度的差异，相反，所述平顶光束轮廓在光束的剖面上能量强度可以整体均匀。所述第一光学部可以将激光束ls的峰值强度变换为最小加工强度值以上且变形强度值以下。所述最小加工强度值可以是具有如下的能量的激光束ls的强度，即，该能量使激光束ls能够在保护部pp形成槽。所述变形强度值可以是通过从激光束ls施加的热能使母体玻璃ws发生变形的激光束ls的强度。根据本发明，所述第一光学部可以调节激光束ls的峰值强度。可以防止在母体玻璃ws发生热变形和损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离装置fpa。

所述第二光学部可以将激光束ls变换为沿第一方向dr1或者第二方向dr2延伸的光束形状。所述第二光学部可以包括至少一个柱面透镜(cylindricallens)。在平面上观察时，没有通过所述第二光学部变换的激光束ls的强度在中心具有峰值强度，并且从所述中心沿第一方向dr1和第二方向dr2越远离，可以具有越小于所述峰值强度的强度。在平面上观察时，通过所述第二光学部变换的激光束ls的强度可以具有沿第一方向dr1或者第二方向dr2延伸的峰值强度。根据本发明，所述第二光学部能够将在平面上观察时集中在点的激光束ls的能量强度分散到沿第一方向dr1或者第二方向dr2延伸的线。可以防止在母体玻璃ws发生热变形和损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离装置fpa。

图2是示出根据本发明的一实施例的保护膜剥离方法的流程图，图3是根据本发明的一实施例的母体玻璃以及保护部的平面图，图4是根据本发明的一实施例的沿图1的i-i'截取的剖面图。

参照图2至图4，母体玻璃ws、多个显示部da以及保护部pp可以提供在台架st上(s100)。布置在台架st上的母体玻璃ws可以具有第一厚度ws-h1。第一厚度ws-h1可以具有400μm以上且600μm以下的值。

多个显示部da分别可以包括显示面板dp。图3示出了多个显示部中的一个显示部da。

显示面板dp可以布置在母体玻璃ws上。显示面板dp可以包括驱动电路gdc、多条信号线sgl(以下，称作信号线)、多个信号垫dp-pd(以下，称作信号垫)以及多个像素px(以下称作像素)。

显示区域dp-da可以被定义为布置有像素px的区域。非显示区域dp-nda可以是与显示区域dp-da相邻的区域。非显示区域dp-nda可以围绕显示区域dp-da。然而，根据本发明的一实施例的非显示区域dp-nda的形状并不限于此。显示区域dp-da的形状和非显示区域dp-nda的形状可以彼此相对地设计。

驱动电路gdc可以包括扫描驱动电路。所述扫描驱动电路可以生成多个扫描信号(以下，称作扫描信号)，并将所述扫描信号依次输出到后述的多条扫描线sl(以下，称作扫描线)。

所述扫描驱动电路可以包括通过与像素px的驱动电路相同的工序(例如，低温多晶硅(ltps：lowtemperaturepolycrystallinesilicon)工序或者低温多晶氧化物(ltpo：lowtemperaturepolycrystallineoxide)工序形成的多个薄膜晶体管。

信号线sgl可以包括扫描线sl、数据线dl、电源线pl、发光控制线(ecl)以及控制信号线csl。

扫描线sl中的每一个可以连接到像素px中的对应的像素px。数据线dl中的每一个可以连接到像素px中的对应的像素px。电源线pl可以连接到像素px。发光控制线(ecl)中的每一个可以连接到像素px中的对应的像素px。控制信号线csl可以向扫描驱动电路提供控制信号。

信号线sgl可以与显示区域dp-da以及非显示区域dp-nda重叠。信号线sgl可以包括垫部和线部。所述线部可以与显示区域dp-da以及非显示区域dp-nda重叠。所述垫部可以布置在所述线部的末端。所述垫部可以布置在非显示区域dp-nda，并且与信号垫dp-pd中的对应的信号垫重叠。

显示面板dp可以包括电路元件层dp-cl、显示元件层dp-oled以及封装层tfe。

电路元件层dp-cl可以布置在母体玻璃ws上。电路元件层dp-cl可以包括至少一个绝缘层和电路元件。所述绝缘层可以包括至少一个无机层和至少一个有机层。所述电路元件可以包括信号线sgl以及驱动电路gdc。

显示元件层dp-oled可以包括有机发光二极管。显示元件层dp-oled还可以包括诸如像素限定膜的有机层。

封装层tfe可以布置在显示元件层dp-oled上而覆盖显示元件层dp-oled。封装层tfe可以包括沿第三方向dr3依次层叠的第一无机层、有机层以及第二无机层。然而，其仅为示例性的，根据本发明的一实施例的封装层tfe并不限于此。例如，根据本发明的一实施例的封装层tfe还可以包括多个无机层以及多个有机层。

所述第一无机层可以防止外部水分或者氧气渗透到显示元件层dp-oled。例如，所述第一无机层可以包括硅氮化物、硅氧化物或者将它们组合的组合物。

所述有机层可以布置在所述第一无机层上而提供平坦面。形成在所述第一无机层的上面的弯曲或者在所述第一无机层上存在的颗粒等可以被所述有机层覆盖。例如，所述有机层可以包括有机物。

所述第二无机层可以布置在所述有机层上而覆盖所述有机层。所述第二无机层可以密封从所述有机层排出的水分等而防止流出到外部。所述第二无机层可以包括硅氮化物、硅氧化物或者将它们组合的组合物。

显示部da还可以包括多个检查垫dp-tp(以下，称作检查垫)。检查垫dp-tp可以布置在与信号垫dp-pd相邻的区域。例如，检查垫dp-tp可以与信号垫dp-pd沿第二方向dr2相隔而布置。检查垫dp-tp中的每一个可以电连接到信号垫dp-pd中的对应的信号垫。检查垫dp-tp可以从外部接收用于检查显示面板dp的电工作状态和光学工作状态的检查信号。例如，所述检查信号可以是用于检查显示面板dp的图像质量的信号。

在显示部da可以定义有保护区域pta以及垫区域pda。保护区域pta可以是布置有电路元件层dp-cl的一部分以及显示元件层dp-oled的区域。垫区域pda可以是布置有电路元件层dp-cl的另一部分、信号垫dp-pd以及检查垫dp-tp的区域。

保护部pp可以布置在显示部da上。保护部pp可以覆盖显示部da。在保护部pp可以定义有非剥离区域pa以及周围区域ba。在平面上观察时，非剥离区域pa可以与显示部da重叠。周围区域ba可以是与非剥离区域pa相邻的区域。非剥离区域pa可以提供为多个，并且多个非剥离区域pa可以是布置在多个显示部da上的区域。周围区域ba可以是多个非剥离区域pa之间的边界区域。

保护部pp可以包括保护膜pf以及粘结部adh。

保护膜pf可以包括塑料膜。例如，保护膜pf可以包括聚对苯二甲酸乙二酯(pet：polyethyleneterephthalate)。

粘结部adh可以布置在保护膜pf下方。粘结部adh可以包括粘结物质。粘结部adh可以包括粘结力低，粘弹性高的物质。因此，在从显示部da去除保护部pp时，可以最小化残留在显示部da的残余粘结物质的量。例如，粘结部adh可以包括硅类粘结物质。然而，其仅为示例性的，根据本发明的一实施例的粘结部adh的粘结物质并不限于此。例如，粘结部adh可以包括氨基甲酸酯类粘结物质。

图5是示出根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的剖面图，图6是示出根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的平面图。在对图5进行说明时，用相同附图标记表示通过图4说明过的构成要素，并且省略对此的说明。

参照图1、图2、图5以及图6，光源部lz可以提供激光束ls。激光束ls可以包括第一激光束ls-1以及第二激光束ls-2。第二激光束ls-2可以具有高于第一激光束ls-1的能量。控制部ct可以选择第一激光束ls-1或者第二激光束ls-2而控制从光源部lz照射的激光束ls。

光源部lz可以沿第一切割线hcl1、hcl2、hcl3、hcl4将保护部pp半切割(s200)。光源部lz可以沿第一切割线hcl1、hcl2、hcl3、hcl4照射第一激光束ls-1。

第一激光束ls-1可以具有24w(瓦)以上且33w以下的能量。在第一激光束ls-1具有低于24w的能量的情形下，由于粘结部adh厚度的一部分可能没有被切割，从而导致保护部pp的一部分(例如，粘结部adh)不能被剥离。在第一激光束ls-1具有高于33w的能量的情形下，粘结部adh厚度可能全部被切割而导致非剥离区域pa的至少一部分被剥离。

第一激光束ls-1可以切割保护部pp厚度的一部分。例如，第一激光束ls-1可以沿第三方向dr3切割保护膜pf的全部厚度以及粘结部adh厚度的一部分。

光源部lz可以在与第一切割线hcl1、hcl2、hcl3、hcl4对应的区域形成第一槽hm1。第一槽hm1的深度hm-h1可以大于保护膜pf的厚度，并且小于保护部pp的厚度。

第一切割线hcl1、hcl2、hcl3、hcl4可以与作为围绕多个显示部da中的每一个的多个边沿中的一部分的第一边沿hcl1、hcl2、hcl4以及保护区域pta与垫区域pda之间的区域hcl3对应。

光源部lz可以沿与第一切割线hcl1、hcl2、hcl3、hcl4不同的第二切割线fcl将保护部pp全切割(s300)。光源部lz可以沿第二切割线fcl照射第二激光束ls-2。

第二激光束ls-2可以具有高于第一激光束ls-1的能量。第二激光束ls-2可以具有34w以上且51w以下的能量。在第二激光束ls-2具有低于34w的能量的情形下，粘结部adh厚度的一部分可能没有被切割，从而保护部pp的厚度可能未被全部切割。在此情形下，在剥离保护部pp时，可能由于施加到第二切割线fcl的力而导致所述力被传递到非剥离区域pa，并且非剥离区域pa的至少一部分被剥离。在第二激光束ls-2具有大于51w的能量的情形下，第二激光束ls-2的能量可能被传递到母体玻璃ws，从而可能在母体玻璃ws发生裂缝。然而，根据本发明，第二激光束ls-2可以防止在母体玻璃ws发生热变形以及损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离装置fpa(参照图1)。

第二激光束ls-2可以切割保护部pp的厚度的全部。例如，第二激光束ls-2可以沿第三方向dr3切割整个保护膜pf厚度和粘结部adh的厚度的全部。

光源部lz可以在与第二切割线fcl对应的区域形成第二槽hm2。第二槽hm2的深度hm-h2可以与保护部pp的厚度相同。

第二切割线fcl可以与第二边沿fcl对应，所述第二边沿fcl为围绕多个显示部da中的每一个的多个边沿中的除了第一边沿hcl1、hcl2、hcl4以外的其他一部分。第二边沿fcl可以是垫区域pda的边沿中的一个。第二边沿fcl可以在中间设有垫区域pda而与保护区域pta相隔。在平面上观察时，第一边沿hcl1、hcl2、hcl4和第二边沿fcl可以形成闭环。

在平面上观察时，第二切割线fcl可以与电路元件层dp-cl不重叠。可以防止第二激光束ls-2的能量被传递到信号垫dp-pd。因此，可以防止显示面板dp(参照图2)的信号垫dp-pd发生损伤。

可以同时进行沿第一切割线hcl1、hcl2、hcl3、hcl4将保护部pp半切割的步骤(s200)和沿第二切割线fcl将保护部pp全切割的步骤(s300)。

根据本发明，光源部lz可以利用激光束ls加工保护部pp。对与布置有多个显示部da的区域重叠的母体玻璃ws和保护部pp各自的区域可以没有物理接触。由于没有物理接触而通过激光束ls加工保护部pp，因此在母体玻璃ws可以不发生由于物理接触而导致的裂缝和损伤。并且，不需要确保用于物理接触的区域，从而在构成保护膜剥离装置fpa的方面可以不受空间性的制约。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离装置fpa。

图7是根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的平面图，图8是根据本发明的一实施例的保护膜剥离装置的剖面图。在对图7进行说明时，用相同附图标记表示通过图6说明过的构成要素，并且省略对此的说明。

参照图2、图7以及图8，剥离部pr可以剥离保护部pp的一部分(s400)。例如，剥离部pr可以剥离保护部pp的周围区域ba。保护部pp的所述一端部可以与第二切割线fcl相邻。剥离部pr可以包括多个剥离带ptp(以下称作剥离带)、多个剥离粘结剂pad(以下称作剥离粘结剂)、移动部mv、上升部up以及头部hd。

各个剥离带ptp可以固定在头部hd。各个剥离带ptp的可以沿第一方向dr1延伸。剥离带ptp可以沿第二方向dr2相隔而布置。虽然图7中示例性地示出了4个剥离带ptp，但根据本发明的一实施例的剥离带ptp的数量并不限于此。各个剥离带ptp的一侧被提供在头部hd，各个剥离带ptp的另一侧可以被贴附在保护部pp。

各个剥离粘结剂pad布置在各个剥离带ptp的所述另一侧。例如，各个剥离粘结剂pad可以被贴附在各个剥离带ptp的所述另一侧的下部。剥离粘结剂pad和保护部pp可以重叠。剥离粘结剂pad可以具有比粘结部adh(参照图5)更强的粘结力。因此，可以通过剥离粘结剂pad而容易地剥离保护部pp。

移动部mv可以使上升部up、头部hd、剥离带ptp以及剥离粘结剂pad沿第一方向dr1移动。例如，移动部mv可以从保护部pp的所述一端部沿朝向第二切割线fcl的第一方向dr1剥离保护部pp。

上升部up可以使头部hd、剥离带ptp以及剥离粘结剂pad沿第三方向dr3移动。

头部hd可以固定剥离带ptp以及剥离粘结剂pad。例如，头部hd可以在剥离保护部pp的一部分的步骤(s400)期间固定剥离带ptp和剥离粘结剂pad。在剥离保护部pp的所述一部分之后，头部hd可以分离剥离带ptp、剥离粘结剂pad以及保护部pp的所述一部分。保护膜剥离装置fpa(参照图1)还可以包括虚设盒。所述被分离的剥离带ptp、剥离粘结剂pad以及保护部pp的所述一部分可以被废弃在所述虚设盒。

在移动部mv沿第一方向dr1移动，上升部up沿第三方向dr3移动的同时，保护部pp能够在第一方向dr1和第三方向dr3上受力。在第二切割线fcl可以提供有沿第二方向dr2延伸且在沿第二方向dr2延伸的各端部沿与第二方向dr2交叉的方向额外地延伸的第二槽hm2(参照图5)。例如，所述交叉的方向可以是定义在第一方向dr1与第二方向dr2之间的方向。

所述力可以沿着第二切割线fcl而沿第一方向dr1以及第三方向dr3施加。第二切割线fcl中，沿第二方向dr2延伸的部分可以通过沿第三方向dr3施加的所述力而被剥离。第二切割线fcl中，沿与第二方向dr2交叉的方向额外延伸的部分可以通过沿第一方向dr1和第三方向dr3施加的所述力而被剥离。所述力可以通过所述额外延伸的部分而容易地被传递到沿第一方向dr1延伸的第一切割线hcl1、hcl2。

由于保护部pp已被第二切割线fcl全切割，因此周围区域ba和非剥离区域pa可以隔着第二切割线fcl而分离。保护部pp的周围区域ba可以通过所述力而被剥离。

在第一切割线hcl1、hcl2可以提供有沿第一方向dr1延伸的第一槽hm1(参照图5)。所述力可以通过沿第一方向dr1延伸的第一槽hm1(参照图5)而沿第一方向dr1被施加。由于保护部pp已被第一切割线hcl1、hcl2半切割，因此粘结部adh(参照图5)可以通过所述力而被容易地剥离。

在第一切割线hcl3可以提供有沿第二方向dr2延伸的第一槽hm1(参照图5)。由于所述力沿着第一切割线hcl1、hcl2而沿第一方向dr1施加，因此，所述力可能不会被作用到沿第二方向dr2延伸的第一切割线hcl3。因此，与垫区域pda重叠的非剥离区域pa不会被剥离。

在第一切割线hcl4可以提供有沿第二方向dr2延伸的第一槽hm1(参照图5)。所述力可以从第一切割线hcl1、hcl2各自的端部传递到第一切割线hcl4。由于保护部pp已被第一切割线hcl4半切割，因此粘结部adh(参照图5)可以通过所述力而被容易地分离。因此，保护部pp的非剥离区域pa不会被剥离，而保护部pp的周围区域ba能够被剥离。

根据本发明，在保护膜剥离方法中，对与布置有多个显示部da的区域重叠的母体玻璃ws和保护部pp各自的区域可以没有物理接触。在母体玻璃ws可以不发生由于物理接触而导致的裂缝和损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离装置fpa(参照图1)。

图9是示出根据本发明的一实施例的母体玻璃的蚀刻工序的剖面图。

参照图9，喷射部ej可以向母体玻璃ws(参照图8)的下面喷射蚀刻溶液cm。母体玻璃ws(参照图8)通过蚀刻溶液cm而被蚀刻，从而可以形成第一母体玻璃ws-1。蚀刻溶液cm可以减小母体玻璃ws(参照图8)的厚度。蚀刻溶液cm可以包括氢氟酸(hydrofluoricacid)。

第一母体玻璃ws-1可以具有第二厚度ws-h2。第二厚度ws-h2可以比第一厚度ws-h1(参照图4)薄。第二厚度ws-h2可以具有100μm以上且300μm以下的值。第一母体玻璃ws-1可以由薄型化基板(thinglass)构成。

第一母体玻璃ws-1可以比母体玻璃ws轻。根据本发明的一实施例的第一母体玻璃ws-1的强度和平坦度可以高于利用膜构成的基础层。

根据本发明，在保护膜剥离方法中，对非剥离区域pa可以没有物理接触。在母体玻璃ws(参照图8)可以不发生由于物理接触而导致的裂缝和损伤。第一母体玻璃ws-1可以从没有所述裂缝和所述损伤的母体玻璃ws(参照图8)容易地形成。因此，可以提供可靠性得到提高的显示模块制造方法。

图10是示出根据本发明的一实施例的显示模块制造方法的一步骤的平面图，图11是示出根据本发明的一实施例的第一预备显示模块的剖面图。

参照图10和图11，在第一母体玻璃ws-1可以定义有基板切割线cl。基板切割线cl可以与多个显示部da不重叠。切割轮che可以沿基板切割线cl切割第一母体玻璃ws-1。据此，可以形成粘结有保护部pp-1的多个第一预备显示模块dm-1。然而，其仅为示例性的，切割根据本发明的实施例的第一母体玻璃ws-1的构成并不限于此。例如，第一母体玻璃ws-1可以通过激光而沿基板切割线cl被切割。保护部pp-1可以在显示模块制造工序中保护显示面板dp(参照图3)。

根据本发明的一实施例的显示模块制造方法，保护部pp(参照图6)的周围区域ba(参照图6)被剥离，使得切割轮che可容易地切割第一母体玻璃ws-1。

根据本发明，在保护膜剥离方法中，对非剥离区域pa可以没有物理接触。在母体玻璃ws(参照图8)可以不发生由于物理接触而导致的裂缝和损伤。在通过切割轮che切割第一母体玻璃ws-1时，可以防止所述裂缝和所述损伤导致第一母体玻璃ws-1碎裂的现象。因此，可以提供可靠性得到提高的显示模块制造方法。

图12是示出根据本发明的一实施例的第二预备显示模块的剖面图，图13是示出根据本发明的一实施例的显示模块的平面图。

参照图10至图13，在保护部pp-1，与垫区域pda(参照图10)重叠的保护部pp-1的一部分被剥离。保护部pp-1的所述一部分可以通过第一槽hm1而容易地被剥离。检查垫dp-tp可以暴露到外部。在进行划片工序之前，可以对第二预备显示模块dm-2进行画质检查。

在第二预备显示模块dm-2的划线scl外部可以布置有检查垫dp-tp。在进行所述划线工序之前，可以通过检查垫dp-tp供应检查信号而进行针对第二预备显示模块dm-2的所述画质检查。

根据本发明的一实施例的保护部pp-1可以在进行母体玻璃ws(参照图8)的蚀刻工序以及利用切割轮che的基板切割工序期间保护检查垫dp-tp。因此，在剥离与垫区域pda(参照图10)重叠的保护部pp-1的一部分之后，利用检查垫dp-tp检查画质时可以确保可靠性。

所述划线工序可以包括从第二预备显示模块dm-2分离显示模块dm的工序。可以沿划线scl从第二预备显示模块dm-2分离显示模块dm。检查垫dp-tp可以通过所述划线工序而从显示模块dm分离。

图14是示出根据本发明的一实施例的母体玻璃以及保护部的平面图。在对图14进行说明时，用相同附图标记表示通过图1至图8说明过的构成要素，并且省略对此的说明。

参照图1至图14，光源部lz可以沿第一切割线hcl1-1、hcl2-1、hcl3-1、hcl4-1而将保护部pp1半切割。光源部lz可以沿第二切割线fcl-1而进行全切割。第二切割线fcl-1可以对应于信号垫dp-pd1与检查垫dp-tp1之间的区域。剥离部pr可以剥离保护部pp1的周围区域ba-1。剥离部pr可以容易地使检查垫dp-tp1暴露。可以利用暴露的检查垫dp-tp1进行画质检查。

根据本发明，第二切割线fcl-1可以与信号垫dp-pd1不重叠。因此，可以防止激光束ls的能量被传递到信号垫dp-pd1。可以防止在信号垫dp-pd1发生损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的保护膜剥离方法。

以上，虽然参照本发明的优选实施例进行了说明，但只要是在本技术领域的熟练的技术人员或者在本技术领域中具有普通知识水平的人员，便可以理解在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和技术领域的范围内，可以对本发明进行多种修改和变更。因此，本发明的技术范围并不应该限于说明书的详细说明中记载的内容，而应当通过权利要求书所记载的范围来确定。