技术特征：
1.一种图像传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；多个光电二极管，位于所述半导体衬底内；多个微透镜阵列，位于所述半导体衬底表面，每个微透镜阵列对应一光电二极管，每个所述微透镜阵列由n行与n列的微透镜组成，n≥2；其中，排布在所述微透镜阵列中的同行微透镜或同列微透镜或同一对角线的微透镜尺寸相同。2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，每个所述微透镜阵列中的微透镜尺寸相同。3.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，每个所述微透镜阵列由2行与2列的4个微透镜组成，位于同一对角线的微透镜的尺寸两两相同。4.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，每个所述微透镜阵列由2行与2列的4个微透镜组成，位于同一行的微透镜的尺寸两两相同。5.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，每个所述微透镜阵列由2行与2列的4个微透镜组成，位于同一列的微透镜的尺寸两两相同。6.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，每个所述微透镜阵列由3行与3列的9个微透镜组成，位于同一行的三个微透镜的尺寸相同。7.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，每个所述微透镜阵列由3行与3列的9个微透镜组成，位于同一列的三个微透镜的尺寸相同。8.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述微透镜为凸透镜形状，凸透镜的底面平坦。9.一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：提供半导体衬底，在所述半导体衬底内具有光电二极管；在所述半导体衬底表面设置多个微透镜阵列，每个所述微透镜阵列与一所述光电二极管对应，每个所述微透镜阵列由n行与n列的微透镜组成，n≥2；其中，排布在所述微透镜阵列中的同行微透镜或同列微透镜或同一对角线的微透镜尺寸相同。10.根据权利要求9所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，还包括在所述半导体衬底和微透镜阵列之间形成滤光片的步骤。11.根据权利要求9所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，形成所述微透镜阵列包括以下步骤：在与每个所述光电二极管对应的滤光片上形成栅栏，所述栅栏由若干相互间隔的条状结构组成，相邻所述条状结构之间具有间隙，每个所述间隙与一预定形成的所述微透镜对应；沉积微透镜材料，以填充所述间隙；去除所述栅栏；回流所述微透镜材料，以形成多个所述微透镜。12.根据权利要求11所述的形成方法，其特征在于，所述栅栏由若干行或若干列相交的条状结构组成，相邻所述条状结构之间为方形间隙。13.根据权利要求9所述的形成方法，其特征在于，所述微透镜为凸透镜形状，凸透镜的
底面平坦。
技术总结
一种图像传感器及其形成方法，所述图像传感器包括：半导体衬底；多个光电二极管，位于所述半导体衬底内；多个微透镜阵列，位于所述半导体衬底表面，每个微透镜阵列对应一光电二极管，每个所述微透镜阵列由n行与n列的微透镜组成，n≥2；其中，排布在所述微透镜阵列中的同行微透镜或同列微透镜或同一对角线的微透镜尺寸相同。通过本发明方案能够提供一种改进的图像传感器，既满足营销、市场需求又保证像素单元的成效性能。元的成效性能。元的成效性能。
技术研发人员：赵立新 张黎黎
受保护的技术使用者：格科微电子（上海）有限公司
技术研发日：2020.07.24
技术公布日：2022/1/25