一种用于在晶圆表面压膜的压膜装置的制作方法

本实用新型属于半导体制程的压模机设备技术领域，具体涉及一种用于在晶圆表面压膜的压膜装置。

背景技术：

在半导体制程中，各层结构之间的对位精度需要达到微米或者纳米级别，如图1所示，喷孔片0、单片膜31以及晶圆41自上而下依次设置，喷孔片0、单片膜31以及晶圆41的设置方式具体也可参考专利号为cn02126872.x(公告号为cn1468712a)的中国发明专利公开的《一种喷墨式打印头晶粒的喷孔片的制作方法》，上层的喷孔片0具有直径20微米的喷孔01，单片膜31上具有30微米的喷墨腔312，喷孔01需要位于下方喷墨腔312的正中心，偏位要求为1微米以内。

在压膜工艺中，会选用液态材料进行制膜后压膜，需要先用液态材料在涂布内高速旋转制作成固态单片膜31后，例如20微米厚度，再通过压膜机进行压合。现有技术中，如图2所示，在单片膜31压膜操作过程中，需要将晶圆41放在传动带上，人工手持单片膜31进行对位与压制，压制可以采用贴膜机碾压贴膜，如专利号为cn200810202280.9(公开号为cn101738865a)的中国发明专利申请公开的《一种干法贴膜工艺》所示。压制过程中单片膜31因人工手持，存在微弱的拉扯力，使压膜后单片膜31与晶圆41之间存在着细微的水平应力，由于是人工作业，该应力的大小和方向存在随机性。压膜后，进行曝光，显影，然后进行烘烤。在烘烤过程中，应力得到释放，使得单片膜31发生微弱的偏移，例如在2-10微米的偏移，但是喷孔片0在压合的过程中并不会相对晶圆41产生位置偏移(单片膜31和喷孔片0均以晶圆41上的基准点进行定位)，这导致喷孔01与喷墨腔312之间的偏差超过设定范围，使得晶圆部分区域的芯片超过规范要求而成为不良品。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的现状，提供一种在压膜制程中单片膜受力大小和方向一致的用于在晶圆表面压膜的压膜装置。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种用于在晶圆表面压膜的压膜装置，其特征在于：包括

第一压辊；

第二压辊，平行设置在第一压辊的下方，且第一压辊与第二压辊之间形成有可供第一传送带和第二传送带同时穿过的夹缝；所述第一压辊和第二压辊分别通过对应的驱动机构驱动下转动；

所述第一传送带用于传送连接在其上的单片膜，它通过第一压辊的带动下连同单片膜穿经夹缝；

所述第二传送带用于传送设在其上的晶圆，它通过第二压辊的带动下使晶圆与第一传送带上的单片膜呈相对状同步穿过夹缝，而实现晶圆与单片膜的压合。

为了便于第一传送带和第二传送带使用完后卷收以及下次使用时输出，该压膜装置还包括供第一传送带绕设其上的第一放卷滚轴以及供第二传送带绕设其上的第二放卷滚轴。

为了提高第一传送带的传送平稳度，沿第一传送带的行进方向，所述第一放卷滚轴的下游设有支撑台，该支撑台包括支撑架以及设置在支撑架上的台面，所述第一传送带绕经该台面而形成用于上单片膜的作业平台。这样第一传送带从第一放卷滚轴输出后，支承在支撑台的台面上，避免第一传送带在自身重力作用下下坠；并且在第一传送带绕经支撑台的台面时，上单片膜，即将单片膜定位在第一传送带上。

为了减小第一传送带的传送阻力，所述支撑台的台面为光滑的平面。支撑台的台面选用光滑平整、摩擦系数小的材料制成。

为了进一步提高第一传送带的传送平稳性，该压膜装置还包括能支承第一传送带的传送滚轴，所述支撑台的台面与第一放卷滚轴之间和/或所述支撑台的台面与第一压辊之间设有前述传送滚轴。传送滚轴也起到张紧第一传送带、便于第一传送带传送单片膜的作用。

为了便于设置传送滚轴，所述传送滚轴有至少一个，至少其中一个所述传送滚轴能转动地安装在支撑台的支撑架上。

为了提高第二传送带的传送平稳度，在所述第二放卷滚轴和第二压辊之间还设有用于支承第二传送带的上料平台。

优选地，所述第一放卷滚轴设于支撑台的一侧，所述第二放卷滚轴、上料平台、第二压辊依次间隔设置在支撑台的另一侧，所述第一压辊位于支撑台的台面的下方。该设置方式结构紧凑。

优选地，所述第一传送带和第二传送带均为具有宽度和长度的pet膜。pet薄膜的传送连续性好，不易变形，受力方向及大小一致，提高了压膜的制程一致性及合格率。

与现有技术相比，本实用新型的优点：本实用新型的压膜装置设有第一传送带和第二传送带以分别传送单片膜和晶圆，结构合理，便于单片膜的上料以及压膜传送操作，且带动单片膜的第一传送带的牵引力为第一压辊的转动作为牵引力，因此单片膜的受力方向、大小一致，同时第一传送带传送单片膜可以有效降低或避免单片膜受应力变形，降低晶圆的压膜应力，解决了晶圆和单片膜的压膜制程中，单片膜与晶圆受应力大小不同、方向不一致、传输不连贯的问题。

附图说明

图1为现有技术的喷孔片、单片膜和晶圆的结构示意图；

图2为现有技术的单片膜向晶圆上压合的结构示意图；

图3为本实用新型实施例的压膜装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

如图3所示，本优选实施例的用于在晶圆表面压膜的压膜装置包括支架51、第一放卷滚轴5、支撑台7、传送滚轴8、第一压辊1、第二压辊2、第一传送带3、第二传送带4、上料平台9以及第二放卷滚轴6。

支架51设于支撑台7右侧，第一放卷滚轴5能转动地安装在该支架51上，第一传送带3绕设在第一放卷滚轴5上，第二放卷滚轴6、上料平台9、第二压辊2依次设置在支撑台7的左侧，第二传送带4绕设在第二放卷滚轴6上，第二放卷滚轴6也可转动的设置在一支撑件(图中未示出)上。

第一压辊1平行位于第二压辊2的上方，且第一压辊1位于下文的支撑台7的台面72的下方，第二压辊2和第一压辊1之间形成有可供第一传送带3和第二传送带4同时穿过的夹缝11，第一压辊1和第二压辊2分别在对应的驱动机构(如电机、图中未示出)的驱动作用下绕自身轴线转动。

第一传送带3上设置有单片膜31，单片膜31可通过胶带311定位在第一传送带3上，第一传送带3在第一压辊1的带动下连同单片膜31穿经夹缝11，即第一传送带3用于传送连接在其上的单片膜31。

沿第一传送带3的行进方向，支撑台7位于第一放卷滚轴5的下游，该支撑台7包括支撑架71以及设置在支撑架上的台面72，第一传送带3绕经该台面72而形成用于上单片膜31的作业平台，这样在第一传送带3绕经该台面72时，将单片膜31设置在第一传送带3上，即上单片膜31；另外，第一传送带3从第一放卷滚轴5输出后，支承在支撑台7的台面72上，避免第一传送带3在自身重力作用下下坠。

另外，支撑台7的台面72选用光滑平整、摩擦系数小的材料制成，即支撑台7的台面72为光滑的平面，以减小第一传送带3的传送阻力。

传送滚轴8支承第一传送带3，提高第一传送带3运行的平稳性并对第一传送带3起到张紧的作用，本实施例中，传送滚轴8有三个，支撑台7的台面72与第一放卷滚轴5之间设有一个传送滚轴8，该传送滚轴8能转动地安装在支撑台7的支撑架71上，支撑台7的台面72与第一压辊1之间设有两个传送滚轴8，其中一个传送滚轴8能转动地安装在支撑台7的支撑架71上。

上料平台9设置在第二放卷滚轴6和第二压辊2之间，以支承第二传送带4使其平稳移动。第二传送带4上设置有晶圆41，第二传送带4在第二压辊2的带动下使晶圆41与第一传送带3上的单片膜31呈相对状同步穿过夹缝11，而实现晶圆41与单片膜31的压合，即第二传送带4用于传送设在其上的晶圆41。

本实施例中，第一传送带3和第二传送带4均为具有宽度和长度的pet膜。pet薄膜的传送连续性好，不易变形，受力方向及大小一致，提高了压膜的制程一致性及良率提升。

在使用本实施例的压膜装置时，先将第一传送带3安装在第一放卷滚轴5上，第二传送带4安装在第二放卷滚轴6上，将第一传送带3依次穿过第一个传送滚轴8、支撑台7的台面72、第二个传送滚轴8、第三个传送滚轴8、夹缝11，此第一传送带3将作为单片膜31的传送带；第二传送带4依次穿过上料平台9、夹缝11，此第二传送带4将作为晶圆41的传送带；

安装完成后将单片膜31用胶带311固定于第一传送带3上，固定完成过后开启压膜装置，第一传送带3将在第一压辊1的转动下向夹缝11传动单片膜31，当单片膜31将移动至第一压辊1时，将晶圆41平放于上料平台9上的第二传送带4上，压膜机继续工作，晶圆41和单片膜31同时通过夹缝11，此时将会把晶圆41和单片膜31压合。

此种压合方式，因有两卷pet膜分别作为晶圆41和单片膜31的传送带，带动单片膜31的第一传送带3的牵引力为第一压辊1的转动作为牵引力，因此单片膜31的受力方向、大小一致，同时第一传送带3传送单片膜31可以有效降低或避免单片膜31受应力变形。

另外，在贴喷孔片0时，也可采用该压膜装置，比如第一传送带3上设置喷孔片0，第二传送带4上设置压合好的晶圆41和单片膜31。