一种桨固定装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种桨固定装置。


背景技术：

[0002]
扩散炉作为半导体器件工艺设备的重要设备之一，广泛应用于集成电路、电力电子、太阳能电池的生产等行业，在光伏行业，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成pn结。在太阳能光伏电池工艺流程中，等离子增强化学气相沉积(pecvd)作用主要是薄膜生长，可用于氮化硅、氧化铝、本征硅、掺杂非晶硅等薄膜生长。
[0003]
在pecvd工艺中需要将装有硅片的舟用机构推送进炉管和将舟从炉管中取出，需要桨来承载、转运舟，同样的在扩散工艺以及退火等工艺中也需要舟、桨以及炉管的配合，其中桨的材质一般用碳化硅烧结的桨或刚玉或不锈钢等。
[0004]
由于桨要将舟带入到炉内，又要将舟从炉内取出，有的还需要桨将舟放置在炉内，再用桨将舟从炉内取起来，再推出。为了避免桨和桨上的舟与炉管发生碰撞、摩擦，同时使舟在炉内的位置正确，需要调节桨的方向和位置。
[0005]
同时随着产能需求的增大，舟的重量也增大，普通的桨和桨的固定装置已经不足以适用将来的需求，因此需要更为坚固可靠的桨以及桨的固定装置。


技术实现要素：

[0006]
本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种桨固定装置，结构简单，使用方便。
[0007]
一种桨固定装置，包括调节装置和支撑装置；所述调节装置设置于支撑装置的一端；调节装置能够调节支撑装置的倾角，使支撑装置保持设定状态；支撑装置能够支撑舟体。
[0008]
进一步的，所述调节装置包括固定板、调节板以及紧固装置；所述调节板设置于固定板以及紧固装置之间；所述紧固装置设置于调节板以及支撑装置之间，紧固装置设置于支撑装置的一端；调节板能够调节支撑装置的水平位置以及水平倾角；紧固装置能够调节支撑装置的上下位置以及上下倾角。
[0009]
进一步的，所述紧固装置分为紧固装置一以及紧固装置二，紧固装置一和紧固装置二设置于支撑装置上。
[0010]
进一步的，所述紧固装置一包括上连接块一、下连接块一、紧固环一以及连接杆一；所述连接杆一用于连接上连接块一以及下连接块一，所述紧固环一设置于上连接块一以及下连接块一之间。
[0011]
进一步的，所述紧固环一整体呈直棱柱形，在紧固环一的上下两个底面上设置有贯通的柱形孔；所述下连接块一和上连接块一连接时，中间设置有与紧固环一相匹配的镂空；所述连接杆一的长度可调，连接杆一的两端分别为固定端和调节端；连接杆一自下而上穿过下连接块一和上连接块一最后达到调节板的下表面；连接杆一的固定端与调节板固定
连接。
[0012]
进一步的，所述紧固装置二包括上连接块二、下连接块二、紧固环二、连接杆二以及紧固块，其中上连接块二、下连接块二以及紧固环二的连接结构与紧固装置一相同；所述紧固块的上端与调节板的下表面固定连接；紧固块的下端向外侧延伸；紧固装置二中的连接杆二自上而下穿过上连接块二、下连接块二达到紧固块的延伸部位；连接杆二的固定端与紧固块的延伸部位固定连接。
[0013]
进一步的，所述支撑装置包括主桨、副桨、连接环，所述连接环设置于主桨和副桨之间。
[0014]
进一步的，所述连接环设置有四个贯通孔，分别对应三根副桨以及一根主桨；连接环包括连接环一和连接环二；连接环一和连接环二之间保持设定距离。
[0015]
进一步的，所述连接环一用于设置主桨的贯通孔设置有切口，切口的两侧可以通过螺纹连接；连接环一用于设置副桨的三个贯通孔相互平行设置，相邻的贯通孔之间的设置有梯形松紧块，所述梯形松紧块设置于连接环一的主体上，梯形松紧块与连接环一的主体之间可以采用螺纹连接；所述连接环二包括主连接块和副连接块；所述主连接块上设置有连接主桨的贯通孔没并且在柱连接块上设置有切口，切口的两侧可以通过螺纹连接；当主连接块和副连接块固定连接的时候，形成三个相互平行的用于设置副桨的贯通孔，副桨的贯通孔一部分弧形面位于主连接块，一部分弧形面位于副连接块；所述副连接块的两侧向上延伸，延伸部位与主连接块的侧面连接，可以采用螺纹连接；在副连接块的两个弧形面的间隔部分也可以设置螺纹连接孔与主连接块的下侧连接。
[0016]
进一步的，所述固定板包括竖板和横板，所述竖板竖直设置，所述横板水平设置，横板垂直设置于竖板的中间部位；所述调节板设置于横板的下表面；所述横板与竖板之间设置三角支撑板，其中三角支撑板的两条直角边分别与横板的下表面以及竖板的侧面贴合；所述紧固装置一中连接杆共两根，两根连接杆设置于紧固环的两侧；所述紧固装置二中连接杆共两根，两根连接杆设置于紧固环的两侧；副桨上设置有定位装置一和定位装置二，定位装置一和定位装置二配合使舟体能够平稳的放置于副桨上；紧固环一整体呈直四棱柱形；紧固块整体呈直四棱柱形，在紧固块上设置有u形镂空，其中u形镂空的开口方向向下，u形镂空贯通紧固块相对的两个面，并且u形镂空的拐角处用弧形过渡。
[0017]
本实用新型的有益效果为：
[0018]
本实用新型通过设置调节板以及紧固装置，实现对桨的水平位置、水平角度以及上下位置、上下倾角的调节，保证舟体能够保持水平、平稳的放置于桨上；
[0019]
通过设置三根相互平行的副桨以及一根主桨，增强了支撑装置的负载能力；
[0020]
通过设置紧固环配合上连接块以及下连接块形成的矩形镂空，保证在工艺过程中，紧固环不会发生偏转，进而保证桨不会发生偏转；
[0021]
本实用新型通过设置定位装置一和定位装置二，保证舟体在副桨上不会产生偏移。
附图说明
[0022]
图1为本实用新型搭载舟后的立体图；
[0023]
图2为本实用新型调节装置与主桨的连接结构示意图；
[0024]
图3为本实用新型调节装置的连接示意图；
[0025]
图4为本实用新型紧固装置一的连接示意图；
[0026]
图5为本实用新型紧固装置二的连接示意图；
[0027]
图6为本实用新型支撑装置的立体图；
[0028]
图7为本实用新型支撑装置的俯视图；
[0029]
图8为本实用新型连接环一的结构示意图；
[0030]
图9为本实用新型连接环二的结构示意图；
[0031]
图10为本实用新型定位装置一的结构示意图；
[0032]
图11为本实用新型定位装置二的结构示意图；
[0033]
附图标志说明：调节装置1、固定板11、调节板12、紧固装置一13、上连接块131、下连接块132、紧固环133、连接杆134、固定端135、调节端136、紧固装置二14、紧固块141、支撑装置2、主桨21、副桨22、连接环一23、梯形松紧块231、连接环一的主体232、连接环二24、主连接块241、副连接块242、定位装置一25、定位装置二26。
具体实施方式
[0034]
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0035]
需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0036]
实施例一：
[0037]
如图1所示，一种桨固定装置，包括调节装置1和支撑装置2；所述调节装置1设置于支撑装置2的一端。调节装置1能够调节支撑装置2的倾角，使支撑装置2保持设定状态，在本实施例中为水平状态；支撑装置2能够支撑舟体，完成将舟体推进炉子以及退出炉子的操作。
[0038]
如图2、3所示，所述调节装置1包括固定板11、调节板12以及紧固装置；所述调节板12设置于固定板11以及紧固装置之间；所述紧固装置设置于调节板12以及支撑装置2之间，紧固装置设置于支撑装置2的一端。调节板12能够调节支撑装置2的水平位置以及水平倾角；紧固装置能够调节支撑装置2的上下位置以及上下倾角。
[0039]
所述固定板11包括竖板和横板，所述竖板竖直设置，所述横板水平设置，横板垂直设置于竖板的中间部位，横板与竖板一体制成。在本实施中为了增强横板的负载能力，在横板与竖板之间设置三角支撑板，其中三角支撑板的两条直角边分别与横板的下表面以及竖板的侧面贴合。所述调节板12设置于横板的下表面。所述紧固装置分为紧固装置一13以及紧固装置二14，紧固装置一13和紧固装置二14设置于支撑装置2上。
[0040]
如图3、4所示，所述紧固装置一13包括上连接块一131、下连接块一132、紧固环一
133以及连接杆一134。所述连接杆一134用于连接上连接块一131以及下连接块一132，所述紧固环一133设置于上连接块一131以及下连接块一132之间。紧固环一133整体呈直棱柱形；在本实施例中紧固环一133为直四棱柱形，紧固环一133的上下两个底面为正方形，在紧固环一133的上下两个底面上设置有贯通的柱形孔，其中柱形孔在紧固环一的上下底面的圆心分别与紧固环上下底面的中心重合。紧固环一133分为两部分，在本实施例中沿着垂直紧固环一133的上下底面，同时经过柱形孔的中轴线的方向，将紧固环一133分为对称的两部分。所述下连接块一132和上连接块一131连接时，中间设置有与紧固环一133相匹配镂空，在本实施例中为矩形镂空，用于设置紧固环一133；镂空的拐角处为直角，为了与紧固环一133的棱相配合，保证紧固环一133与上连接块一131和下连接块一132连接稳固，不会产生偏转。其中矩形镂空可以部分设置于上连接块一131，部分设置于下连接块一132；也可以全部设置于下连接块一132。所述连接杆一134的长度可调，连接杆一134的两端分别为固定端135和调节端136。在紧固装置一13中连接杆一134共两根，两根连接杆一134设置于紧固环133的两侧，连接杆一134自下而上穿过下连接块132和上连接块131最后达到调节板12的下表面，其中紧固装置一13中的连接杆一134的固定端135与调节板12固定连接，调节端136位于固定端135的下方。调节紧固装置一13的连接杆一134的调节端136，能够使相应的连接杆一134实现伸缩，进而调节紧固装置一13与调节板12的相对位置。
[0041]
如图3、5所示，所述紧固装置二14包括上连接块二、下连接块二、紧固环二、连接杆二以及紧固块，其中上连接块二、下连接块二以及紧固环二的连接结构与紧固装置一13相同。所述紧固块整体呈直四棱柱形，在紧固块上设置有u形镂空，其中u形镂空的开口方向向下，u形镂空贯通紧固块141相对的两个面，并且u形镂空的拐角处用弧形过渡，目的是使支撑装置2能够穿过紧固装置二14到达紧固装置一13。紧固块141的上端与调节板12的下表面固定连接；紧固块141的下端向外侧延伸，延伸的方向与u形镂空的走向平行。在紧固装置二14中的连接杆二共两根，连接杆二与连接杆一的结构相同；两根连接杆二设置于紧固环二的两侧，连接杆二自上而下穿过上连接块二、下连接块二达到紧固块141的延伸部位，其中连接杆二的固定端与紧固块141固定连接，连接杆二的调节端位于固定端的上方。调节紧固装置二14的连接杆二的调节端，能够使相应的连接杆二实现伸缩，进而调节紧固装置二14中的上连接块二、下连接块二与紧固块141之间的相对位置。
[0042]
如图1、2、6-9所示，所述支撑装置2包括主桨21、副桨22、连接环，所述连接环设置于主桨21和副桨22之间。在本实施例中副桨22共三根，每根副桨22都呈圆管状，三根副桨22平行等间距设置。所述主桨21呈圆管状，其中主桨21的直径大于副桨22的直径。主桨21设置于副桨22的上方，主桨21的末端部分与副桨22贴合，贴合长度为设定长度。主桨21与副桨22之间设置有连接环，所述连接环设置有四个贯通孔，分别对应三根副桨22以及一根主桨21。在本实施例中连接环包括连接环一23和连接环二24，连接环一23和连接环二24都设置于主桨21和副桨22之间，并且连接环一23和连接环二24之间保持设定距离，目的是使副桨22与主桨21之间的力能够分散，增强支撑装置2的负荷能力。所述连接环一23用于设置主桨21的贯通孔设置有切口，切口的两侧可以通过螺纹连接，目的是该贯通孔通过调节螺纹连接部位，能够实现主桨21的拆装和松紧调节。连接环一23用于设置副桨22的三个贯通孔相互平行设置，相邻的贯通孔之间的设置有梯形松紧块231，所述梯形松紧块231设置于连接环一的主体232上，梯形松紧块231与连接环一的主体232之间可以采用螺纹连接，调节梯形松紧
块231能够实现副桨22的安装和松紧调节。所述连接环二24包括主连接块241和副连接块242，所述主连接块241与副连接块242之间可以采用螺纹连接。主连接块241上设置有连接主桨21的贯通孔没并且在柱连接块上设置有切口，切口的两侧可以通过螺纹连接，目的是能够实现主桨21的拆装和松紧调节。当主连接块241和副连接块242固定连接的时候，在主桨21的贯通孔的下方有三个相互平行的副桨22的贯通孔，其中每个副桨22的贯通孔都有一部分弧形面位于主连接块241，一部分弧形面位于副连接块242。所述副连接块242的两侧向上延伸，延伸部位与主连接块241的侧面连接，可以采用螺纹连接；在副连接块242的两个弧形面的间隔部分也可以设置螺纹连接孔与主连接块241的下侧连接，增强主连接块241和副连接块242之间连接的可靠性。通过拆副连接块242，实现副桨22的安装。在本实施例中，主桨21与紧固装置二14和紧固装置一13固定连接，连接环一23设置于紧固装置二14和连接环二24之间。根据杠杆原理，连接环二24所处位置主要受到副桨22向下的压力，连接环一23所处位置主要受到副桨22向上的压力，因此需要将竖直方向上负载能力更强的连接环二24设置于靠近副桨22的一侧。
[0043]
如图6、10、11所示，为了稳固使舟体能够平稳的放置于副桨22上，在副桨22上设置有定位装置一25和定位装置二26。所述定位装置一25设置于连接环二24与定位装置二26之间，定位装置一25设置于副桨22上靠近主桨21末端的部位；所述定位装置二26设置于副桨22的末端。
[0044]
在本实施例中调节紧固装置一13以及紧固装置二14上的连接杆能够实现对设置于紧固装置一13以及紧固装置二14上的主桨21的上下倾斜角度进行调节，进而调节副桨22以及搭载于副桨22上的舟体的上下倾斜角度进行调节；同样的，调节板12与固定板11的相对位置，能够调节主桨21、副桨22以及搭载于副桨22上的舟体的水平位置和水平倾角。
[0045]
以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本

技术实现要素：
和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。