多路承片台托盘的制作方法

[0001]
本实用新型属于半导体加工制造领域，涉及晶圆减薄机用承片台托盘，具体涉及多路承片台托盘。


背景技术：

[0002]
在半导体加工设备中，晶圆减薄机是半导体加工中必不可少的一个设备，而在晶圆减薄过程中，最常用的晶圆为四吋、五吋、六吋与八吋晶圆，在减薄机系统中承片台系统是减薄机中的主要部分，而承片台托盘与承片台吸盘是承片台系统中必不可少的零件。现有承片台吸盘多为单路吸盘，所对应的承片台托盘也为中心通气通水托盘，所以在减薄不同尺吋的晶圆时就需要更换相对应尺吋的吸盘，无形中增加了制造成本，在更换托盘与吸盘中也浪费了大量时间。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的是为了克服上述现有技术存在的不足或缺陷，提供多路承片台托盘。
[0004]
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是多路承片台托盘，包括一个圆盘形结构的八吋托盘，其特征在于，所述八吋托盘上下端面平行，上端面开设有多个不同吋数的气槽及相对应的多个密封托盘圈槽，圆周侧面上垂直于轴线方向开设有多路贯穿型的阶梯通孔，各阶梯通孔于八吋托盘轴线处相交，下端面轴线方向上还开设有一个用于连接气路主体的中心气孔，中心气孔与各阶梯通孔连通；各气槽的槽内均开设有多个气路连接孔，气路连接孔与阶梯通孔连通；对应于阶梯通孔还匹配有多个不同吋数的螺塞杆。
[0005]
八吋托盘的上端面用于连接真空吸盘，下端面用于连接转台主体。气槽
[0006]
进一步的，所述气槽包括两圈四吋气槽、一圈五吋气槽、一圈六吋气槽和一圈八吋气槽，四吋气槽与五吋气槽、五吋气槽与六吋气槽、六吋气槽与八吋气槽之间各开设有一圈密封托盘圈槽，八吋气槽的外圈也开设有一圈整体密封用的密封托盘圈槽。
[0007]
各气槽形成环形气路，密封托盘圈槽采用密封圈密封后，将每个气路单独隔开，八吋气槽外圈的密封托盘圈槽用于整体密封八吋托盘与吸盘之间的接触面。
[0008]
进一步的，所述阶梯通孔为四路，四路所述阶梯通孔均布于圆周侧面上，且均在垂直于轴线的同一平面上。
[0009]
进一步的，所述阶梯通孔均为四个阶梯，从内到外分别为四吋气路阶梯孔、同一圆周上的五吋气路阶梯孔和六吋气路阶梯孔、八吋气路阶梯孔及最外侧沉孔阶梯，其中，四吋气路阶梯孔为第一阶梯通孔，其直径最小，五吋气路阶梯孔和六吋气路阶梯孔为第二阶梯通孔，八吋气路阶梯孔为第三阶梯通孔，前端为用于开设气路连接孔的通孔，后端为用于连接螺塞杆的螺纹孔，最外侧沉孔阶梯为螺塞杆沉头孔。
[0010]
进一步的，所述阶梯通孔的每一个阶梯上均开设有一个气路连接孔；气路连接孔包括4个四吋气路连接孔、2个五吋气路连接孔、2个六吋气路连接孔、四个八吋气路连接孔；
四吋气路连接孔均布于最内圈两个结构圆上，且开设在四吋气路阶梯孔上；五吋气路连接孔均布于直径大于四吋结构圆直径的结构圆上，且开设在五吋气路阶梯孔上；六吋气路连接孔均布于直径大于五吋结构圆直径的结构圆上，且开设在六吋气路阶梯孔上，两个六吋气路连接孔中心相连的直线与两个五吋气路连接孔相连的直线相垂直；八吋气路连接孔均布在同一个结构圆上，其结构圆直径大于六吋结构圆，且开设在八吋气路阶梯孔上。
[0011]
进一步的，所述螺塞杆包括四个全开螺塞杆、四个八吋螺塞杆、两个六吋螺塞杆、两个五吋螺塞杆。
[0012]
进一步的，所述全开螺塞杆为三段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，第二段为螺纹段，此段直径大于第一段，用于与托盘中螺纹端相连接，第三段为螺塞杆螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有安装密封圈的全开螺塞杆密封圈槽。
[0013]
进一步的，所述八吋螺塞杆为四段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，导向末端开设有一八吋螺塞杆八吋密封圈槽，第二段为八吋塞杆段，其圆柱直径大于最前段，第三段为螺纹段，此段圆柱直径大于第二段，螺纹用于与托盘相对应的螺纹连接；第四段为八吋螺塞杆螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有添加密封圈的八吋螺塞杆密封圈槽。
[0014]
进一步的，所述五吋螺塞杆为五段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，导向末端开设有一用于安装密封圈的五吋螺塞杆五吋密封圈槽，第二段为五吋塞杆段，其圆柱直径大于最前段，末端轴肩处开设有一用于安装密封圈的五吋螺塞杆八吋密封圈槽，第三段为八吋塞杆段，其圆柱直径大于五吋塞杆段，第四段为螺纹段，此段圆柱直径大于八吋塞杆段，螺纹用于与托盘相对应的螺纹连接，第五段为六吋螺塞杆螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有添加密封圈的五吋螺塞杆密封圈槽。
[0015]
进一步的，所述六吋螺塞杆为五段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，导向末端开设有一用于安装密封圈的六吋螺塞杆六吋密封圈槽，第二段为六吋塞杆段，其圆柱直径大于最前段，末端轴肩处开设有一用于安装密封圈的六吋螺塞杆八吋密封圈槽，第三段为八吋塞杆段，其圆柱直径大于六吋塞杆段，第四段为螺纹段，此段圆柱直径大于八吋塞杆段，螺纹用于与托盘相对应的螺纹连接，第五段为六吋螺塞杆螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有添加密封圈的六吋螺塞杆密封圈槽。
[0016]
综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：可根据使用需要开放或塞堵相应尺寸的气路，达到在不更换托盘的情况下磨削不同尺寸晶圆基片的目的，加工成本低，安装方便。
附图说明
[0017]
图1是本实用新型的装置一实施例的立体结构示意图；
[0018]
图2是本实用新型的装置一实施例的全开螺塞杆结构示意图；
[0019]
图3是本实用新型的装置一实施例的八吋螺塞杆结构示意图；
[0020]
图4是本实用新型的装置一实施例的五吋螺塞杆结构示意图；
[0021]
图5是本实用新型的装置一实施例的六吋螺塞杆结构示意图；
[0022]
图6是本实用新型的装置一实施例的八吋状态的开堵结构示意图；
[0023]
图7是本实用新型的装置一实施例的四吋状态的开堵结构示意图；
[0024]
图8是本实用新型的装置一实施例的五吋状态的开堵结构示意图；
[0025]
图9是本实用新型的装置一实施例的六吋状态的开堵结构示意图；
[0026]
附图标记：1-八吋托盘，2-全开螺塞杆，201-全开螺塞杆密封圈槽，3-八吋螺塞杆，301-八吋螺塞杆密封圈槽，302-八吋螺塞杆八吋密封圈槽，4-五吋螺塞杆，401-五吋螺塞杆密封圈槽，402-五吋螺塞杆八吋密封圈槽，403-五吋螺塞杆五吋密封圈槽，5-六吋螺塞杆，501-六吋螺塞杆密封圈槽，502-六吋螺塞杆八吋密封圈槽，503-六吋螺塞杆六吋密封圈槽，6、7、8、9-四吋气路连接孔，10、11-五吋气路连接孔，12、13-六吋气路连接孔，14、15、16、17-八吋气路连接孔，18-中心气孔。
具体实施方式
[0027]
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。
[0028]
实施例
[0029]
请参阅附图1-9所示，本实用新型提供的一种多路承片台托盘，包括一个圆盘形结构的八吋托盘1，其特征在于，所述八吋托盘1上下端面平行，上端面开设有多个不同吋数的气槽及相对应的多个密封托盘圈槽，圆周侧面上垂直于轴线方向开设有多路贯穿型的阶梯通孔，各阶梯通孔于八吋托盘1轴线处相交，下端面轴线方向上还开设有一个用于连接气路主体的中心气孔18，中心气孔18与各阶梯通孔连通；各气槽的槽内均开设有多个气路连接孔，气路连接孔与阶梯通孔连通；对应于阶梯通孔还匹配有多个不同吋数的螺塞杆。
[0030]
作为优选，本实施例中所述气槽包括两圈四吋气槽、一圈五吋气槽、一圈六吋气槽和一圈八吋气槽，四吋气槽与五吋气槽、五吋气槽与六吋气槽、六吋气槽与八吋气槽之间各开设有一圈密封托盘圈槽，八吋气槽的外圈也开设有一圈整体密封用的密封托盘圈槽。
[0031]
作为优选，本实施例中所述阶梯通孔为四路，四路所述阶梯通孔均布于圆周侧面上，且均在垂直于轴线的同一平面上。
[0032]
作为优选，本实施例中所述阶梯通孔均为四个阶梯，从内到外分别为四吋气路阶梯孔、同一圆周上的五吋气路阶梯孔和六吋气路阶梯孔、八吋气路阶梯孔及最外侧沉孔阶梯，其中，四吋气路阶梯孔为第一阶梯通孔，其直径最小，五吋气路阶梯孔和六吋气路阶梯孔为第二阶梯通孔，八吋气路阶梯孔为第三阶梯通孔，前端为用于开设气路连接孔的通孔，后端为用于连接螺塞杆的螺纹孔，最外侧沉孔阶梯为螺塞杆沉头孔。
[0033]
作为优选，本实施例中所述阶梯通孔的每一个阶梯上均开设有一个气路连接孔；气路连接孔包括4个四吋气路连接孔6、7、8、9，2个五吋气路连接孔10、11，2个六吋气路连接孔12、13，四个八吋气路连接孔14、15、16、17；四吋气路连接孔6、7、8、9均布于最内圈两个结构圆上，且开设在四吋气路阶梯孔上；五吋气路连接孔10、11均布于直径大于四吋结构圆直径的结构圆上，且开设在五吋气路阶梯孔上；六吋气路连接孔12、13均布于直径大于五吋结构圆直径的结构圆上，且开设在六吋气路阶梯孔上，两个六吋气路连接孔12、13中心相连的直线与两个五吋气路连接孔10、11相连的直线相垂直；八吋气路连接孔14、15、16、17均布在
同一个结构圆上，其结构圆直径大于六吋结构圆，且开设在八吋气路阶梯孔上。
[0034]
作为优选，本实施例中所述螺塞杆包括四个全开螺塞杆2、四个八吋螺塞杆3、两个五吋螺塞杆4、两个六吋螺塞杆5。
[0035]
作为优选，本实施例中所述全开螺塞杆2为三段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，第二段为螺纹段，此段直径大于第一段，用于与托盘中螺纹端相连接，第三段为螺塞杆螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有安装密封圈的全开螺塞杆密封圈槽201。
[0036]
作为优选，本实施例中所述八吋螺塞杆3为四段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，导向末端开设有一八吋螺塞杆八吋密封圈槽302，第二段为八吋塞杆段，其圆柱直径大于最前段，第三段为螺纹段，此段圆柱直径大于第二段，螺纹用于与托盘相对应的螺纹连接；第四段为八吋螺塞杆螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有添加密封圈的八吋螺塞杆密封圈槽301。
[0037]
作为优选，本实施例中所述五吋螺塞杆4为五段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，导向末端开设有一用于安装密封圈的五吋螺塞杆五吋密封圈槽403，第二段为五吋塞杆段，其圆柱直径大于最前段，末端轴肩处开设有一用于安装密封圈的五吋螺塞杆八吋密封圈槽402，第三段为八吋塞杆段，其圆柱直径大于五吋塞杆段，第四段为螺纹段，此段圆柱直径大于八吋塞杆段，螺纹用于与托盘相对应的螺纹连接，第五段为六吋螺塞杆螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有添加密封圈的五吋螺塞杆密封圈槽401。
[0038]
作为优选，本实施例中所述六吋螺塞杆5为五段阶梯轴结构，直径最小段为最前段，前段部分为导向段，导向末端开设有一用于安装密封圈的六吋螺塞杆六吋密封圈槽503，第二段为六吋塞杆段，其圆柱直径大于最前段，末端轴肩处开设有一用于安装密封圈的六吋螺塞杆八吋密封圈槽502，第三段为八吋塞杆段，其圆柱直径大于六吋塞杆段，第四段为螺纹段，此段圆柱直径大于八吋塞杆段，螺纹用于与托盘相对应的螺纹连接，第五段为六吋螺塞杆5螺帽段，此段直径大于螺纹段，后端面开设有用于使用螺丝刀的开口槽，前端面与螺纹段相连接的轴肩处开设有添加密封圈的六吋螺塞杆密封圈槽501。
[0039]
本实施例的多路承片台托盘具体操作方法是：在安装完机器主体、多路承片台托盘及陶瓷真空吸盘之后，在使用过程中如果需要磨削四吋晶圆，则需将托盘内部气路调节到四吋状态，开放四吋气路连接孔6、7、8、9，堵塞五吋气路连接孔10、11及六吋气路连接孔12、13和八吋气路连接孔14、15、16、17，用到的螺塞杆为两个五吋螺塞杆4、两个六吋螺塞杆5，在螺塞杆相对应的密封槽中安装好密封圈后，将五吋螺塞杆4与六吋螺塞杆5安装到对应的气路通孔中，旋紧到适合的位置即可；如需磨削五吋晶圆，托盘内部气路则需调节到五吋状态，用到的螺塞杆为两个六吋螺塞杆5、两个八吋螺塞杆3，将对应尺寸的密封圈安装到螺塞杆相对应的密封槽中，将螺塞杆安装到托盘相对应的气路通孔中，旋紧到适合的位置是密封圈压紧即可；磨削六吋晶圆，托盘内部气路调节到六吋状态，用到的螺塞杆为两个八吋螺塞杆3、两个全开螺塞杆2，将对应尺寸的密封圈安装到螺塞杆相对应的密封槽中，将螺塞杆安装到托盘相对应的气路通孔中，旋紧到适合的位置将密封圈压紧即可；磨削八吋晶圆，托盘内部气路调节到六吋状态，用到的螺塞杆为四个全开螺塞杆2，将对应尺寸的密封圈安
装到螺塞杆相对应的密封槽中，将螺塞杆安装到托盘相对应的气路通孔中，旋紧到适合的位置将密封圈压紧即可。
[0040]
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，用以解释本实用新型的技术方案，本领域技术人员还可以在本实用新型的精神和原则之内作常规修改、等同替换和改进等。