一种硅片转换装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种硅片转换装置。


背景技术：

2.在半导体器件的实际生产中，根据需要有时只需选取硅片盒内的部分硅片，比如，于半导体生产过程中，较为常见的情况为，需对硅片盒内奇数卡槽内的硅片与偶数卡槽内的硅片分别进行不同的工艺流程，此时只需选取奇数卡槽内的硅片或只选取偶数卡槽内的硅片。
3.为了提高选择效率，人们设计了能够自动选取指定硅片盒内的部分硅片的硅片转换装置.目前，现有硅片转换装置普遍存在结构复杂、成本高和易发生硅片受损的缺点。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种硅片转换装置，以解决现有技术中硅片转换装置存在结构复杂、成本高和易发生硅片受损的问题。
5.本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
6.一种硅片转换装置，其包括：
7.转换工位，包括第一硅片承载台、升降驱动装置以及设置于转换工位上方的用于对第一硅片承载台上的硅片进行部分选取的硅片转换组件，所述升降驱动装置驱动第一硅片承载台升降，
8.上料工位，设置于转换工位的一侧，包括第二硅片承载台和升降驱动装置，所述升降驱动装置驱动第二硅片承载台升降，
9.分料工位，相对于上料工位设置于转换工位的另一侧，包括第三硅片承载台和升降驱动装置，所述升降驱动装置驱动第三硅片承载台升降，
10.所述硅片转换组件包括移动座、转换夹手和横移驱动装置，所述转换夹手包括对称设置于移动座上的两根转轴，所述转轴的一端连接有驱动其转动一定角度的旋转驱动装置，另一端安装有转换夹手，所述横移驱动装置驱动移动座依次经过上料工位、转换工位和分料工位完成一次转换操作。
11.作为本实用新型的一种优选方案，所述转换夹手包括夹手本体，所述夹手本体的一侧开设有若干个贯穿其厚度方向且用于避让硅片盒内部分硅片的避让槽，每个所述避让槽的至少一侧的夹手本体上开设有用于支撑同一所述硅片盒内剩余部分硅片的分片槽。
12.作为本实用新型的一种优选方案，所述夹手本体上相对于设置避让槽和分片槽的另一侧开设有用于支撑同一所述硅片盒内所有硅片的取放料槽，所述取放料槽的个数等于避让槽与分片槽的个数之和。
13.作为本实用新型的一种优选方案，所述夹手本体的一侧面的中部沿其长度方向开设有转轴装配槽，所述转轴装配槽内开设有转轴安装孔。
14.作为本实用新型的一种优选方案，所述转换工位、上料工位和分料工位的升降驱
动装置结构相同，均包括升降电机、升降支架、第一配重块、第二配重块和平面皮带，所述升降电机固定于机架上，所述升降支架的顶部固定对应的硅片承载台，所述第一配重块固定于升降支架的底部，所述升降电机的输出轴上安装有皮带轮，所述平面皮带的一端固定于第一配重块上，另一端绕过皮带轮并固定于第二配重块上，所述硅片承载台上升过程中遇到一定阻力时平面皮带在皮带轮上打滑，所述机架上安装有导向部件，所述第二配重块装配于所述导向部件上。
15.作为本实用新型的一种优选方案，所述升降支架竖直设置，且其外侧面上沿高度方向固定有导轨，配合导轨于所述机架上固定有滑块，所述滑块装配于所述导轨上。
16.作为本实用新型的一种优选方案，所述导向部件包括两根间隔固定于所述机架上的导向杆，所述第二配重块上对应开设有两个导向孔，第二配重块通过导向孔装配于导向杆上。
17.本实用新型的有益效果为，所述硅片转换装置不仅结构简单，结构紧凑，占用空间小；而且设计巧妙，转换效率高，升降过程平稳，硅片承载台上升过程中遇到一定阻力时平面皮带在皮带轮上打滑，进而能够避免硅片承载台上的硅片受损，提高了硅片转换过程的安全可靠性。
附图说明
18.图1是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换装置的正视图；
19.图2是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换装置的俯视图。
20.图3是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换装置的转换夹手的立体结构示意图；
21.图4是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换装置的转换夹手的又一立体结构示意图；
22.图5是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换装置的转换夹手的主视图。
具体实施方式
23.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
24.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当部件被称为“固定于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者也可以存在居中的部件。当一个部件被认为是“连接”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者可能同时存在居中部件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
25.请参照图1至图5所示，于本实施例中，一种硅片转换装置包括机架1、转换工位2、
上料工位3和分料工位4，转换工位2位于机架1的中间位置，上料工位3设置于转换工位2一侧的机架1上，转换工位2相对设置上料工位3的另一侧的机架1上设置分料工位4，机架1的一侧能沿其长度方向移动地装配有移动座5，移动座5连接有横移驱动装置，横移驱动装置驱动移动座5依次经过上料工位3、转换工位2和分料工位4完成一次转换操作，移动座5上能转动地设置有向三个工位方向延伸的两根转轴6，两根转轴6的一端连接有驱动其转动一定角度的旋转驱动装置，另一端均安装有转换夹手7。
26.转换夹手7由硬质的塑料制成，整体为长方体结构，包括夹手本体70，夹手本体70的一侧面的中部沿其长度方向开设有转轴装配槽71，转轴装配槽71内间隔开设有两个转轴安装孔72，转轴安装孔72为腰型孔，以便于调节夹手本体70在转轴6上的安装位置，转轴6通过螺栓固定于转轴安装孔72内。夹手本体70开设转轴装配槽71的侧面上的一侧边处开设有若干个贯穿夹手本体70厚度方向的避让槽73，避让槽73对应一组硅片的奇数位置上硅片设置，用于避让该组硅片的奇数位置上的硅片，每个避让槽73的一侧的夹手本体70上均开设有分片槽74，分片槽74对应同一组硅片的偶数位置上硅片设置，用于支撑该组硅片的偶数位置上的硅片，其中，避让槽73的截面为方形结构，分片槽74为具有一定角度的斜槽，只要能够稳定支撑住硅片即可。
27.夹手本体70开设转轴装配槽71的侧面上的另一侧边处开设有用于支撑该组所有硅片的取放料槽75，取放料槽75的个数等于避让槽73与分片槽74的个数之和，以使该转换夹手7具有自动取放整组硅片的功能。
28.转换工位2、上料工位3和分料工位4上的升降机构均相同，图1中仅绘示转换工位2上的升降机构作为示例，三个工位上的升降机构均设置有升降支架8、硅片承载台9和升降电机10，升降支架8能升降地装配于机架1上，升降支架8沿竖直方向设置且其顶部固定有硅片承载台9，硅片承载台9的两侧对应设置有若干个硅片卡槽11，升降支架8的外侧面上沿高度方向固定有导轨12，配合导轨12于机架1上固定有滑块，滑块装配于导轨12上。
29.升降电机10横向固定于机架1上，第一配重块13固定于升降支架8的底部，升降电机10的输出轴上安装有皮带轮13，平面皮带17的一端固定于第一配重块13上，另一端绕过皮带轮13并固定于第二配重块14上，机架1上间隔固定有两根导向杆15，第二配重块14上对应导向杆15间隔开设有两个导向孔，第二配重块14通过导向孔装配于导向杆15上，皮带轮13的两侧均设置有用于对平面皮带14限位的侧挡板。通过对升降电机10、皮带轮13和平面皮带17进行适配设计，使硅片承载台9上升过程中遇到一定阻力m时平面皮带14在皮带轮13上打滑，不会进一步上升，避免硅片承载台9上的硅片在上升过程中碰到障碍物时受损。
30.机架1上于转换工位2和分料工位4上设置有用于承载转换后硅片的硅片盒16。
31.上述硅片转换装置具体的转换操作包括以下步骤：
32.1)首先将待转换的50片硅片放置于上料工位3上的硅片承载台9上，此时两个转换夹手7移动至上料工位3的正上方，上料工位3上的升降电机10驱动该工位上的硅片承载台9上升至对应转换夹手7的高度，两个转换夹手7转动一定角度通过取放料槽75将50片硅片全部托起；
33.2)横移驱动装置驱动移动座5移动至转换工位2的正上方，转换工位2上的升降电机10驱动该工位上的硅片承载台9上升至一定高度，将两个转换夹手7上的50片硅片全部托起至一定高度，两个转换夹手7再转动一定角度，使避让槽73和分片槽74的一侧边朝向硅
片，然后转换工位2上的升降电机10再驱动该工位上的硅片承载台9下降，下降过程中分片槽74将偶数位置的25片硅片支撑，奇数位置上的剩余25片硅片经避让槽73放置于转换工位2上的硅片盒16内；
34.3)横移驱动装置驱动移动座5移动至分料工位4的正上方，分料工位4上的升降电机10驱动该工位上的硅片承载台9上升至一定高度，将偶数位置的25片硅片全部托起至一定高度，两个转换夹手7再转动一定角度至竖直状态，然后分料工位4上的升降电机10再驱动该工位上的硅片承载台9下降，将偶数位置的25片硅片放置于分料工位4上的硅片盒16内。
35.以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书界定。