一种高压离子源电源的制作方法

本实用新型涉及电源技术领域，具体为一种高压离子源电源。

背景技术：

气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束，根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源，使用较广泛的有弧放电离子源、pig离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源，高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的，也有广泛的用途。

现有的离子源电源可以满足足够的产能要求，但在其内部的防护性能上仍有所欠缺，在开关离子源电源时容易产生电弧、静电放电的现象，如果不加以控制和防护，对离子源电源的工作性能会产生一定的不利影响。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种通自我保护结构来彻底阻断电源关闭后的电性连接来减小电弧、静电干扰现象的产生，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高压离子源电源，包含箱体组件、导线管、封盖组件、内电源组件，所述箱体组件的一侧外壁穿插有导线管，且箱体组件的上表面配合有封盖组件，所述箱体组件内远离导线管的一侧设有内电源组件，所述箱体组件中靠近内电源组件的一侧设有具有自我保护结构的控制组件；

所述控制组件包括pcb板、总开关、plc控制器、指示灯、滤波器、转换组件、电容及插板，所述箱体组件内靠近内电源组件的一侧设有pcb板，所述pcb板上表面固定安装有总开关，且pcb板靠近总开关的一侧固定安装有plc控制器，所述pcb板上表面的一侧固定安装有指示灯，所述plc控制器远离指示灯的一侧依次电性连接有滤波器、转换组件、电容及连接座，所述转换组件与电极柱通过导线电性连接，控制组件中各部件的设置可以集成对防护组件开关和装置总电路开关的控制。

优选的，所述转换组件包括安装箱、固定座、接电槽板、过线管、插板及防护组件，所述pcb板上表面固定安装有安装箱，所述安装箱远离pcb板一侧的外壁上对称地固定安装有固定座，所述固定座上表面固定安装有接电槽板，且接电槽板远离安装箱的一侧等距连通有过线管，所述过线管远离接电槽板的一端连通在插板上表面，所述安装箱上接电槽板的垂直侧设有防护组件，转换组件通过插板与装置的主电路接通，并通过防护组件实现对主电路开关的二次控制。

优选的，所述防护组件包括电机、半圆盘、转盘、传动轴、止停板、转板、二极管、触头及滑轴，所述安装箱的一侧固定安装有电机，所述电机的输出轴上固定安装有半圆盘，所述安装箱的中心处转动连接有传动轴，且传动轴远离安装箱的一端固定安装有转盘，且转盘与半圆盘挤压接触，所述安装箱内壁的一侧固定安装有止停板，且止停板与转盘挤压接触，所述转板的上表面中心处固定安装有二极管，且转板的两侧对称地固定安装有触头，所述触头与二极管相连通，所述转板的下表面圆管内固定安装有滑轴，且滑轴与传动轴的卡槽滑动穿插。

优选的，所述传动轴与转盘间固定安装有弹簧，可以确保转盘的上升下降过程顺畅。

优选的，所述过线管间固定安装有集束板，避免过线管的杂乱堆放。

优选的，所述二极管的安装部位外侧固定安装有陶瓷套，有效阻隔静电的产生。

优选的，所述箱体组件包括外壳、盲孔、里衬及导孔，所述外壳的上表面四角处均开设有盲孔，且外壳的内壁上固定安装有里衬，所述外壳垂直导线管的一侧底部对称地开设有导孔，且导孔与里衬贯通，外壳与里衬形成双层的保护结构，可以确保内部元件的正常工作。

优选的，所述封盖组件包括盖体、通孔及密封垫，所述盖体的四角处均开设有通孔，且盖体靠近箱体组件的一侧外壁上固定安装有密封垫，通过螺栓穿过盲孔和、通孔使得装置实现封闭，密封垫可以确保箱体组件与封盖组件连接处的紧密。

优选的，所述内电源组件包括蓄电池、灭弧管、防护盖及电极柱，所述箱体组件内安装有蓄电池，且蓄电池的上表面一侧对称地固定安装有电极柱，所述蓄电池的上表面固定安装有防护盖，且防护盖靠近电极柱的一侧固定安装有灭弧管，为装置的防护组件提供工作的电源，同时灭弧管的设置可以有效防止在切换装置的开关状态时产生电弧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在高压离子源电源中加装内部电源，以驱动电机运转防护组件，防护组件中设有转动翻转结构，可以将二极管接入电路的方向调换，利用二极管单向连通的特性，将主电路彻底阻断，形成有效的控制和保护，减小在开关离子源电源时产生电弧、静电放电现象的几率，使得高压离子源电源具有足够的内部防护性能。

附图说明

图1为本实用新型整体结构爆炸示意图；

图2为本实用新型控制组件结构示意图；

图3为本实用新型转换组件结构示意图；

图4为本实用新型防护组件结构示意图；

图5为图4中a处放大图；

图6为图4中b处放大图。

图中：1、箱体组件；11、外壳；12、盲孔；13、里衬；14、导孔；2、导线管；3、封盖组件；31、盖体；32、通孔；33、密封垫；4、内电源组件；41、蓄电池；42、灭弧管；43、防护盖；44、电极柱；5、控制组件；51、pcb板；52、总开关；53、plc控制器；54、指示灯；55、滤波器；56、转换组件；561、安装箱；562、固定座；563、接电槽板；564、过线管；565、插板；566、防护组件；5661、电机；5662、半圆盘；5663、转盘；5664、传动轴；5665、止停板；5666、转板；5667、二极管；5668、触头；5669、滑轴；57、电容；58、连接座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，图示中的一种高压离子源电源，包含箱体组件1、导线管2、封盖组件3、内电源组件4，所述箱体组件1的一侧外壁穿插有导线管2，且箱体组件1的上表面配合有封盖组件3，所述箱体组件1内远离导线管2的一侧设有内电源组件4，所述箱体组件1中靠近内电源组件4的一侧设有具有自我保护结构的控制组件5。

请参阅图1，所述箱体组件1包括外壳11、盲孔12、里衬13及导孔14，所述外壳11的上表面四角处均开设有盲孔12，且外壳11的内壁上固定安装有里衬13，所述外壳11垂直导线管2的一侧底部对称地开设有导孔14，且导孔14与里衬13贯通，外壳11与里衬13形成双层的保护结构，可以确保内部元件的正常工作。

请参阅图1，所述封盖组件3包括盖体31、通孔32及密封垫33，所述盖体31的四角处均开设有通孔32，且盖体31靠近箱体组件1的一侧外壁上固定安装有密封垫33，通过螺栓穿过盲孔12和、通孔32使得装置实现封闭，密封垫33可以确保箱体组件1与封盖组件3连接处的紧密。

请参阅图1，所述内电源组件4包括蓄电池41、灭弧管42、防护盖43及电极柱44，所述箱体组件1内安装有蓄电池41，且蓄电池41的上表面一侧对称地固定安装有电极柱44，所述蓄电池41的上表面固定安装有防护盖43，且防护盖43靠近电极柱44的一侧固定安装有灭弧管42，为装置的防护组件566提供工作的电源，同时灭弧管42的设置可以有效防止在切换装置的开关状态时产生电弧。

请参阅图2，所述控制组件5包括pcb板51、总开关52、plc控制器53、指示灯54、滤波器55、转换组件56、电容57及连接座58，所述箱体组件1内靠近内电源组件4的一侧设有pcb板51，所述pcb板51上表面固定安装有总开关52，且pcb板51靠近总开关52的一侧固定安装有plc控制器53，所述pcb板51上表面的一侧固定安装有指示灯54，所述plc控制器53远离指示灯54的一侧依次电性连接有滤波器55、转换组件56、电容57及连接座58，所述转换组件56与电极柱44通过导线电性连接，控制组件5中各部件的设置可以集成对防护组件566开关和装置总电路开关的控制。

请参阅图3，所述转换组件56包括安装箱561、固定座562、接电槽板563、过线管564、插板565及防护组件566，所述pcb板51上表面固定安装有安装箱561，所述安装箱561远离pcb板51一侧的外壁上对称地固定安装有固定座562，所述固定座562上表面固定安装有接电槽板563，且接电槽板563远离安装箱561的一侧等距连通有过线管564，所述过线管564远离接电槽板563的一端连通在插板565上表面，所述安装箱561上接电槽板563的垂直侧设有防护组件566，转换组件56通过插板565与装置的主电路接通，并通过防护组件566实现对主电路开关的二次控制。

请参阅图4，所述防护组件566包括电机5661、半圆盘5662、转盘5663、传动轴5664、止停板5665、转板5666、二极管5667、触头5668及滑轴5669，所述安装箱561的一侧固定安装有电机5661，所述电机5661的输出轴上固定安装有半圆盘5662，所述安装箱561的中心处转动连接有传动轴5664，且传动轴5664远离安装箱561的一端固定安装有转盘5663，且转盘5663与半圆盘5662挤压接触，所述安装箱561内壁的一侧固定安装有止停板5665，且止停板5665与转盘5663挤压接触，所述转板5666的上表面中心处固定安装有二极管5667，且转板5666的两侧对称地固定安装有触头5668，所述触头5668与二极管5667相连通，所述转板5666的下表面圆管内固定安装有滑轴5669，且滑轴5669与传动轴5664的卡槽滑动穿插，利用总开关52将电源关闭时通过plc控制器53同步控制电机5661，蓄电池41为电机5661提供电源，电机5661驱动半圆盘5662发生一次全角度转动，半圆盘5662与转盘5663间由接触变为不接触再变为接触，转盘5663由失去支撑下落再到受到半圆盘5662挤压上升，期间传动轴5664发生转动并通过其顶部的开槽挤压滑轴5669，使得转板5666发生一次度的转动，触头5668与接电槽板563的接触方向发生转换，利用二极管5667单向连通的特性，将主电路彻底阻断，此处需要特殊说明的是，如图所示，转盘5663的转动完成后上升其凸角会受到止停板5665的阻停，因此不会发生过转，可以确保触头5668与接电槽板563的接触方向转换的程度恰好。

请参阅图4，所述传动轴5664与转盘5663间固定安装有弹簧，可以确保转盘5663的上升下降过程顺畅。

请参阅图3，所述过线管564间固定安装有集束板，避免过线管564的杂乱堆放。

请参阅图3，所述二极管5667的安装部位外侧固定安装有陶瓷套，有效阻隔静电的产生。

本方案中，一种高压离子源电源的使用原理如下；控制组件5中各部件的设置可以集成对防护组件566开关和装置总电路开关的控制，转换组件56通过插板565与装置的主电路接通，并通过防护组件566实现对主电路开关的二次控制，利用总开关52将电源关闭时通过plc控制器53同步控制电机5661，蓄电池41为电机5661提供电源，电机5661驱动半圆盘5662发生一次全角度转动，半圆盘5662与转盘5663间由接触变为不接触再变为接触，转盘5663由失去支撑下落再到受到半圆盘5662挤压上升，期间传动轴5664发生转动并通过其顶部的开槽挤压滑轴5669，使得转板5666发生一次180度的转动，触头5668与接电槽板563的接触方向发生转换，利用二极管5667单向连通的特性，将主电路彻底阻断，此处需要特殊说明的是，如图所示，转盘5663的转动完成后上升其凸角会受到止停板5665的阻停，因此不会发生过转，可以确保触头5668与接电槽板563的接触方向转换的程度恰好，另外，传动轴5664与转盘5663间固定安装有弹簧，可以确保转盘5663的上升下降过程顺畅。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包含”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包含一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包含那些要素，而且还包含没有明确列出的其他要素，或者是还包含为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。