一种晶圆反应腔去胶机的限位构件的制作方法

1.本实用新型涉及安装防护技术领域，具体为一种晶圆反应腔去胶机的限位构件。


背景技术：

2.去胶机通常采用将大功率射频电源加在笼式电极上，在电极与反应腔内壁之间产生辉光放电，辉光区域内的工艺气体被电离成为带电等离子体，利用等离子体与材料表面相互作用，达到光刻胶的剥离，材料表面处理及改性等效果。
3.传统的去胶机的内部器件通常采用安装架进行固定，将器件安装在安装架上或设置在安装平台上，使得器件能够固定安装在去胶机的内部，使得器件在去胶机内部能够完成工作，通过固定安装能够保证工作器件能够在去胶机的内部进行稳定安装，然而传统的安装架或安装平台在安装上存在着一定的问题：
4.传统的安装架与安装平台往往采用固定式，及安装架与安装平台的安装位置无法调节，往往安装的位置无法调节，安装的灵活性不高，导致需要设置不同尺寸的安装架以及安装平台对工作器件进行安装，提高了安装的复杂性，同时不利于后期的拆卸，提高了安装的难度。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种晶圆反应腔去胶机的限位构件固定用加强机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，包括限位机构；在限位机构的上端两侧固定连接有滑轨，且所述的滑轨的内部滑动连接有调节机构。
7.优选的，所述的调节机构包括滑杆与固定台，所述的滑杆贯穿所述的滑轨与滑轨的两侧滑动连接，且所述的固定台连接在两组滑杆之间，且安装在滑轨之间的两组滑杆保持同一水平位置安装，所述的滑杆的两端连接有紧固件，所述的紧固件设置在贯穿滑轨且延伸出滑轨的滑杆的一端，且紧固件与滑轨的外壁相抵接，所述的固定台的上端设置有固定孔，且所述的固定台的上端连接有安装台，所述的安装台通过固定孔与螺栓配合固定连接在固定台的上端。
8.优选的，所述的限位机构包括安装导轨以及安装板，所述的安装导轨安装在安装板上端面两侧，所述的安装板的两端固定连接有安装件，所述的安装导轨的内部设置有限位孔，所述的限位孔内部插接有限位销，且所述的滑轨安装在安装导轨的内侧壁上。
9.优选的，所述的滑轨包括滑槽与固定脚件，所述的滑槽设置在固定脚件上端的内部，所述的固定脚件设置在滑轨的底部，所述的固定脚件的底部与所述的安装板上端面固定连接，所述的固定脚件的侧面与所述的安装导轨的内侧固定连接，所述的滑杆通过滑槽贯穿滑轨连接，所述的紧固件套接在滑杆的外部且紧固件的内壁抵接在滑轨的外壁上。
10.优选的，所述的安装台通过滑杆滑动连接在滑轨的内部，所述的紧固件设置在限
位孔的正上方，所述的限位销插接在限位孔的内部，且限位销的外侧与紧固件相互抵接，所述的限位销分别抵接在两组滑杆的两侧，且限位销通过限位孔进行固定。
11.优选的，所述的限位机构通过安装件与外部连接部件固定安装，所述安装件的内部设置有安装孔，所述的安装孔与螺栓配合固定。
12.优选的，所述的滑轨为z字型连接滑轨，且所述的滑杆的外侧贴合在所述的滑槽的上下内壁。
13.优选的，所述的紧固件为螺旋连接件，所述的紧固件的内壁设置有螺纹，所述的紧固件与滑杆之间螺旋连接。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1、通过设置一种组合式安装结构，通过将安装台在可调节的限位机构上端，通过调节机构调节安装台的安装位置，可根据位置调节与安装台连接的工作器件的安装位置，同时通过调节机构外部的限位装置对安装台进行固定，使得安装台能够稳定固定在限位机构的上端，提高了限位机构安装的灵活性，避免另外增设安装架，节约了成本，同时简化的安装步骤，提高了安装的效率。
16.2、通过设置的调节机构，通过滑杆在滑轨内部滑动，使得调节机构能够带动安装台在滑轨的内部移动，选择合适的安装位置，在安装位置设定好后，通过紧固件将滑杆禁锢在滑轨外壁上，使得滑杆在滑轨外部不发生移动，同时通过限位销抵接在紧固件的两侧，避免了滑杆在滑轨的内部发生位移，保证安装台能够稳定固定在限位机构上。
17.3、通过设置的滑轨，滑轨平行安装在限位机构的两侧，同时在滑轨内部设置的滑槽，使得滑杆能够保持水平在滑轨内部滑动，将滑轨安装在限位孔的侧端，使得紧固件在与滑杆连接时能够固定在限位孔的上方，使得限位销能够抵接在紧固件的外部。
附图说明
18.图1为本实用新型限位机构与各部件组合连接结构示意图；
19.图2为本实用新型限位机构与滑轨以及调节机构之间连接结构示意图；
20.图3为本实用新型限位机构与滑轨之间连接结构示意图；
21.图4为本实用新型限位机构各组件之间连接结构示意图；
22.图5为本实用新型滑轨整体连接结构示意图；
23.图6为本实用新型限位销的整体连接结构示意图。
24.图中：10、限位机构；11、安装导轨；111、限位孔；12、安装件；13、安装板；
25.20、滑轨；21、滑槽；22、固定脚件；
26.30、调节机构；31、固定台；32、滑杆；33、紧固件；34、固定孔
27.40、安装台；
28.50、限位销；51、连接帽。
具体实施方式
29.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
30.实施例
31.请参阅图1
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6，图示中的：一种晶圆反应腔去胶机的限位构件，包括限位机构10；在限位机构10的上端两侧固定连接有滑轨20，且所述的滑轨20的内部滑动连接有调节机构30，所述的调节机构30包括滑杆32与固定台31，所述的滑杆32贯穿所述的滑轨20与滑轨20的两侧滑动连接，且所述的固定台31连接在两组滑杆32之间，且安装在滑轨20之间的两组滑杆32保持同一水平位置安装，所述的滑杆32的两端连接有紧固件33，所述的紧固件33设置在贯穿滑轨 20且延伸出滑轨20的滑杆32的一端，且紧固件33与滑轨20的外壁相抵接，所述的固定台31的上端设置有固定孔34，且所述的固定台31的上端连接有安装台40，所述的安装台40通过固定孔34与螺栓配合固定连接在固定台31的上端，所述的限位机构10包括安装导轨11以及安装板13，所述的安装导轨11保持平行安装在安装板13上端面两侧，所述的安装板13的两端固定连接有安装件 12，所述的安装导轨11的内部设置有限位孔111，所述的限位孔111内部插接有限位销50，且所述的滑轨20安装在安装导轨11的内侧壁上，将安装台40在可调节的限位机构10上端，通过调节机构30调节安装台40的安装位置，可根据位置调节与安装台40连接的工作器件的安装位置，同时通过调节机构30外部的限位装置对安装台40进行固定，使得安装台40能够稳定固定在限位机构10的上端，提高了限位机构10安装的灵活性，避免另外增设安装架，节约了成本，同时简化的安装步骤，提高了安装的效率。
32.所述的滑轨20包括滑槽21与固定脚件22，所述的滑槽21设置在固定脚件 22上端的内部，所述的固定脚件22设置在滑轨20的底部，所述的固定脚件22 的底部与所述的安装板13上端面固定连接，所述的固定脚件22的侧面与所述的安装导轨11的内侧固定连接，滑轨20平行安装在限位机构10的两侧，同时在滑轨20内部设置的滑槽21，使得滑杆32能够保持水平在滑轨20内部滑动，将滑轨20安装在限位孔111的侧端，使得紧固件33在与滑杆32连接时能够固定在限位孔111的上方，使得限位销50能够抵接在紧固件33的外部，所述的滑杆 32通过滑槽21贯穿滑轨20连接，所述的紧固件33套接在滑杆32的外部且紧固件33的内壁抵接在滑轨20的外壁上，所述的安装台40通过滑杆32滑动连接在滑轨20的内部，所述的紧固件33设置在限位孔111的正上方，所述的限位销 50插接在限位孔111的内部，且限位销50的外侧与紧固件33相互抵接，所述的限位销50分别抵接在两组滑杆32的两侧，且限位销50通过限位孔111进行固定，且所述的50的上端设置连接帽51，通过连接帽51的下端能够卡接在滑轨20的上端，实现多方位抵接，通过滑杆32在滑轨20内部滑动，使得调节机构30能够带动安装台40在滑轨20的内部移动，选择合适的安装位置，在安装位置设定好后，通过紧固件33将滑杆32紧固在滑轨20外壁上，使得滑杆32 在滑轨20外部不发生移动，同时通过限位销50抵接在紧固件33的两侧，避免了滑杆32在滑轨20的内部发生位移，保证安装台40能够稳定固定在限位机构 10上，所述的限位机构10通过安装件12与外部连接部件固定安装，所述安装件12的内部设置有安装孔，所述的安装孔与螺栓配合固定，所述的滑轨20为z 字型连接滑轨，且所述的滑杆32的外侧贴合在所述的滑槽21的上下内壁，所述的紧固件33为螺旋连接件，所述的紧固件33的内壁设置有螺纹，所述的紧固件 33与滑杆32之间螺旋连接，通过紧固件33对滑杆32整体进行紧固，保证安装台40能够正常安装在限位机构10上。
33.以上内容是结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明，不能认定本实用新型具体实施只局限于这些说明，对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在
不脱离本实用新型的构思的前提下，还可以做出若干简单的推演或替换，都应当视为属于本实用新型所提交的权利要求书确定的保护范围。