晶圆焊接固定装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆固定技术领域，尤其涉及晶圆焊接固定装置。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品；晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。

晶圆在进行加工中需要在晶圆上进行焊接连接点，为了保证晶圆在焊接过程中的稳定，需要对晶圆进行固定，但由于晶圆特别薄，在进行夹持时需要特别小心，且普通的夹持工具夹持效果不佳，并且在进行焊接时，通过转动晶圆来调整位置十分的麻烦。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有在进行夹持时需要特别小心，且普通的夹持工具夹持效果不佳，并且在进行焊接时，通过转动晶圆来调整位置十分的麻烦的缺点，而提出的晶圆焊接固定装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

晶圆焊接固定装置，包括焊座，所述焊座上方设置有放置盘，所述放置盘底部固定连接有旋转轴，所述焊座内开设有传动腔，所述旋转轴底部贯穿至传动腔内，并固定连接有竖直锥齿轮，所述竖直锥齿轮通过传动组件连接有传动齿盘，所述焊座顶部固定连接有呈l型的支撑板，所述支撑板上通过丝杠螺母连接有丝杠柱，所述丝杠柱通过万向球连接有移动柱，所述移动柱通过缓冲装置连接有弧形夹持件，所述移动柱底部贯穿至传动腔内，并固定连接有齿条，所述齿条与传动齿盘啮合连接。

优选地，所述传动组件包括转动连接在传动腔内的转动轴，所述转动轴外侧壁通过棘轮组件与传动齿盘内侧壁连接，所述转动轴端部固定连接有转动锥齿轮。

优选地，所述传动腔内固定连接有固定块，所述固定块转动连接有传动轴，所述传动轴两端均固定连接有传动锥齿轮，位于传动轴两端的两个所述传动锥齿轮分别与竖直锥齿轮和转动锥齿轮啮合连接。

优选地，所述缓冲装置包括固定连接在移动柱外侧壁上的固定环，所述固定环通过套设在移动柱外侧壁上的缓冲弹簧连接有滑动环，所述滑动环套设在移动柱外侧壁上，所述滑动环侧壁固定连接有连接件，所述连接件与弧形夹持件侧壁固定连接。

优选地，所述支撑板上开设有贯穿侧壁的连接口，所述丝杠螺母固定连接在连接口内，所述丝杠柱顶部固定连接有旋钮。

优选地，所述弧形夹持件底部设置有橡胶防护层。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、通过将晶圆放置在放置盘上，在丝杠柱、支撑板、移动柱、固定环、滑动环和连接件的作用下使得弧形夹持件向下移动对晶圆进行夹持，快速有效的实现晶圆的夹持，保证在焊接过程中晶圆的稳定。

2、利用丝杠柱的移动，在移动柱、齿条、传动齿盘、棘轮组件、转动锥齿轮、传动锥齿轮的作用下使得竖直锥齿轮带动旋转轴进行转动，从而使得在松开夹持后利用丝杠柱的持续移动实现对放置盘上晶圆的转动，从而快速调整晶圆的焊接位置。

附图说明

图1为本实用新型提出的晶圆焊接固定装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的晶圆焊接固定装置的俯视截面结构示意图；

图3为本实用新型提出的晶圆焊接固定装置中棘轮组件的连接结构示意图。

图中：1焊座、2放置盘、3旋转轴、4传动腔、5竖直锥齿轮、6传动齿盘、7支撑板、8丝杠螺母、9丝杠柱、10移动柱、11弧形夹持件、12齿条、13转动轴、14棘轮组件、15转动锥齿轮、16传动轴、17固定环、18滑动环、19连接件、20橡胶防护层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，晶圆焊接固定装置，包括焊座1，焊座1上方设置有放置盘2，放置盘2底部固定连接有旋转轴3，焊座1内开设有传动腔4，旋转轴3底部贯穿至传动腔4内，旋转轴3与焊座1之间通过轴承进行转动连接，并固定连接有竖直锥齿轮5，竖直锥齿轮5通过传动组件连接有传动齿盘6，进一步地，传动组件包括转动连接在传动腔4内的转动轴13，转动轴13外侧壁通过棘轮组件14与传动齿盘6内侧壁连接，棘轮组件14为现有技术，在此不做赘述，其能实现在齿条12下移时，不会带动转动轴13进行转动，转动轴13端部固定连接有转动锥齿轮15，通过设置棘轮组件14，丝杠柱9下移时，由于设置有棘轮组件14，此时传动齿盘6的转动不会使得转动轴13转动。

进一步地，传动腔4内固定连接有固定块，固定块转动连接有传动轴16，传动轴16两端均固定连接有传动锥齿轮，位于传动轴16两端的两个传动锥齿轮分别与竖直锥齿轮5和转动锥齿轮15啮合连接。

焊座1顶部固定连接有呈l型的支撑板7，支撑板7上通过丝杠螺母8连接有丝杠柱9，丝杠柱9通过万向球连接有移动柱10，移动柱10通过缓冲装置连接有弧形夹持件11，进一步地，缓冲装置包括固定连接在移动柱10外侧壁上的固定环17，固定环17通过套设在移动柱10外侧壁上的缓冲弹簧连接有滑动环18，滑动环18套设在移动柱10外侧壁上，滑动环18侧壁固定连接有连接件19，连接件19与弧形夹持件11侧壁固定连接。

移动柱10底部贯穿至传动腔4内，移动柱10与焊座1侧壁之间滑动接触，并固定连接有齿条12，齿条12与传动齿盘6啮合连接。

进一步地，支撑板7上开设有贯穿侧壁的连接口，丝杠螺母8固定连接在连接口内，丝杠柱9顶部固定连接有旋钮，弧形夹持件11底部设置有橡胶防护层20。

本实用新型在对晶圆进行焊接时，将晶圆放置到放置盘2上，通过转动旋钮，使得丝杠柱9转动，当丝杠柱9转动在丝杠螺母8的作用下会向下移动，丝杠柱9上的滑动环18会下移带动与之通过连接件19连接的弧形夹持件11下移，弧形夹持件11下移时，会与放置盘2上的晶圆上表面接触，从而对晶圆进行夹持，保证在焊接时的稳定；

在焊接过程中，当需要转动晶圆进行调整位置时，通过反转旋钮，使得丝杠柱9上移，在丝杠柱9上移过程中会带动固定环17上移，使得与滑动环18通过连接件19连接的弧形夹持件11上移，取消对晶圆的夹持，在弧形夹持件11取消对晶圆的夹持后，齿条12会在丝杠柱9上移的带动下持续上移，齿条12上移会使与之啮合连接的传动齿盘6旋转，在棘轮组件14的作用下使得转动轴13进行旋转，转动轴13转动会使得转动锥齿轮15带动传动轴16进行旋转，从而使得竖直锥齿轮5通过旋转轴3带动放置盘2进行旋转，位于放置盘2上的晶圆会跟随进行转动，调整角度位置；

完成位置调整后，丝杠柱9下移时，由于设置有棘轮组件14，此时传动齿盘6的转动不会使得转动轴13转动，从而在进行夹持过程中放置盘2是处在静止状态，保证夹持效果。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。