电子倍增器及包含其的光电子倍增器的制作方法

文档序号:31053092发布日期:2022-08-06 08:45阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种电子倍增器,其特征在于,具备:倍增极单元,对电子进行级联倍增并作为电信号取出,且包含多级倍增极、阳极及一对绝缘支撑构件,该阳极被设定成比所述多级倍增极中的末级倍增极的设定电位高的电位,并且捕获从所述末级倍增极所发射的电子,该一对绝缘支撑构件至少一体地把持所述多级倍增极与所述阳极两者;管座,具有第1面和与所述第1面相对的第2面,在相对于所述第1面而位于所述第2面的相反侧的第1面侧空间,保持所述倍增极单元;同轴缆线,具有内导体、绝缘材料及外导体,至少一方的端部被设置于所述第1面侧空间,该绝缘材料被设置于所述内导体的外周面上,该外导体被设置于所述绝缘材料的外周面上;导电构件,被设置于所述第1面侧空间,且被设定成与对所述阳极直接供给经倍增的所述电子的所述末级倍增极相同电位;及电容器,被设置于所述第1面侧空间,且被配置于所述导电构件与所述同轴缆线的所述外导体之间的配线上,构成所述同轴缆线的所述一方的端部的一部分、并且从所述绝缘材料及所述外导体各自的端部所露出的状态下位于所述第1面侧空间的所述内导体的露出部分,被固定于所述阳极中由所述一对绝缘支撑构件所夹持的部分。2.如权利要求1所述的电子倍增器,其中,所述内导体的所述露出部分与所述外导体的所述端部,一起位于由所述一对绝缘支撑构件所夹持的空间内。3.如权利要求1或2所述的电子倍增器,其中,在从所述倍增极单元侧沿着自所述第1面朝向所述第2面的方向观看所述管座侧时,所述倍增极单元被配置成所述阳极中由所述一对绝缘支撑构件所夹持的所述部分与所述第1面中配置了所述同轴缆线的部分重叠。4.如权利要求1~3中任一项所述的电子倍增器,其中,所述管座保持多个引线接脚,所述导电构件具有比所述多个引线接脚各自的截面积大的截面积,且通过所述导电构件的第1部分被固定于所述末级倍增极而被设定成与所述末级倍增极相同电位。5.如权利要求1~4中任一项所述的电子倍增器,其中,所述电容器具有:一方的外部电极,被固定于所述导电构件的第2部分;及另一方的外部电极,被电连接于所述同轴缆线的所述外导体。6.如权利要求1~5中任一项所述的电子倍增器,其中,所述导电构件包含被安装于所述一对绝缘支撑构件的屏蔽电极,所述屏蔽电极具有用以使所述内导体的所述露出部分与所述外导体的所述端部一起从所述管座侧朝向所述阳极贯通的开口。7.如权利要求6所述的电子倍增器,其中,所述电容器位于所述屏蔽电极与所述管座之间的空间。8.如权利要求1~7中任一项所述的电子倍增器,其中,所述电容器包含有陶瓷电容器。
9.一种光电子倍增器,其特征在于,包含:权利要求1~8中任一项所述的电子倍增器;阴极,响应于光输入而将光电子朝向所述倍增极单元发射;及密闭容器,其包含:主体,沿着中心轴延伸并且具有规定与所述中心轴交叉的开口的开口端,且至少收纳所述阴极及所述倍增极单元;及作为所述管座而发挥功能的管座,在堵塞了所述开口端的状态下,被密接于所述开口端,所述同轴缆线在所述同轴缆线的另一方的端部从所述第1面朝向所述第2面贯通了所述管座的状态下,被保持于所述管座。

技术总结
本实施方式涉及具备用以实现与现有技术相比更高速的响应特性的构造的电子倍增器等,该电子倍增器,至少具备倍增极单元、管座、同轴缆线、导电构件及电容器。倍增极单元,包含多级倍增极、阳极及一对绝缘支撑构件。构成同轴缆线的一方的端部的一部分的内导体的露出部分与外导体的端部,一起被引入倍增极单元内。通过该构成,可将电容器配置于倍增极单元与管座之间的空间,及将内导体的露出部分固定于阳极中由一对绝缘支撑构件所夹持的部分。中由一对绝缘支撑构件所夹持的部分。中由一对绝缘支撑构件所夹持的部分。


技术研发人员:彦坂尚 柴田贵大 西村侑记
受保护的技术使用者:浜松光子学株式会社
技术研发日:2020.02.19
技术公布日:2022/8/5
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