一种用于模组测试的自动探针台的制作方法

本发明属于晶圆测试技术领域，尤其涉及一种用于模组测试的自动探针台。

背景技术：

光通信模组组装完成之后，需要对模组内的功能模块化测试，以提前鉴别出不合格的模组，防止对不合格模组封盖，提高生产效率。但目前市场上未有一款自动检测模组测试装置，在传统检测中，使用手工测试台进行模组检测，检测效率低、人工成本高，很难满足光通信模组的大批量生产。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种用于模组测试的自动探针台，旨在解决背景技术中提出的问题。

本发明实施例是这样实现的，一种用于模组测试的自动探针台，该自动探针台包括支撑体、固定设置在所述支撑体上的控制单元以及受所述控制单元控制在所述支撑体上平移的送料机构和探针检测装置，所述探针检测装置的移动方向与所述送料机构的移动方向垂直；

所述送料机构包括在所述支撑体上平移的检测台、固定设置在所述检测台上的定位夹具以及用于驱动所述检测台在所述支撑体上平移的第一平移机构；

所述探针检测装置包括用于与模组接触的探针、用于图像采集的摄像头、用于驱动所述探针和所述摄像头在所述支撑体上平移的第二平移机构以及用于驱动所述探针和所述摄像头在所述第二平移机构上纵向移动的第三平移机构。

优选的，所述探针检测装置至少设置有一个。

优选的，所述第一平移机构包括固定设置在所述支撑体内部的第一移动架、滑动安装在所述第一移动架上的第一滑块、转动安装在所述第一移动架上用于驱动所述第一滑块在所述第一移动架上移动的移动轴以及固定安装在所述第一移动架的一端用于带动所述移动轴旋转的第一伺服电机，所述检测台固定设置在所述第一滑块上。

优选的，所述第二平移机构包括固定设置在所述支撑体内部的第二移动架、滑动安装在所述第二移动架上的第二滑块、转动安装在所述第二移动架上用于驱动所述第二滑块在所述第二移动架上移动的第二移动轴以及固定安装在所述第二移动架的一端用于驱动所述第二移动轴旋转的第二伺服电机，所述第二移动架垂直于所述第一移动架，所述第二伺服电机固定安装在所述第二移动架远离所述第一移动架的一端。

优选的，所述第三平移机构包括固定安装在第二滑块上的第三移动架、滑动安装在所述第三移动架上的第三滑块、转动安装在所述第三移动架上用于驱动所述第三滑块在所述第三移动架上移动的第三移动轴以及固定安装在所述第三移动架远离所述第二移动架的一端用于驱动所述第三移动轴旋转的第三伺服电机，所述探针和所述摄像头安装在所述第三滑块上。

优选的，所述第一移动轴、第二移动轴和所述第三移动轴均为丝杠，所述第一移动轴、第二移动轴和所述第三移动轴分别贯穿于所述第一滑块、第二滑块和所述第三滑块，且与分别与所述第一滑块、第二滑块和所述第三滑块螺纹连接。

优选的，所述摄像头至少设置有一个。

优选的，所述探针和所述摄像头与所述第三滑块之间分别设置有第一固定架和第二固定架，所述探针和所述摄像头分别设置在所述第一固定架和所述第二固定架远离所述第三滑块的一端。

优选的，所述第二固定架上设置有用于将所述摄像头锁紧在所述第二固定架上的锁紧机构。

优选的，所述锁紧机构包括固定在所述第二固定架远离所述第三滑块一端的支撑块、横向贯穿于所述支撑块的固定杆、贯穿于所述支撑块的一面并延伸至所述支撑块的内部与所述固定杆接触的紧锢销；

所述固定杆与所述第二固定架远离所述第三滑块的一端平行，所述摄像头固定在所述固定杆远离所述支撑块的一端；

所述紧固销垂直于所述固定杆，且螺接在所述支撑块上。

该自动探针台能够对光通信模组进行自动化检测，仅需人工放料、取料，可有效的降低通信模组检测的人力投入，降低检测成本，同时提高检测效率，适应通讯模组的批量化生产，满足市场需求。

附图说明

图1是一种用于模组测试的自动探针台的结构示意图；

图2是一种用于模组测试的自动探针台中送料机构的结构示意图；

图3是一种用于模组测试的自动探针台中探针检测装置的结构示意图；

图4是一种用于模组测试的自动探针台中摄像头的安装结构示意图；

图5是一种用于模组测试的自动探针台的系统架构图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明提供一种用于模组测试的自动探针台，如图1所示，该自动探针台包括支撑体1、固定设置在所述支撑体1上的控制单元4以及受所述控制单元4控制在所述支撑体1上平移的送料机构2和探针检测装置3，所述探针检测装置3的移动方向与所述送料机构2的移动方向垂直；

所述送料机构2包括在所述支撑体1上平移的检测台21、固定设置在所述检测台21上的定位夹具22以及用于驱动所述检测台21在所述支撑体1上平移的第一平移机构23；

所述探针检测装置3包括用于与模组接触的探针31、用于图像采集的摄像头32、用于驱动所述探针31和所述摄像头32在所述支撑体1上平移的第二平移机构33以及用于驱动所述探针31和所述摄像头32在所述第二平移机构33上纵向移动的第三平移机构34。

工作时，将待测试模组放置在检测台21上，通过定位夹具22将待测试模组固定在检测台21上，控制系统4控制第一平移机构23驱动检测台21移动至探针31和摄像头32的平移线下方位置处；当检测台21移动至特定位置后，控制系统4控制第二平移机构33驱动探针31和摄像头32移动靠近待测模组上方，此时，摄像头32实时采集图像，并将采集图像回传至控制系统4，控制系统4将采集到的图像与系统内预存的图像进行比对，判断是否采集到待测模组图像；当摄像头32采集到待测模组图像时(表示探针31和摄像头32处于待测模组的上方)，控制系统4控制第三平移机构3驱动探针31和摄像头32向下移动，使得探针31与待测模组接触进行检测，此时，由摄像头32采集探针31与待测模组接触的图像，并将该图像回传至控制系统4，控制系统4将该图像与预存图像进行比对，判断探针31的变型程度，从而判断探针31是否与待测模组充分接触；当探针31与待测模组充分接触后，控制第三平移机构34停止移动，通过检测台21检测模组的射频性能，检测时，当有不合格产品时，检测台21向控制系统4反馈信号提醒工作人员。

其中，为方便模组定位，定位夹具22采用气动夹具。为了方便模组检测，在此探针台上所述探针检测装置3至少设置有一个。而为了方便图像采集，保证图像对比的准确性，所述摄像头32至少设置有一个，多个摄像头32可安装在不同角度，从不同角度进行图像采集工作。

如图1和图2所示，所述第一平移机构23包括固定设置在所述支撑体1内部的第一移动架231、滑动安装在所述第一移动架231上的第一滑块232、转动安装在所述第一移动架231上用于驱动所述第一滑块232在所述第一移动架231上移动的移动轴233以及固定安装在所述第一移动架231的一端用于带动所述移动轴233旋转的第一伺服电机234，所述检测台21固定设置在所述第一滑块232上。

当待测模组固定到检测台21上后，控制系统4控制第一伺服电机234转动，带动第一移动轴233转动，驱动第一滑块232带动检测台21移动靠近探针31和摄像头32的平移线下方，当摄像头32检测到待测模组后，控制第一驱动电机234关闭，使第一滑块232停止移动；当待测模组检测完毕后，控制系统4控制第一伺服电机234带动第一移动轴233反向转动，驱动第一滑块232带动检测台21远离探针31和摄像头32的平移线下方，从而方便人工下料。

如图1和图3所示，所述第二平移机构33包括固定设置在所述支撑体1内部的第二移动架331、滑动安装在所述第二移动架331上的第二滑块332、转动安装在所述第二移动架331上用于驱动所述第二滑块332在所述第二移动架331上移动的第二移动轴333以及固定安装在所述第二移动架331的一端用于驱动所述第二移动轴333旋转的第二伺服电机334，所述第二移动架331垂直于所述第一移动架231，所述第二伺服电机334固定安装在所述第二移动架331远离所述第一移动架231的一端。

所述第三平移机构34包括固定安装在第二滑块332上的第三移动架341、滑动安装在所述第三移动架341上的第三滑块342、转动安装在所述第三移动架341上用于驱动所述第三滑块342在所述第三移动架341上移动的第三移动轴343以及固定安装在所述第三移动架341远离所述第二移动架331的一端用于驱动所述第三移动轴343旋转的第三伺服电机344，所述探针31和所述摄像头32安装在所述第三滑块342上。

当工件处于探针31和摄像头32的平移线下方时，控制系统4控制第二伺服电机334带动第二移动轴333转动，驱动第二滑块232带动探针31和摄像头32移动靠近待测模组的正上方，当摄像头32采集到待测模组图像时，表示探针31和摄像头32处于待测模组正上方，此时，控制系统4控制第二伺服电机334关闭，并控制第三伺服电机344带动第三移动轴333旋转驱动第三滑块342移动，使第三滑块342带动探针31向下移动靠近待测模组，当摄像头32采集到探针31与待测模组紧密接触图像时，控制第三伺服电机344关闭，并控制检测台21对待测模组进行检测。

需要说明的是，如图5所示，控制系统4至少包括中央控制单元以及与中央控制单元建立通讯交互的存储模块和对比模块；其中，摄像头32与中央控制单元的输入单元相连、用于将采集到的图像回传至中央控制单元，第一伺服电机234、第二伺服电机334和第三伺服电机344均与中央控制单元的输出端相连、从中央控制单元接收控制指令并按指令动作；存储模块用于存储对比图像以及控制程序，其中对比图像包括探针处于模组上方的图像和探针与模组紧密接触产生形变的图像。

同时，第一伺服电机234、第二伺服电机334和第三伺服电机344均采用抱闸电机，当控制系统4控制伺服电机停止运行时，电机驱动轴及时停止转动。

具体的，所述第一移动轴233、第二移动轴333和所述第三移动轴343均为丝杠，所述第一移动轴233、第二移动轴333和所述第三移动轴343分别贯穿于所述第一滑块232、第二滑块332和所述第三滑块342，且与分别与所述第一滑块232、第二滑块332和所述第三滑块342螺纹连接。

可以进一步理解的是，当第一移动轴233、第二移动轴333和第三移动轴343转动时，在丝杠外螺纹和第一滑块232、第二滑块332和第三滑块342上的内螺纹配合下，使得第一滑块232、第二滑块332和第三滑块342分别随第一移动轴233、第二移动轴333和第三移动轴343的旋转而移动。

如图1和图3所示，所述探针31和所述摄像头32与所述第三滑块343之间分别设置有第一固定架35和第二固定架36，所述探针31和所述摄像头32分别设置在所述第一固定架35和所述第二固定架36远离所述第三滑块342的一端。

如图1、图3和图4所示，所述第二固定架36上设置有用于将所述摄像头32锁紧在所述第二固定架36上的锁紧机构37。

所述锁紧机构37包括固定在所述第二固定架36远离所述第三滑块342一端的支撑块371、横向贯穿于所述支撑块371的固定杆372、贯穿于所述支撑块371的一面并延伸至所述支撑块371的内部与所述固定杆372接触的紧锢销373；

所述固定杆372与所述第二固定架36远离所述第三滑块342的一端平行，所述摄像头32固定在所述固定杆372远离所述支撑块371的一端；

所述紧固销373垂直于所述固定杆372，且螺接在所述支撑块371上。

在使用时，旋松紧固销373，使得紧固销373脱离固定杆372，此时固定杆372可在支撑块371上旋转，摄像头32固定在固定杆372上，随固定杆372旋转，从而调节摄像头32的角度，方便摄像头32的图像采集，在摄像头32角度位置调节好后，通过紧固销373将固定杆372固定在支撑块371上姜摄像头32的角度固定。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。