氮化物发光二极管及其制作方法与流程

文档序号:25987515发布日期:2021-07-23 20:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.氮化物发光二极管,包含衬底,以及依次位于衬底上的缓冲层,低温三维氮化物层,u型氮化物层,n型氮化物层、发光层和p型氮化物层,其特征在于:所述低温三维层和u型氮化物层之间设置有低温p型二维氮化物层,所述低温p型二维氮化物层的p型掺杂浓度为1e17~1e20。

2.根据权利要求1所述的氮化物发光二极管,其特征在于:所述低温p型二维氮化物层的p型掺杂浓度为1e17~1e19。

3.根据权利要求1所述的氮化物发光二极管,其特征在于:所述低温p型二维氮化物层的厚度为1~3μm。

4.根据权利要求1所述的氮化物发光二极管,其特征在于:所述低温p型二维氮化物层为单层或者多层结构。

5.根据权利要求1所述的氮化物发光二极管,其特征在于:所述低温p型二维氮化物层为ugan/pgan超晶格结构。

6.根据权利要求5所述的氮化物发光二极管,其特征在于:所述超晶格结构的对数为2~50。

7.根据权利要求1所述的氮化物发光二极管,其特征在于:所述低温p型二维氮化物层的p型掺杂为固定掺杂或者渐变掺杂方式。

8.根据权利要求1所述的氮化物发光二极管,其特征在于:所述u型氮化物层的厚度为0.5~1μm。

9.氮化物发光二极管的制备方法,其包含以下步骤:

1、提供一衬底;

2、于所述衬底上生长缓冲层,低温三维氮化物层,u型氮化物层,n型氮化物层,发光层和p型氮化物层;

其特征在于:还包含以下步骤,在所述低温三维氮化物层和u型氮化物层之间形成低温p型二维氮化物层,所述低温p型二维氮化物层的p型掺杂浓度为1e17~1e20。

10.根据权利要求9所述的氮化物发光二极管的制备方法,其特征在于:所述低温p型二维层的生长温度为900~1050℃,生长压力为100~300torr。


技术总结
本发明公开一种氮化物发光二极管及其制作方法,所述氮化物发光二极管,包含衬底,以及依次位于衬底上的缓冲层,低温三维氮化物层,u型氮化物层,n型氮化物层、发光层、p型氮化物层,其特征在于:所述低温三维氮化物层和u型氮化物层之间设置有低温p型二维氮化物层,所述低温p型二维氮化物层的掺杂浓度为1E17~1E20。本发明通过在低温三维氮化物层和u型氮化物层之间设置有低温p型二维氮化物层,解决因底层高温生长引起的翘曲大而导致的发光亮度不均匀的问题,提升氮化物发光二极管的发光均匀性,提升氮化物发光二极管的发光效率。

技术研发人员:张国华
受保护的技术使用者:厦门三安光电有限公司
技术研发日:2021.05.06
技术公布日:2021.07.23
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