一种OLED及其基板清洗后风干机及其风干工艺的制作方法

一种oled及其基板清洗后风干机及其风干工艺
技术领域
1.本发明涉及自动化设备领域，特别指一种oled及其基板清洗后风干机及其风干工艺。


背景技术：

2.在平板显示器件生产设备领域，涉及到的部件包括玻璃基板、盖板、fpc及各类光学膜材等，在进行平板显示器件的部件的组装、贴合等工序时，需要进行预先的加工工序。如清洗工序，是平板显示器件组装贴合时必不可少的前端工序，其作用在于将屏幕表面进行清洁。在oled屏幕生产过程中，在oled与上层的基板之间设有一层中间层胶，该中间层胶需要通过采用激光剥离去除，激光照射在基板表面，穿过基板后打射至中间胶层上，实现将胶层剥离功能。为保证激光有效穿透基板，减少因基板表面杂物阻挡情况，需要在激光剥离前对基板表面进行清洁。由于基板表面粘粘的杂物较难去除，一般采用的工艺为研磨清洗，即通过研磨盘贴紧基板表面，通过研磨盘旋转对基板表面进行研磨，将杂物从基板表面分离后清除。
3.由于oled基板在清洁工艺过程中需要通过液体或气液混合二流体进行喷淋冲洗以便辅助提高清洁的洁净度；因此，在研磨清洁完成后会有液体残留在基板表面，在进入下一工序之前需要将残留的液体干燥去除。一般采用的干燥工艺为风干干燥，在干燥时需要对上下两面同时进行干燥，传统的风干设备无法做到在传送片状oled的同时完成oled上下两面的干燥；且由于风干干燥时的强风会冲击oled，如oled在风干过程中进行传送时无固定措施极易被强风吹动，发生位置偏移，影响风干及传送。另外，由于oled的侧部连接有fpc，fpc形状结构、材质特性均与oled不同，因此oled及fpc在传送、风干及吸附搬移过程中需要采用不同的承载、吸附/搬移机构设计。另外，传统的单机式风干机，单次仅能实现单片物料风干，效率低下，无法适应高速自动化产线中的风干产能需求。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种采用双风干通道与单次多片风干方式，有效地提升了风干效率，采用镂空式真空承载及搬移结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，采用可调式oled及fpc独立吸附结构，适用于多种oled及fpc稳定搬移的oled及其基板清洗后风干机及其风干工艺。
5.本发明采取的技术方案如下：一种oled及其基板清洗后风干机，包括风干机构、风干箱体、中转搬臂、中转平台及下料搬臂，其中，上述风干箱体包括二组，分别沿物料传输方向平行间隔地设置于机架上，形成双风干通道；上述风干机构包括两组，两风干机构分别设置在风干箱体内，风干机构包括风干载台、风干搬臂及风干组件，风干载台及风干搬臂为镂空支撑结构，待风干的oled基板放置在风干载台上，风干搬臂从下方穿过风干载台托住oled基板后上升至风干载台上方，沿直线运动穿过风干组件进行风干后，风干搬臂下降使oled基板经风干载台支撑，风干搬臂由上而下穿过风干载台，并从风干载台下方直线返回，
托取下一组oled基板；上述中转平台间隔风干箱体设置于机架的后端，中转搬臂跨设在风干箱体与中转平台之间，将风干箱体内风干后的oled基板吸取搬移至中转平台上；上述下料搬臂设置在中转平台的侧部，并向外延伸出机架，以便将中转平台上的oled基板取出并移送至下一工站。
6.优选地，所述的风干箱体为内侧开口的盒状结构，风干箱体内沿oled基板流动方向设有风干工位及缓存工位，风干工位及缓存工位内分别设有风干载台，且风干工位的前后两端开口，缓存工位的前端及顶端开口。
7.优选地，所述的风干载台包括载台支座、载台支架、oled承载部及fpc承载部，其中，上述载台支座竖直设置在风干箱体内；上述载台支架水平设置在载台支座上，载台支架为上下双层结构，载台支架的中部形成有移动通道；上述oled承载部设置在载台支架的一侧，oled及其基板经oled承载部支撑并吸附固定，fpc承载部设置在载台支架的另一侧，连接于oled一侧的fpc经fpc承载部支撑，且oled承载部及fpc承载部为上下镂空结构，以便搬移及上下风干oled基板。
8.优选地，所述的oled承载部包括oled承载板、oled支条、真空接头及oled吸嘴，其中，上述oled承载板包括至少二块，oled承载板设置在载台支架的内侧，oled承载板的中部设有通槽；上述oled支条包括至少二根，oled支条沿通槽的两侧平行间隔地设置在oled承载支板上，相邻oled支条形成上下贯通的条状空隙，oled支条在oled承载板上形成oled承载区域；上述oled承载板及oled支条内部分别设有气路，且oled承载板与oled支条的气路连通；上述真空接头设置在oled承载板的侧部且与oled承载板内部气路连通；上述oled吸嘴包括至少二个，oled吸嘴设置在oled支条上，并与oled支条内部气路连通，oled吸嘴处产生真空负压以便向下吸附固定oled基板；上述fpc承载部包括fpc承载板，fpc承载板包括至少二块，fpc承载板对应oled承载板水平设置在承载支架的外侧，fpc承载板上开设有至少二条条状缝隙。
9.优选地，所述的风干搬臂包括直线模组、滑座、升降电机、支撑部件、oled搬移部件及fpc搬移部件，其中，上述直线模组沿直线方向设置在风干箱体的内侧；上述滑座可滑动地连接在直线模组上，经直线模组驱动；上述升降电机设置在滑座一侧；上述支撑部件沿竖直方向可滑动地设置在滑座的另一侧，且与升降电机的输出端连接，升降电机驱动支撑部件升降运动；上述oled搬移部件设置在支撑部件的一侧，fpc搬移部件设置在支撑部件的另一侧；在风干箱体的风干工位处，oled搬移部件及fpc搬移部件向上穿过风干载台的通槽及条状缝隙，oled搬移部件托住并吸附oled，fpc搬移部件托住fpc，带动oled及fpc同步直线移动经过风干组件风干oled及fpc上下表面后，将oled及fpc放置在缓存工位的风干载台上；oled搬移部件及fpc搬移部件穿过风干载台的通槽及条状缝隙下移至移动通道内，并在移动通道内直线返回至风干工位。
10.优选地，所述的支撑部件包括升降座及支杆，其中，上述升降座沿竖直方向可滑动地连接在滑座的另一侧，且与升降电机的输出端连接；上述支杆包括至少二根，支杆水平间隔地连接在升降座上部，支杆内部设有气路。
11.优选地，所述的oled搬移部件包括oled搬移支条、搬移真空接头及搬移吸嘴，其中，上述oled搬移支条包括至少二根，oled搬移支条平行间隔地设置在支杆上，且水平延伸至支杆的左右两侧，形成oled支撑区域；oled搬移支条内部设有气路，该气路与支杆内部气
路连通；上述搬移真空接头设置在支杆上，并与支杆气路连接；上述搬移吸嘴包括至少二个，搬移吸嘴设置在oled搬移支条上，并与oled搬移支条的气路连接，搬移吸嘴处产生真空负压吸附oled基板；上述fpc搬移部件包括fpc搬移支条及搬移吸嘴，fpc搬移支条包括至少二根，fpc搬移支条平行间隔地设置在支杆上，且水平延伸至支杆的左右两侧，形成fpc支撑区域；fpc搬移支条内部设有气路，该气路与支杆内部气路连通，fpc搬移支条上设有搬移吸嘴，该搬移吸嘴与fpc搬移支条内部气路连通。
12.优选地，所述的风干组件包括上风干部件及上下风干部件，其中，上述上风干部件设置在风干箱体的风干工位前端的开口处，oled基板穿过上风干部件进入风干工位时，上风干部件对oled基板上部进行风干干燥；上述上下风干部件设置在风干箱体的风干工位与缓存工位之间，oled基板经风干搬臂托住穿过上下风干部件从风干工位进入缓存工位时，上下风干部件对oled基板上下表面进行风干干燥。
13.优选地，所述的上风干部件包括第一支柱、第一安装座、第一支杆及第一风刀，其中，上述第一支柱竖直设置；上述第一安装座可拆卸地设置在第一支柱上，并可沿第一支柱上下滑动，以便调整安装位置；上述第一支杆水平连接在第一安装座上；上述第一风刀水平连接在第一支杆上，第一风刀的底部设有缝状结构的风口，风口吹出高压气体风干oled基板表面；上述上下风干部件包括第二支柱、第二安装座、第二支杆及第二风刀，其中，上述第二支柱竖直设置；上述第二安装座包括二个，两第二安装座沿竖直方向设置，并与第二支柱可拆卸地连接；上述第二支杆包括二根，两第二支杆分别水平连接在第二安装座上，并水平延伸；上述第二风刀包括二个，两第二风刀分别水平连接在第二支杆上，两第二风刀之间形成风干空间；第二风刀靠近风干空间的一侧设有缝状结构的风口，风口吹出高压气体，以便风干从风干空间穿过的oled基板。
14.优选地，所述的中转搬臂包括第一中转模组、第一中转滑座、第二中转模组、第二中转滑座、中转旋转电机、中转支架、中转升降气缸及中转取料组件，其中，上述第一中转模组跨设在两组风干箱体之间；上述第一中转滑座可滑动地连接在第一中转模组上，并与第一中转模组的输出端连接；上述第二中转模组沿垂直于第一中转模组方向连接在第一中转滑座上；上述第二中转滑座可滑动地连接在第二中转模组上，并与第二中转模组的输出端连接；上述中转旋转电机设置在第二中转滑座上，且输出端朝下设置；上述第二中转支架设置在第二中转滑座下方，且与中转旋转电机的输出端连接，中转旋转电机驱动第二中转支架旋转运动；上述中转升降气缸竖直设置在第二中转支架上，且输出端朝下设置；上述中转取料组件水平设置在第二中转支架下方，且与中转升降气缸的输出端连接，经中转升降气缸驱动升降运动。
15.优选地，所述的中转取料组件包括中转支座、中转支板、oled吸附部件及fpc吸附部件，其中，上述中转支座水平连接在中转升降气缸的输出端上；上述中转支板水平设置在中转支座的下方，通过支柱与中转支座连接；上述oled吸附部件设置在中转支板一侧，fpc吸附部件设置在中转支板的另一侧，oled吸附部件及fpc吸附部件在水平面内形成吸附区域，且该吸附区域的形状及尺寸可调节；oled吸附部件包括安装槽及第一吸嘴，其中，安装槽包括至少二条，安装槽包括直槽及斜槽，直槽沿中转支板一侧边方向设置，斜槽包括至少二条，并沿不同角度朝直槽方向设置在直槽的侧部；上述第一吸嘴包括至少二个，第一吸嘴包括至少二个，第一吸嘴可拆卸地插设在安装槽内，第一吸嘴在安装槽内滑动以便调整安
装位置；上述fpc吸附部件包括第一支条、第二支条、固定螺母及第二吸嘴，其中，上述第一支条包括二条，两第一支条分别平行间隔的连接在中转支板一侧，第一支条的中部开设有条状滑槽；上述第二支条包括至少二条，第二支条的一端可滑动地连接在第一支条的条状滑槽内，并通过固定螺母固定，第二支条的另一端水平延伸至两第一支条之间的间隙空间内，第二支条上开设有条状滑槽；上述第二吸嘴包括至少二个，第二吸嘴可滑动地安装在第二支条的条状滑槽内，通过在第二支条的条状滑槽内滑动以便条状安装位置。
16.一种oled及其基板清洗后风干机的风干工艺，包括如下工艺步骤：s1、上风干：待风干的oled基板经过上风干部件进行上风干后，经风干箱体风干工位的前端开口进入风干工位；s2、托料及上下风干：步骤s1中的oled基板在风干工位处经风干箱体内的风干载台支撑，风干搬臂从风干载台的移动通道穿过风干载台的通槽及条状空隙将oled基板托举上升后，直线移动并穿过上下风干部件，经上下风干部件对oled基板上下表面进行风干；s3、缓存中转：步骤s2中oled基板完成上下风干后，风干搬臂将其搬移至风干箱体的缓存工位处，并将其放置在缓存工位处的风干载台上，进行物料缓存，中转搬臂从风干载台上取出oled基板后将其搬移至中转平台上；s4、下料：步骤s3中中转平台上的oled基板经下料搬臂取出后搬移至下一工站，完成下料。
17.本发明的有益效果在于：本发明针对现有技术存在的不足与缺陷进行进行创新，设计了一种采用双风干通道与单次多片风干方式，有效地提升了风干效率，采用镂空式真空承载及搬移结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，采用可调式oled及fpc独立吸附结构，适用于多种oled及fpc稳定搬移的oled及其基板清洗后风干机及其风干工艺。本发明主要解决了oled及其基板研磨清洁后风干效率提升问题、oled及其基板传送移动过程中同步稳定地实现风干的问题、oled及其基板支撑承载及传送移动过程中同步完成上下面风干问题、oled及其fpc同步稳定地完成搬移中转的问题以及不同尺寸或形状的oled吸附搬移问题。
18.针对风干效率提升问题，本发明采用双风干通道设计，在机架上平行间隔地设有两列风干箱体，风干箱体内设风干载台，沿风干载台直线设置方向形成单条风干通道；单条风干通道内依次设有风干工位及缓存工位，在风干工位前侧设有上风干部件，在风干工位与缓存工位之间设有上下风干部件；同时，本发明的风干载台上可同时承载多片oled，设置于风干载台侧部的风干搬臂从风干载台上同步托取多片oled进行风干，风干后的oled经跨设于两风干通道后端的中转搬移分别从两风干通道取出至中转平台上，下料机构从中转平台上吸取oled搬移至下一工站。该种双风干通道独立进行风干，且与多片oled同步托举吸附搬移风干设计相配合，极大地提升了风干效率，适应于高速自动化产线在线式风干产能需求。另外，为保证oled传送及取出需求，本发明的单条风干通道内并列设置有二个风干箱体，由前至后分别位于风干工位及缓存工位处，两风干箱体位于内侧的一侧均开口，以便风干搬臂托举和移送oled；风干工位处的风干箱体前后两侧开口，以便oled从前侧开口穿过上风干部件进行上表面风干后进入该风干箱体内的风干载台，以及oled从后侧开口穿过上下风干部件后进入缓存工位处风干箱体内的风干载台；缓存工位处的风干箱体前侧及顶部开口，前侧开口便于oled进入，顶部开口便于中转搬臂从上方靠近该风干箱体的风干载台，
以便取出oled。
19.针对上下面风干问题及搬移、风干过程中oled稳定性问题以及oled与fpc独立承载吸附问题，本发明独创性地设计有风干载台及风干搬臂，并配合在风干工位与缓存工位之间设置上下风干部件；本发明的风干载台及风干搬臂整体采用上下镂空结构设计，在竖直方向上风干载台与风干搬移对叉交错移动，从而既保证了oled上下表面无阻挡风干，也实现了oled托举支撑取放；另外，风干载台及风干搬臂的oled承载区域或fpc承载区域还具备真空吸附功能，风干载台或风干搬臂托举支撑oled或fpc的同时，产生向下的真空负压吸附力，通过该真空负压吸附力实现了oled位置固定，保证了传送、风干稳定性。
20.具体地，本发明的风干载台采用上下双层结构设计的载台支架作为承载主体，载台支架下部形成移动通道，载台支架上部为承载平面，设有oled承载部件和fpc承载部件，oled承载部件以oled承载板为主体，包括并列设置的二块oled承载板，oled承载板中部开设有通槽，以便风干搬臂上下穿过；oled承载板靠近通槽两侧平行间隔地设有多根oled支条，相邻oled支条之间形成间隙空间，以便风干搬臂上下穿过；oled承载板与oled支条之间形成oled承载区域。另外，本发明在oled承载板及oled支条内部还设有相互连通的气路，oled承载板的侧部连接有真空接头，以便外接真空发生器，oled支条上布设有多个oled吸嘴，真空接头及oled吸嘴分别与oled承载板及oled支条内部气路连通，从而使oled吸嘴处产生真空负压，以便向下吸附固定放置于oled支条上的oled；fpc承载部靠近与oled承载部一侧，fpc承载部为开设有多条条状缝隙的fpc承载板，用于承载oled一侧的fpc，并保证风干搬移上下穿过。
21.本发明的风干搬臂整体沿直线方向设置于风干载台的侧部，风干搬臂以直线模组及滑座作为直线驱动结构，直线模组驱动滑座在两风干箱体之间来回直线移动；滑座侧壁上沿竖直方向可滑动地设有升降座，升降座经升降电机驱动在竖直方向上升降运动；升降座的侧部平行间隔地设有两支杆，支杆作为承载主体，其上分别设有oled搬移区域和fpc搬移区域，分别实现对oled及其fpc进行吸附搬移；本发明在支杆上平行间隔地设置oled搬移支条，oled搬移支条水平延伸至支杆的左右两侧，多根oled搬移支条形成支撑oled的水平支撑面；oled搬移支条的侧部设有多根平行间隔设置的fpc搬移支条，fpc搬移支条水平延伸至支杆的左右两侧，形成支撑fpc的水平支撑面。同时，本发明的支杆、oled搬移支条及fpc搬移支条内部均设有气路，且三者气路相互连通，支杆的侧部设有搬移真空接头，oled搬移支条及fpc搬移支条上设有多个搬移吸嘴，搬移真空接头及搬移吸嘴均与气路连通，以便在搬移吸嘴处产生真空负压向下吸附oled搬移支条及fpc搬移支条上托举的oled和fpc。风干搬臂工作时，支条从风干载台的通槽上下穿过，oled搬移支条及fpc搬移支条与风干载台的oled支条及fpc承载板相互交错对叉，从风干载台下方托举其上的oled及fpc或者将已托举的oled及fpc放置在风干载台后穿过通槽下移。
22.本发明针对oled及其fpc结构和特性，设计有中转搬臂，用于将oled及其fpc吸附并进行中转搬移；中转搬臂整体包括运动驱动部分及取料部分，运动驱动部分以第一中转模组及第二中转模组作为水平面内的动力机构，实现在水平面纵向及横向方向上的直线驱动，中转旋转电机提供在水平面的旋转运动动力，中转升降气缸提供在竖直方向上升降运动动力；通过以上运动驱动部分实现了对取料部分整体在水平面内360
°
方向以及竖直方向的运动驱动，在实现取放料的同时还可完成oled角度位置调整转换；本发明的取料部分为
中转取料组件，中转取料组件以水平设置的中转支板作为载体，其上独立设有oled吸附部件及fpc吸附部件，oled吸附部件以一条直槽组合多条斜槽结构作为安装调节部件，直槽沿中转支板的一侧边设置，斜槽沿不同角度朝直槽方向设置在直槽的侧部，直槽及斜槽内可拆卸地安装有第一吸嘴，多个第一吸嘴形成oled吸附平面，第一吸嘴沿直槽或斜槽直线滑动，调整oled吸附平台的形状及尺寸，以便适应不同oled的吸附；fpc吸附部件以连接于中转支板侧部的第一支条及垂直于第一支条方向连接在第一支条上的第二支条作为承载部件，第一支条及第二支条中部开设有条状滑槽，第二支条可拆卸地安装在第一支条的条状滑槽内，第二支条的条状滑槽内可拆卸地安装有第二吸嘴，多个第二吸嘴形成fpc吸附平面，通过调整第二支条的安装位置以及第二吸嘴在第二支条上的安装位置可实现对fpc吸附平面的调整，以适应不同类型及位置的fpc的吸附。
附图说明
23.图1为本发明的立体结构示意图之一。
24.图2为为本发明的立体结构示意图之二。
25.图3为本发明隐藏部件后的立体结构示意图之一。
26.图4为本发明隐藏部件后的立体结构示意图之二。
27.图5为本发明隐藏部件后的立体结构示意图之三。
28.图6为本发明隐藏部件后的立体结构示意图之四。
29.图7为本发明风干箱体的立体结构示意图之一。
30.图8为本发明风干箱体的立体结构示意图之二。
31.图9为本发明风干机构的立体结构示意图之一。
32.图10为本发明风干机构的立体结构示意图之二。
33.图11为本发明风干机构的立体结构示意图之三。
34.图12为本发明风干载台与风干搬臂的立体结构示意图之一。
35.图13为本发明风干载台与风干搬臂的立体结构示意图之二。
36.图14为本发明风干载台与风干搬臂的立体结构示意图之三。
37.图15为本发明风干载台的立体结构示意图之一。
38.图16为本发明风干载台的立体结构示意图之二。
39.图17为本发明风干载台的立体结构示意图之三。
40.图18为本发明风干搬臂的立体结构示意图之一。
41.图19为本发明风干搬臂的立体结构示意图之二。
42.图20为本发明风干搬臂的立体结构示意图之三。
43.图21为本发明上风干部件的立体结构示意图之一。
44.图22为本发明上风干部件的立体结构示意图之二。
45.图23为本发明上下风干部件的立体结构示意图之一。
46.图24为本发明上下风干部件的立体结构示意图之二。
47.图25为本发明中转搬臂的立体结构示意图之一。
48.图26为本发明中转搬臂的立体结构示意图之二。
49.图27为本发明取料部件的立体结构示意图之一。
50.图28为本发明取料部件的立体结构示意图之二。
51.图29为本发明取料部件的立体结构示意图之三。
52.图30为本发明下料搬臂的立体结构示意图之一。
53.图31为本发明下料搬臂的立体结构示意图之二。
具体实施方式
54.下面将结合附图对本发明作进一步描述：如图1至图31所示，本发明采取的技术方案如下：一种oled及其基板清洗后风干机，包括风干机构、风干箱体6、中转搬臂7、中转平台8及下料搬臂9，其中，上述风干箱体6包括二组，分别沿物料传输方向平行间隔地设置于机架1上，形成双风干通道；上述风干机构包括两组，两风干机构分别设置在风干箱体6内，风干机构包括风干载台2、风干搬臂3及风干组件，风干载台2及风干搬臂3为镂空支撑结构，待风干的oled基板放置在风干载台2上，风干搬臂3从下方穿过风干载台2托住oled基板后上升至风干载台2上方，沿直线运动穿过风干组件进行风干后，风干搬臂3下降使oled基板经风干载台2支撑，风干搬臂3由上而下穿过风干载台2，并从风干载台2下方直线返回，托取下一组oled基板；上述中转平台8间隔风干箱体6设置于机架1的后端，中转搬臂7跨设在风干箱体6与中转平台8之间，将风干箱体6内风干后的oled基板吸取搬移至中转平台8上；上述下料搬臂9设置在中转平台8的侧部，并向外延伸出机架1，以便将中转平台8上的oled基板取出并移送至下一工站。
55.风干箱体6为内侧开口的盒状结构，风干箱体6内沿oled基板流动方向设有风干工位及缓存工位，风干工位及缓存工位内分别设有风干载台2，且风干工位的前后两端开口，缓存工位的前端及顶端开口。
56.风干载台2包括载台支座21、载台支架22、oled承载部及fpc承载部，其中，上述载台支座21竖直设置在风干箱体6内；上述载台支架22水平设置在载台支座21上，载台支架22为上下双层结构，载台支架22的中部形成有移动通道a；上述oled承载部设置在载台支架22的一侧，oled及其基板经oled承载部支撑并吸附固定，fpc承载部设置在载台支架22的另一侧，连接于oled一侧的fpc经fpc承载部支撑，且oled承载部及fpc承载部为上下镂空结构，以便搬移及上下风干oled基板。
57.oled承载部包括oled承载板23、oled支条24、真空接头25及oled吸嘴26，其中，上述oled承载板23包括至少二块，oled承载板23设置在载台支架22的内侧，oled承载板23的中部设有通槽b；上述oled支条24包括至少二根，oled支条24沿通槽b的两侧平行间隔地设置在oled承载支板23上，相邻oled支条24形成上下贯通的条状空隙，oled支条24在oled承载板23上形成oled承载区域；上述oled承载板23及oled支条24内部分别设有气路，且oled承载板23与oled支条24的气路连通；上述真空接头25设置在oled承载板23的侧部且与oled承载板23内部气路连通；上述oled吸嘴26包括至少二个，oled吸嘴26设置在oled支条24上，并与oled支条24内部气路连通，oled吸嘴26处产生真空负压以便向下吸附固定oled基板；上述fpc承载部包括fpc承载板27，fpc承载板27包括至少二块，fpc承载板27对应oled承载板23水平设置在承载支架22的外侧，fpc承载板27上开设有至少二条条状缝隙。
58.风干搬臂3包括直线模组31、滑座32、升降电机33、支撑部件、oled搬移部件及fpc搬移部件，其中，上述直线模组31沿直线方向设置在风干箱体6的内侧；上述滑座32可滑动
地连接在直线模组31上，经直线模组31驱动；上述升降电机33设置在滑座32一侧；上述支撑部件沿竖直方向可滑动地设置在滑座32的另一侧，且与升降电机33的输出端连接，升降电机33驱动支撑部件升降运动；上述oled搬移部件设置在支撑部件的一侧，fpc搬移部件设置在支撑部件的另一侧；在风干箱体6的风干工位处，oled搬移部件及fpc搬移部件向上穿过风干载台的通槽b及条状缝隙，oled搬移部件托住并吸附oled，fpc搬移部件托住fpc，带动oled及fpc同步直线移动经过风干组件风干oled及fpc上下表面后，将oled及fpc放置在缓存工位的风干载台2上；oled搬移部件及fpc搬移部件穿过风干载台2的通槽b及条状缝隙下移至移动通道a内，并在移动通道a内直线返回至风干工位。
59.支撑部件包括升降座34及支杆35，其中，上述升降座34沿竖直方向可滑动地连接在滑座32的另一侧，且与升降电机33的输出端连接；上述支杆35包括至少二根，支杆35水平间隔地连接在升降座34上部，支杆35内部设有气路。
60.oled搬移部件包括oled搬移支条36、搬移真空接头37及搬移吸嘴38，其中，上述oled搬移支条36包括至少二根，oled搬移支条36平行间隔地设置在支杆35上，且水平延伸至支杆35的左右两侧，形成oled支撑区域；oled搬移支条36内部设有气路，该气路与支杆35内部气路连通；上述搬移真空接头37设置在支杆35上，并与支杆35气路连接；上述搬移吸嘴38包括至少二个，搬移吸嘴38设置在oled搬移支条36上，并与oled搬移支条36的气路连接，搬移吸嘴38处产生真空负压吸附oled基板；上述fpc搬移部件包括fpc搬移支条39及搬移吸嘴38，fpc搬移支条39包括至少二根，fpc搬移支条39平行间隔地设置在支杆35上，且水平延伸至支杆35的左右两侧，形成fpc支撑区域；fpc搬移支条39内部设有气路，该气路与支杆35内部气路连通，fpc搬移支条39上设有搬移吸嘴38，该搬移吸嘴38与fpc搬移支条39内部气路连通。
61.风干组件包括上风干部件4及上下风干部件5，其中，上述上风干部件4设置在风干箱体6的风干工位前端的开口处，oled基板穿过上风干部件4进入风干工位时，上风干部件4对oled基板上部进行风干干燥；上述上下风干部件5设置在风干箱体6的风干工位与缓存工位之间，oled基板经风干搬臂3托住穿过上下风干部件5从风干工位进入缓存工位时，上下风干部件5对oled基板上下表面进行风干干燥。
62.上风干部件4包括第一支柱41、第一安装座42、第一支杆43及第一风刀44，其中，上述第一支柱41竖直设置；上述第一安装座42可拆卸地设置在第一支柱41上，并可沿第一支柱41上下滑动，以便调整安装位置；上述第一支杆43水平连接在第一安装座42上；上述第一风刀44水平连接在第一支杆43上，第一风刀44的底部设有缝状结构的风口，风口吹出高压气体风干oled基板表面；上述上下风干部件5包括第二支柱51、第二安装座52、第二支杆53及第二风刀54，其中，上述第二支柱51竖直设置；上述第二安装座52包括二个，两第二安装座52沿竖直方向设置，并与第二支柱51可拆卸地连接；上述第二支杆53包括二根，两第二支杆53分别水平连接在第二安装座52上，并水平延伸；上述第二风刀54包括二个，两第二风刀54分别水平连接在第二支杆53上，两第二风刀54之间形成风干空间；第二风刀54靠近风干空间的一侧设有缝状结构的风口，风口吹出高压气体，以便风干从风干空间穿过的oled基板。
63.中转搬臂7包括第一中转模组71、第一中转滑座72、第二中转模组73、第二中转滑座74、中转旋转电机75、中转支架76、中转升降气缸77及中转取料组件78，其中，上述第一中
转模组71跨设在两组风干箱体6之间；上述第一中转滑座72可滑动地连接在第一中转模组71上，并与第一中转模组71的输出端连接；上述第二中转模组73沿垂直于第一中转模组71方向连接在第一中转滑座72上；上述第二中转滑座74可滑动地连接在第二中转模组73上，并与第二中转模组73的输出端连接；上述中转旋转电机75设置在第二中转滑座74上，且输出端朝下设置；上述第二中转支架76设置在第二中转滑座74下方，且与中转旋转电机75的输出端连接，中转旋转电机75驱动第二中转支架76旋转运动；上述中转升降气缸77竖直设置在第二中转支架76上，且输出端朝下设置；上述中转取料组件78水平设置在第二中转支架76下方，且与中转升降气缸77的输出端连接，经中转升降气缸77驱动升降运动。
64.中转取料组件78包括中转支座781、中转支板782、oled吸附部件及fpc吸附部件，其中，上述中转支座781水平连接在中转升降气缸77的输出端上；上述中转支板782水平设置在中转支座781的下方，通过支柱与中转支座781连接；上述oled吸附部件设置在中转支板782一侧，fpc吸附部件设置在中转支板782的另一侧，oled吸附部件及fpc吸附部件在水平面内形成吸附区域，且该吸附区域的形状及尺寸可调节；oled吸附部件包括安装槽783及第一吸嘴784，其中，安装槽783包括至少二条，安装槽783包括直槽及斜槽，直槽沿中转支板782一侧边方向设置，斜槽包括至少二条，并沿不同角度朝直槽方向设置在直槽的侧部；上述第一吸嘴784包括至少二个，第一吸嘴784包括至少二个，第一吸嘴784可拆卸地插设在安装槽783内，第一吸嘴784在安装槽783内滑动以便调整安装位置；上述fpc吸附部件包括第一支条785、第二支条786、固定螺母787及第二吸嘴788，其中，上述第一支条785包括二条，两第一支条785分别平行间隔的连接在中转支板782一侧，第一支条785的中部开设有条状滑槽；上述第二支条786包括至少二条，第二支条786的一端可滑动地连接在第一支条785的条状滑槽内，并通过固定螺母787固定，第二支条786的另一端水平延伸至两第一支条785之间的间隙空间内，第二支条786上开设有条状滑槽；上述第二吸嘴788包括至少二个，第二吸嘴788可滑动地安装在第二支条786的条状滑槽内，通过在第二支条786的条状滑槽内滑动以便条状安装位置。
65.一种oled及其基板清洗后风干机的风干工艺，包括如下工艺步骤：s1、上风干：待风干的oled基板经过上风干部件进行上风干后，经风干箱体风干工位的前端开口进入风干工位；s2、托料及上下风干：步骤s1中的oled基板在风干工位处经风干箱体内的风干载台支撑，风干搬臂从风干载台的移动通道穿过风干载台的通槽及条状空隙将oled基板托举上升后，直线移动并穿过上下风干部件，经上下风干部件对oled基板上下表面进行风干；s3、缓存中转：步骤s2中oled基板完成上下风干后，风干搬臂将其搬移至风干箱体的缓存工位处，并将其放置在缓存工位处的风干载台上，进行物料缓存，中转搬臂从风干载台上取出oled基板后将其搬移至中转平台上；s4、下料：步骤s3中中转平台上的oled基板经下料搬臂取出后搬移至下一工站，完成下料。
66.另外，本发明的下料搬臂9包括第一下料直线模组91、第二下料直线模组92、下料升降模组93、下料调整模组94、下料支座95、下料支板96及下料支架97，其中，第一下料直线模组91沿oled基板流动方向设置在机架上，第二下料直线模组92垂直于第一下料直线模组91连接在第一下料直线模组91的输出端上，经第一下料直线模组91驱动而直线运动；下料
升降模组93竖直连接在第二下料直线模组92的输出端上，经第二下料直线模组92驱动而直线运动；下料调整模组94水平连接在下料升降模组93的输出端上，经下料升降模组93驱动沿竖直方向升降运动；下料支座95包括二个，分别间隔设置在下料调整模组94的下方，并与下料调整模组94的输出端连接，经下料调整模组94驱动而调整位置；下料支板96水平连接于下料支座95下方，下料支板96上开设有条状安装槽，条状安装槽内可滑动地安装有下料吸嘴，以便吸附oled基板；下料支架97连接于下料支板96的侧部，下料支架97上可滑动地设有多个下料吸嘴，以便吸附oled基板一侧的fpc。
67.进一步，本发明设计了一种采用双风干通道与单次多片风干方式，有效地提升了风干效率，采用镂空式真空承载及搬移结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，采用可调式oled及fpc独立吸附结构，适用于多种oled及fpc稳定搬移的oled及其基板清洗后风干机及其风干工艺。本发明主要解决了oled及其基板研磨清洁后风干效率提升问题、oled及其基板传送移动过程中同步稳定地实现风干的问题、oled及其基板支撑承载及传送移动过程中同步完成上下面风干问题、oled及其fpc同步稳定地完成搬移中转的问题以及不同尺寸或形状的oled吸附搬移问题。
68.针对风干效率提升问题，本发明采用双风干通道设计，在机架上平行间隔地设有两列风干箱体，风干箱体内设风干载台，沿风干载台直线设置方向形成单条风干通道；单条风干通道内依次设有风干工位及缓存工位，在风干工位前侧设有上风干部件，在风干工位与缓存工位之间设有上下风干部件；同时，本发明的风干载台上可同时承载多片oled，设置于风干载台侧部的风干搬臂从风干载台上同步托取多片oled进行风干，风干后的oled经跨设于两风干通道后端的中转搬移分别从两风干通道取出至中转平台上，下料机构从中转平台上吸取oled搬移至下一工站。该种双风干通道独立进行风干，且与多片oled同步托举吸附搬移风干设计相配合，极大地提升了风干效率，适应于高速自动化产线在线式风干产能需求。另外，为保证oled传送及取出需求，本发明的单条风干通道内并列设置有二个风干箱体，由前至后分别位于风干工位及缓存工位处，两风干箱体位于内侧的一侧均开口，以便风干搬臂托举和移送oled；风干工位处的风干箱体前后两侧开口，以便oled从前侧开口穿过上风干部件进行上表面风干后进入该风干箱体内的风干载台，以及oled从后侧开口穿过上下风干部件后进入缓存工位处风干箱体内的风干载台；缓存工位处的风干箱体前侧及顶部开口，前侧开口便于oled进入，顶部开口便于中转搬臂从上方靠近该风干箱体的风干载台，以便取出oled。
69.针对上下面风干问题及搬移、风干过程中oled稳定性问题以及oled与fpc独立承载吸附问题，本发明独创性地设计有风干载台及风干搬臂，并配合在风干工位与缓存工位之间设置上下风干部件；本发明的风干载台及风干搬臂整体采用上下镂空结构设计，在竖直方向上风干载台与风干搬移对叉交错移动，从而既保证了oled上下表面无阻挡风干，也实现了oled托举支撑取放；另外，风干载台及风干搬臂的oled承载区域或fpc承载区域还具备真空吸附功能，风干载台或风干搬臂托举支撑oled或fpc的同时，产生向下的真空负压吸附力，通过该真空负压吸附力实现了oled位置固定，保证了传送、风干稳定性。
70.具体地，本发明的风干载台采用上下双层结构设计的载台支架作为承载主体，载台支架下部形成移动通道，载台支架上部为承载平面，设有oled承载部件和fpc承载部件，oled承载部件以oled承载板为主体，包括并列设置的二块oled承载板，oled承载板中部开
设有通槽，以便风干搬臂上下穿过；oled承载板靠近通槽两侧平行间隔地设有多根oled支条，相邻oled支条之间形成间隙空间，以便风干搬臂上下穿过；oled承载板与oled支条之间形成oled承载区域。另外，本发明在oled承载板及oled支条内部还设有相互连通的气路，oled承载板的侧部连接有真空接头，以便外接真空发生器，oled支条上布设有多个oled吸嘴，真空接头及oled吸嘴分别与oled承载板及oled支条内部气路连通，从而使oled吸嘴处产生真空负压，以便向下吸附固定放置于oled支条上的oled；fpc承载部靠近与oled承载部一侧，fpc承载部为开设有多条条状缝隙的fpc承载板，用于承载oled一侧的fpc，并保证风干搬移上下穿过。
71.本发明的风干搬臂整体沿直线方向设置于风干载台的侧部，风干搬臂以直线模组及滑座作为直线驱动结构，直线模组驱动滑座在两风干箱体之间来回直线移动；滑座侧壁上沿竖直方向可滑动地设有升降座，升降座经升降电机驱动在竖直方向上升降运动；升降座的侧部平行间隔地设有两支杆，支杆作为承载主体，其上分别设有oled搬移区域和fpc搬移区域，分别实现对oled及其fpc进行吸附搬移；本发明在支杆上平行间隔地设置oled搬移支条，oled搬移支条水平延伸至支杆的左右两侧，多根oled搬移支条形成支撑oled的水平支撑面；oled搬移支条的侧部设有多根平行间隔设置的fpc搬移支条，fpc搬移支条水平延伸至支杆的左右两侧，形成支撑fpc的水平支撑面。同时，本发明的支杆、oled搬移支条及fpc搬移支条内部均设有气路，且三者气路相互连通，支杆的侧部设有搬移真空接头，oled搬移支条及fpc搬移支条上设有多个搬移吸嘴，搬移真空接头及搬移吸嘴均与气路连通，以便在搬移吸嘴处产生真空负压向下吸附oled搬移支条及fpc搬移支条上托举的oled和fpc。风干搬臂工作时，支条从风干载台的通槽上下穿过，oled搬移支条及fpc搬移支条与风干载台的oled支条及fpc承载板相互交错对叉，从风干载台下方托举其上的oled及fpc或者将已托举的oled及fpc放置在风干载台后穿过通槽下移。
72.本发明针对oled及其fpc结构和特性，设计有中转搬臂，用于将oled及其fpc吸附并进行中转搬移；中转搬臂整体包括运动驱动部分及取料部分，运动驱动部分以第一中转模组及第二中转模组作为水平面内的动力机构，实现在水平面纵向及横向方向上的直线驱动，中转旋转电机提供在水平面的旋转运动动力，中转升降气缸提供在竖直方向上升降运动动力；通过以上运动驱动部分实现了对取料部分整体在水平面内360
°
方向以及竖直方向的运动驱动，在实现取放料的同时还可完成oled角度位置调整转换；本发明的取料部分为中转取料组件，中转取料组件以水平设置的中转支板作为载体，其上独立设有oled吸附部件及fpc吸附部件，oled吸附部件以一条直槽组合多条斜槽结构作为安装调节部件，直槽沿中转支板的一侧边设置，斜槽沿不同角度朝直槽方向设置在直槽的侧部，直槽及斜槽内可拆卸地安装有第一吸嘴，多个第一吸嘴形成oled吸附平面，第一吸嘴沿直槽或斜槽直线滑动，调整oled吸附平台的形状及尺寸，以便适应不同oled的吸附；fpc吸附部件以连接于中转支板侧部的第一支条及垂直于第一支条方向连接在第一支条上的第二支条作为承载部件，第一支条及第二支条中部开设有条状滑槽，第二支条可拆卸地安装在第一支条的条状滑槽内，第二支条的条状滑槽内可拆卸地安装有第二吸嘴，多个第二吸嘴形成fpc吸附平面，通过调整第二支条的安装位置以及第二吸嘴在第二支条上的安装位置可实现对fpc吸附平面的调整，以适应不同类型及位置的fpc的吸附。
73.本发明的实施例只是介绍其具体实施方式，不在于限制其保护范围。本行业的技
术人员在本实施例的启发下可以作出某些修改，故凡依照本发明专利范围所做的等效变化或修饰，均属于本发明专利权利要求范围内。