治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统与流程

1.本技术涉及显示技术领域，具体涉及一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统。


背景技术：

2.近几年，柔性显示(flexible display)和可折叠显示(foldable display)技术发展迅猛，是国内外高校以及研究所关注的重点，也是显示企业、终端厂商等争相布局的关键技术。目前，柔性显示产品主要是采用s2s(sheet to sheet，片对片)生产工艺，以玻璃等硬质基板为载体，结合柔性衬底贴附取下或玻璃薄化等方法进行制备。其中，贴附取下是先将柔性衬底贴附在硬质基板上制备柔性显示器件，制备完柔性显示器件之后再剥离硬质基板，取出柔性显示器件。这种方法不影响显示器件的制作精度，且制作设备和工艺与制作传统的液晶显示器相仿，不必做太大的调整，因此短期内更接近于量产应用。另一种，玻璃薄化的方式对薄化工艺要求非常高，生产良率有待提高。
3.其中，贴附取下的工艺常采用激光剥离技术(laser lift-off,llo)，即利用激光直接作用在柔性衬底与硬质基板的界面处，通过高能激光破坏柔性衬底与硬质基板的结合力，从而使硬质基板和柔性显示器件分离。但是，由于激光扫描后柔性衬底与硬质基板的接触界面碳化产生许多微小颗粒，为了保持llo工作腔的洁净度，此时不适合将硬质基板剥离。然而，将已分离的柔性显示器件和硬质基板进行转移时，硬质基板和柔性显示器件易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降。


技术实现要素：

4.本技术提供一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统，以解决现有技术中将硬质基板和柔性显示器件已分离的柔性显示组件进行转移时，硬质基板和柔性显示器件易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降的技术问题。
5.本技术提供一种治具平台，其包括治具平台本体，所述治具平台本体具有相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面用于放置柔性显示组件，所述治具平台本体上设有至少一个气体通道，所述气体通道包括相连接的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第一表面连通；以及
6.单向阀，所述单向阀设置在所述第一腔体和所述第二腔体之间；
7.其中，提高所述第二腔体的真空度时，所述单向阀打开，所述第一腔体和所述第二腔体连通，所述治具平台用于吸附所述柔性显示组件；
8.降低所述第二腔体的真空度时，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，所述治具平台继续吸附所述柔性显示组件。
9.可选的，在本技术一些实施例中，所述第一腔体和所述第二腔体共轴设置，所述第二腔体与所述第二表面连通。
10.可选的，在本技术一些实施例中，所述第二腔体位于所述治具平台内，所述治具平
台上设有至少一抽气口，所述抽气口与所述第二腔体连通，所述抽气口用于对所述第二腔体抽气。
11.可选的，在本技术一些实施例中，所述气体通道设置有多个，多个所述气体通道阵列排布，且多个所述气体通道的孔径相同。
12.相应的，本技术还提供一种柔性显示组件的转移方法，其包括：
13.将柔性显示组件放置于上述任一项所述的治具平台的第一表面上，所述柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，所述柔性显示器件朝向所述第一表面；
14.利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件；
15.对所述硬质基板与所述柔性显示器件进行预剥离处理；
16.转移吸附有所述柔性显示组件的所述治具平台。
17.可选的，在本技术一些实施例中，所述利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件的步骤具体为：
18.提高所述第二腔体的真空度，以打开所述单向阀，并使所述治具平台吸附所述柔性显示组件；
19.可选的，在本技术一些实施例中，所述通过所述第一剥离平台将所述硬质基板与所述柔性显示器件分离的步骤后还包括：
20.降低所述第二腔体的真空度，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，所述第一剥离平台与所述治具平台分离，所述治具平台与所述柔性显示组件保持吸附。
21.可选的，在本技术一些实施例中，当所述第二腔体的真空度大于或等于第一真空度时，所述单向阀打开，并用于控制气体从所述第一腔体通入至所述第二腔体；
22.当所述第二腔体的真空度小于第一真空度时，所述单向阀关闭；
23.其中，所述第一真空度为65千帕至75千帕。
24.可选的，在本技术一些实施例中，所述治具平台上设有与所述第二腔体连通的抽气口，所述利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件的步骤具体为：
25.通过所述抽气口对所述气体通道进行抽真空操作，提高所述第二腔体的真空度，以打开所述单向阀，所述治具平台吸附所述柔性显示组件；
26.通过所述抽气口向所述气体通道注入空气，降低所述第二腔体的真空度，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，并使所述治具平台与所述柔性显示组件保持吸附。
27.本技术还提供一种柔性显示组件的剥离转移系统，其包括：
28.上述任一项所述的治具平台，用于放置柔性显示组件，所述柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，所述柔性显示器件朝向所述第一表面；
29.第一剥离平台，用于放置所述治具平台，所述治具平台的第二表面与所述第一剥离平台贴合；
30.激光扫描组件，用于对所述柔性显示器件和所述硬质基板之间的界面进行激光扫描处理；
31.第二剥离平台，用于承载经所述第一剥离平台转移的所述治具平台和所述柔性显示组件，还用于对经过激光扫描处理的柔性显示组件进行机械剥离处理，以将所述柔性显示器件和所述硬质基板分离。
32.本技术提供一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统，在不设
置粘结层或过程保护膜的情况下，可以利用治具平台吸附柔性显示组件。由于治具平台可循环利用，从而可以降低生产成本。同时，在柔性显示组件中的硬质基板和柔性显示器件分离后，利用治具平台将仍与其吸附贴合的柔性显示组件从第一剥离平台转移至第二剥离平台。则治具平台作为柔性显示组件的载体能确保搬运过程中柔性显示器件和硬质基板不会发生脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件。
附图说明
33.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
34.图1是本技术提供的治具平台和柔性显示组件的第一结构示意图；
35.图2是图1所示的治具平台的俯视示意图；
36.图3是图2所示的治具平台沿xx’处的第一剖面结构示意图；
37.图4是本技术提供的柔性显示组件的结构示意图；
38.图5是本技术提供的治具平台吸附柔性显示组件的第一结构示意图；
39.图6是本技术提供的治具平台吸附柔性显示组件的第二结构示意图；
40.图7是本技术提供的治具平台吸附柔性显示组件的第三结构示意图。
41.图8是图2所示的治具平台沿xx’处的第二剖面结构示意图；
42.图9是本技术提供的治具平台和柔性显示组件的第二结构示意图；
43.图10是本技术提供的柔性显示组件的转移方法的第一流程示意图；
44.图11是本技术提供的柔性显示组件的剥离转移系统的结构示意图；
45.图12是本技术提供的柔性显示组件的转移方法的第二流程示意图；
46.图13是本技术提供的第一剥离平台和治具平台的结构示意图；
47.图14是本技术提供的第一剥离平台和治具平台的剖面结构示意图；
48.图15是本技术提供的第一剥离平台、治具平台以及柔性显示组件的结构示意图；
49.图16是本技术提供的第一剥离平台、治具平台以及柔性显示组件的第一剖面结构示意图；
50.图17是本技术提供的第一剥离平台、治具平台以及柔性显示组件的第二剖面结构示意图；
51.图18是本技术提供的治具平台、柔性显示组件以及第二剥离平台的结构示意图；
52.图19是本技术提供的第一剥离平台、治具平台以及柔性显示组件的第三剖面结构示意图。
53.附图标记说明：
54.10：治具平台；10a：第一表面；10b：第二表面；20：柔性显示组件；110：治具平台本体；11：气体通道；111：第一腔体；112：第二腔体；12：单向阀；21：硬质基板；22：柔性显示器件；13：抽气口；14：第一凸起部；15：第二凸起部；30：第一剥离平台；31：真空通道；32：连通孔；33：伸缩台；40：第二剥离平台；50：激光扫描组件。
具体实施方式
55.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。
56.本技术提供一种治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统。以下分别进行详细说明。需说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优选顺序的限定。
57.请同时参阅图1、图2以及图3，图1是本技术提供的治具平台和柔性显示组件的第一结构示意图，图2是图1所示的治具平台的俯视示意图，图3是图2所示的治具平台沿xx’处的第一剖面结构示意图。
58.在本技术中，治具平台10包括治具平台本体110和单向阀12。治具平台本体110具有相对设置的第一表面10a和第二表面10b。第一表面10a用于放置柔性显示组件20。治具平台本体110上设有至少一个气体通道11。气体通道11包括相连接的第一腔体111和第二腔体112。第一腔体111和第一表面10a连通。单向阀12设置在第一腔体111和第二腔体112之间。其中，提高第二腔体112的真空度时，单向阀12打开，第一腔体111和第二腔体112连通，治具平台10用于吸附柔性显示组件20。然后，降低第二腔体112的真空度，单向阀12关闭，第一腔体111内保持负压，治具平台10继续吸附柔性显示组件20。
59.可以理解的是，常压指一个大气压，即我们平常生活的大气层产生的气体压力。一个标准大气压为101.325千帕。负压是指比常压的气压低的气体状态，也就是我们常说的“真空”。真空度是指一个空间处于真空状态下的气体稀薄程度，若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，通常用负数表示。
60.其中，治具平台10可由电木、亚克力、铝合金、不锈钢等材料中的任一种制成，本技术对此不作具体限定。
61.其中，第一表面10a可以为治具平台本体110的上表面，第二表面10b可以为治具平台本体110的下表面。当然，第一表面10a也可以为治具平台本体110的下表面，第二表面10b可以为治具平台本体110的上表面。本技术在不作特殊说明的情况下，默认为第一表面10a为治具平台本体110的上表面，第二表面10b为治具平台本体110的下表面。
62.其中，在实际应用中，可以通过抽真空装置对第二腔体112进行抽真空操作，减少第二腔体112内的气体密度，进而提高第二腔体112的真空度。当第二腔体112的真空度达到一稳定值时，可以减小抽真空装置的功率，减小功率损耗。
63.其中，在实际应用中，可以停止抽真空操作，使第二腔体112与外界连通，以降低第二腔体112的真空度。或者停止抽真空操作，并向第二腔体112注入空气，以提高降低真空度的速度。
64.其中，单向阀12用于控制气体从第一腔体111通入至第二腔体112。且单向阀12用于反向阻止气体从第二腔体112通入至第一腔体111。
65.具体的，单向阀12又称止回阀或逆止阀。单向阀12可用于气动系统中防止压缩空气逆向流动。比如，在本技术的气体通道11中，由于设置了单向阀12，气体只能从第一腔体111流向第二腔体112，而不能从第二腔体112流向第一腔体111。单向阀12有直通式和直角式两种。直通式的单向阀12可以使用螺纹连接安装在气体通道11的内侧壁上。直角式的单向阀12有螺纹连接、板式连接和法兰连接三种形式。此外，单向阀12为本领域技术人员熟知的器件结构，在此不再赘述。需要说明的是，本技术附图中所示的单向阀12仅为概念示意图，不能理解为对本技术的限定。
66.其中，请参阅图4，图4是本技术提供的柔性显示组件的结构示意图。柔性显示组件20包括硬质基板21和柔性显示器件22。
67.具体的，硬质基板21可以是玻璃基板，但本技术并不限制于此。例如，硬质基板21也可以是硬质的树脂基板等。
68.具体的，柔性显示器件22包括但不限于依次叠层设置于硬质基板21上的柔性衬底、阵列层、发光层、封装层以及偏光片(图中未标示)。通常，柔性衬底采用的材料为聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯等有机材料，以提高柔性显示器件22的柔韧性。需要说明的是，柔性显示器件22的具体膜层结构在附图中未示出。但是，阵列层、发光层、封装层以及偏光片的结构及其具体设置均为本领域常用的技术手段，在此不再赘述。
69.可以理解的是，由于柔性显示器件22的刚性较弱，在硬质基板21上形成柔性显示器件22，可以降低工艺制程的难度。但是，在制成柔性显示器件22后，需要将硬质基板21从柔性显示器件22上剥离，以保证产品的柔韧性。但是，由于激光扫描后柔性衬底与硬质基板21的接触界面碳化产生许多微小颗粒，为了保持llo工作腔的洁净度，需要将已分离的柔性显示器件22和硬质基板21进行转移，并保证硬质基板21和柔性显示器件22在转移过程中不会发生脱落或不可控的相对位移。
70.对此，本技术在不设置粘结层或过程保护膜的情况下，可以利用治具平台10吸附柔性显示组件20。由于治具平台10可循环利用，从而可以降低生产成本。在柔性显示组件20中的硬质基板21和柔性显示器件22被激光分离后，治具平台10作为柔性显示组件20的载体，继续吸附柔性显示组件20。在转移过程中，通过转移治具平台10转移柔性显示组件20，可以避免夹持等机械动作对柔性显示组件20产生损害。同时，能确保搬运过程中硬质基板21和柔性显示器件22不会发生脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件20。
71.请参阅图5-图7，图5是本技术提供的治具平台吸附柔性显示组件的第一结构示意图；图6是本技术提供的治具平台吸附柔性显示组件的第二结构示意图；图7是本技术提供的治具平台吸附柔性显示组件的第三结构示意图。
72.可以理解的是，通过真空系统等装置对第二腔体112进行抽真空操作，提高第二腔体112的真空度。此时，第二腔体112内的气体自单向阀12向第二腔体112的方向流动，并流出第二腔体112，如图5所示。
73.当第二腔体112的真空度达到一定数值时，第二腔体112内的气体产生的压力使得单向阀12打开。第一腔体111和第二腔体112连通。第一腔体111内的气体开始向第二腔体112流动，第一腔体111的真空度随之提高，如图6所示。此时，第一腔体111内产生负压。该负压使得治具平台10可平整严密的吸附柔性显示组件20。
74.进一步的，通过向第二腔体112注入空气，降低第二腔体112的真空度，则第二腔体112内的气体产生的压力降低，单向阀12关闭，如图7所示。此时，第一腔体111内仍保持一定的真空度，即第一腔体111内仍保持负压，治具平台10继续吸附柔性显示组件20。
75.需要说明的是，第一腔体111和第二腔体112的真空度大小部分取决于治具平台10的结构精密度。因此，可根据实际情况利用真空表等仪器测试第一腔体111以及第二腔体112的真空度，并判断其与单向阀12打开与否的关系。
76.比如，在本技术一实施例中，通过真空表测量到第二腔体112的真空度达到-70千帕时，单向阀12打开。第一腔体111和第二腔体112连通。第一腔体111的真空度开始提高。其中，可以理解的是，-70千帕为通过真空表测量到的第二腔体112内的真空压力，表示第二腔体112内的压力低于对应大气压力的数值的负值，也就是真空度的负值。当第一腔体111的真空度继续提高，第二腔体112内的真空压力达到-80千帕时，第一腔体111和第二腔体112的真空度保持稳定，治具平台10可平整严密的吸附柔性显示组件20。然后，降低第二腔体112的真空度，当第二腔体112的真空压力小于-70千帕时，单向阀12关闭。此时，第一腔体111内仍保持负压，治具平台10与柔性显示组件20之间还有一定的真空度，治具平台10继续吸附柔性显示组件20。
77.请继续参阅图1和图2，在本技术中，气体通道11设置有多个。多个气体通道11阵列排布。具体的，气体通道11可以设置为2个、3个、6个、10个、20个、30个等。本技术设置多个阵列排布的气体通道11，可以提高治具平台10的吸附均匀性，使得柔性显示组件20平整贴附在第一表面10a上。
78.其中，相邻气体通道11之间的距离可根据气体通道11对柔性显示组件20的吸附能力进行设置。可以理解的是，相邻气体通道11之间的距离越小，气体通道11的分布密度越大，则对柔性显示组件20的吸附能力越强。
79.其中，多个气体通道11的开口可以呈方形、圆形等。多个气体通道11的开口大小可根据治具平台本体110的尺寸等进行设置，本技术对此不作限定。进一步的，多个气体通道11的孔径相同。该设置可以进一步提高治具平台10的吸附均匀性，使得柔性显示组件20平整贴附在第一表面10a上。
80.当然，在本技术其它实施例中，气体通道11也可以设置为一个。当气体通道11为一个时，为了提高治具平台10的吸附能力，可以增大气体通道11的孔径。
81.请继续参阅图3，在本技术一些实施例中，第一腔体111和第二腔体112共轴设置，第二腔体112与第二表面10b连通。即第一腔体111和第二腔体112贯穿治具平台本体110。该设置结构简单，可一体化形成第一腔体111和第二腔体112，简化了制成工艺。
82.在本技术另一些实施例中，请参阅图8，图8是图2所示的治具平台沿xx’处的第二剖面结构示意图。与图3的不同之处在于，在本实施例中，第二腔体112位于治具平台本体110内。治具平台本体110上设有至少一抽气口13。抽气口13与第二腔体112连通。抽气口13用于对第二腔体112抽气，以提高第二腔体112的真空度。
83.其中，抽气口13可以设置为1个，也可设置为多个，具体可根据治具平台10的尺寸进行设定，以快速提高第二腔体112的真空度。
84.本实施例通过将第二腔体112设置在治具平台本体110内，并在治具平台本体110上设置至少一抽气口13，通过抽气口13可以方便快捷的提升第二腔体112的真空度。同时，
相对于第二腔体112与第二表面10b连通的结构，本实施例改善了抽真空时多个第二腔体112的密封性，降低了提高真空度的难度。
85.请参阅图9，图9是本技术提供的治具平台和柔性显示组件的第二结构示意图。与图1的不同之处在于，在本实施例中，治具平台本体110的外侧壁上对称设有第一凸起部14和第二凸起部15。第一凸起部14和第二凸起部15用于转移治具平台10。
86.其中，本技术对第一凸起部14和第二凸起部15的形状及尺寸均不作具体限定。第一凸起部14可以设置为一个，也可设置为多个。第二凸起部15可以设置为一个也可设置为多个。
87.本实施例可利用机械手臂等转移装置抓取第一凸起部14和第二凸起部15，实现对治具平台10的转移。同时，由于第一凸起部14和第二凸起部15对称设置于治具平台10的外侧壁上，在转移治具平台10时，第一凸起部14和第二凸起部15起到承载治具平台10和柔性显示组件20的作用，使得转移过程更加便捷。
88.本技术还提供一种柔性显示组件的转移方法。请参阅图10，图10是本技术提供的柔性显示组件的转移方法的第一流程示意图。该柔性显示组件的转移方法具体包括以下步骤：
89.101、将柔性显示组件放置于所述治具平台的第一表面上，所述柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，所述柔性显示器件朝向所述第一表面。
90.102、利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件。
91.具体的，提高第二腔体的真空度，以打开单向阀。此时，第一腔体和第二腔体连通。第一腔体的真空度随之提高。则柔性显示组件可平整吸附在治具平台上。
92.其中，当第二腔体的真空度大于或等于第一真空度时，单向阀打开。第一真空度为65千帕至75千帕。比如，当第二腔体的真空度为65千帕、70千帕、75千帕等时，单向阀打开。
93.103、对所述硬质基板与所述柔性显示器件进行预剥离处理。
94.具体的，可利用高能准分子激光器在硬质基板和柔性显示器件之间的界面进行激光扫描处理。激光穿透硬质基板聚焦至柔性衬底(图中未标示)与硬质基板的界面处，对柔性衬底整体进行扫描。由于柔性衬底由聚酰亚胺等有机材料形成，聚酰亚胺材料吸收激光能量，柔性衬底与硬质基板之间的键能被破坏。聚酰亚胺材料本身发生分解、碳化，并伴随着少量气体的释放，从而使得柔性显示器件与硬质基板之间形成分离状态。
95.104、转移吸附有所述柔性显示组件的所述治具平台。
96.具体的，降低第二腔体的真空，使得单向阀关闭。当单向阀关闭后，第一腔体内仍具有一定真空度，继续保持负压。此时，治具平台与柔性显示组件保持吸附贴合，便于后续将治具平台和柔性显示组件进行转移。其中，当第二腔体的真空度小于第一真空度时，单向阀关闭。
97.然后，可利用具有夹持结构的机械手臂转移吸附有柔性显示组件的治具平台。在将柔性显示组件转移至另一操作平台后，需要将硬质基板完全剥离，以得到柔性显示器件。比如，可以采用刀片分离，即使用刀片插入到柔性显示器件和硬质基板之间，然后机械臂带动刀片划过即可完成硬质基板的剥离。
98.在本技术提供的柔性组件的转移方法中，当转移硬质基板和柔性显示器件已分离的柔性显示组件时，通过转移治具平台转移柔性显示组件，避免了夹持等机械动作对柔性
显示组件产生损害。同时，由于柔性显示组件被吸附在治具平台上，因此能确保搬运过程中硬质基板和柔性显示器件不会发生脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件。
99.请参阅图11，本技术还提供一种柔性显示组件的剥离转移系统1000。柔性显示组件的剥离转移系统1000包括治具平台10、第一剥离平台30、激光扫描组件50和第二剥离平台40。
100.治具平台10为上述任一实施例所述的治具平台10，具体请参阅上述内容，在此不再赘述。治具平台10用于放置柔性显示组件，柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，柔性显示器件朝向治具平台的第一表面10a。
101.第一剥离平台30用于放置治具平台10。治具平台10的第二表面10b与第一剥离平台30贴合。其中，第一剥离平台30可以是激光剥离平台，用于进行激光剥离操作。需要说明的是，激光剥离平台为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
102.激光扫描组件50用于对柔性显示器件和硬质基板之间的界面进行激光扫描处理。激光扫描组件可以设置在第一剥离平台30上，也可以独立设置。激光扫描组件50的工作原理以及具体结构为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
103.第二剥离平台40用于承载经第一剥离平台30转移的治具平台10和柔性显示组件，还用于对经过激光扫描处理的柔性显示组件进行机械剥离处理，以将柔性显示器件和硬质基板分离。其中，第二剥离平台40可以是膜层剥离平台。
104.本技术提供的柔性显示组件的剥离转移系统1000可以对柔性显示组件进行激光剥离操作。且由于柔性显示组件的剥离转移系统1000包括治具平台10，当转移硬质基板和柔性显示器件已分离的柔性显示组件时，通过转移治具平台10转移柔性显示组件，避免了夹持等机械动作对柔性显示组件产生损害。同时，由于柔性显示组件被吸附在治具平台10上，因此能确保搬运过程中硬质基板和柔性显示器件不会发生脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件。
105.进一步的，本技术以下实施例将利用本技术提供的柔性显示组件的剥离转移系统对柔性显示组件的转移方法进行详细描述，但不能理解为对本技术的限定。
106.具体的，请参阅图12，图12是本技术提供的柔性显示组件的转移方法的第二流程示意图。该柔性显示组件的转移方法具体包括以下步骤：
107.201、将治具平台放置于第一剥离平台上，所述第二表面与所述第一剥离平台贴合，所述第一剥离平台上设有多个真空通道，所述真空通道与外部空气连通。
108.具体的，如图13和图14所示，可利用机械手臂等转移装置将治具平台10放置于第一剥离平台30上。治具平台10的第二表面10b与第一剥离平台30贴合。
109.其中，治具平台10为本技术上述任一实施例所述的治具平台10，具体可参阅上述内容，在此不再赘述。
110.其中，第一剥离平台30为激光剥离平台，用于进行激光剥离操作。第一剥离平台30上设有多个真空通道31，真空通道31与外部空气连通。真空通道31的数量和孔径可根据第一剥离平台30的尺寸进行设置。需要说明的是，激光剥离平台为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
111.202、将柔性显示组件放置于所述第一表面上，所述柔性显示组件包括叠层设置的柔性显示器件和硬质基板，所述柔性显示器件与所述第一表面贴合。
112.如图15所示，柔性显示组件20包括层叠设置的硬质基板21和柔性显示器件22。柔性显示器件22包括但不限于依次叠层设置于硬质基板21上的柔性衬底、阵列层、发光层、封装层以及偏光片。柔性显示器件22和硬质基板21的膜层结构及设置位置可参阅上述实施例，在此不再赘述。
113.具体的，可通过机械手臂等转移装置将柔性显示组件20转移至治具平台本体110的第一表面10a上。可以理解的是，由于此时的硬质基板21和柔性显示器件22之间还未分离。因此，直接通过机械手臂等转移装置移动柔性显示组件20，不会对其产生损伤。
114.203、利用所述治具平台吸附所述柔性显示组件。
115.在本技术一些实施例中，如图16所示，当第一腔体111和第二腔体112共轴设置，第二腔体112与第二表面10b连通时，第二腔体112与至少一真空通道31连通。此时，步骤203具体为：
116.2031、通过所述真空通道对所述气体通道进行抽真空，提高所述第二腔体的真空度，以打开所述单向阀，并使所述第一剥离平台吸附所述治具平台和所述柔性显示组件。
117.具体的，开启第一剥离平台30的真空系统，通过真空通道31对气体通道11进行抽真空，提高第二腔体112的真空度，以打开单向阀12。此时，第一腔体111和第二腔体112连通。第二腔体112的真空度逐渐提高。治具平台10和柔性显示组件20均被吸附在第一剥离平台30上。
118.进一步的，第一剥离平台30内可设置至少一条连通孔32。连通孔32用于将真空通道31与外界空气连通。第一剥离平台30的真空系统可与连通孔32连接，进而对真空通道31进行抽真空操作。连通孔32的数量以及尺寸可根据实际情况进行设定，本技术对此不作具体限定。
119.具体的，当第二腔体112的真空度大于或等于第一真空度时，单向阀12打开，并用于控制气体从第一腔体111通入至第二腔体112。当第二腔体112的真空度小于第一真空度时，单向阀12关闭。
120.其中，第一真空度为65千帕至75千帕。具体的，第一真空度可以为65千帕、70千帕、75千帕等。也即，通过真空表测得的第二腔体112内的真空压力可以为-65千帕、-70千帕、-75千帕等。当第二腔体112的真空度达到第一真空度时，单向阀12会保持打开状态，使得气体从第一腔体111通入至第二腔体112，从而降低第一腔体111内的真空度，达到吸附柔性显示组件20的目的。
121.需要说明的是，第一真空度的大小由单向阀12的结构决定。可以理解的是，打开具有不同结构的单向阀12所需要的压力不同，则真空度的大小也不等。
122.需要说明的是，第一剥离平台30具有真空系统，该真空系统可进行抽真空操作以及注入气体操作，此为本领域技术人员熟知的技术，在此不再赘述。
123.在本技术另一实施例中，如图17所示，当第二腔体112位于治具平台本体110内，治具平台10上设有至少一抽气口13，抽气口13与第二腔体112连通，抽气口13用于对第二腔体112抽气，以提高第二腔体112的真空度时，步骤203具体包括以下步骤：
124.2032、通过所述抽气口对所述气体通道进行抽真空操作，提高所述第二腔体的真空度，以打开所述单向阀，并使所述治具平台继续吸附所述柔性显示组件。
125.具体的，可以利用抽真空装置与抽气口13连接，通过抽气口13对气体通道11进行
抽真空，提高第二腔体112的真空度，以打开单向阀12。此时，第一腔体111和第二腔体112连通。第一腔体111的真空度逐渐提高。则柔性显示组件20可平整吸附在治具平台10上。
126.其中，该抽真空装置可以是额外提供的装置，也可以利用第一剥离平台30的真空系统，本技术对此不作具体限定。
127.2033、通过所述抽气口向所述气体通道注入空气，降低所述第二腔体的真空，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，所述治具平台与所述柔性显示组件保持吸附。
128.具体的，当治具平台10平整吸附柔性显示组件20后，可以将抽真空装置与抽气口13断开，使得抽气口13与外界空气连通，以破除第二腔体112的真空，使得单向阀12关闭。当单向阀12关闭后，第一腔体111内仍具有一定真空度，继续保持负压。此时，治具平台10与柔性显示组件20保持吸附贴合，便于后续将治具平台10和柔性显示组件20进行转移。
129.当然，在其它实施例中，还可以通过抽气口13向第二腔体112内注入空气，以提高降低第二腔体112的真空度的速度。
130.2034、开启所述第一剥离平台的真空系统，使所述第一剥离平台吸附所述治具平台。
131.具体的，当治具平台10和柔性显示组件20吸附贴合后，开启第一剥离平台30的真空系统，对真空通道31进行抽真空操作，使得第一剥离平台30吸附治具平台10。该步骤将治具平台10固定在第一剥离平台30上，可以避免治具平台10产生移动，从而提高后续步骤中激光剥离的精度。
132.当然，在本技术其它实施例中，可以省去步骤2034，以提高生产效率。可以理解的是，由于治具平台10具有一定的重量，相较于柔性显示组件20，治具平台10较难在第一剥离平台30上发生移动。而柔性显示组件20已经在步骤2033中被吸附在治具平台10上，因此省去步骤2034，也可以保证后续步骤中激光剥离的精度。
133.204、通过所述第一剥离平台对所述硬质基板与所述柔性显示器件进行预剥离处理。
134.具体的，利用第一剥离平台30的高能准分子激光器在硬质基板21远离柔性衬底(图中未标示)的一侧照射激光。激光穿透硬质基板聚焦至柔性衬底与硬质基板21的界面处，对柔性衬底整体进行扫描。由于柔性衬底由聚酰亚胺等有机材料形成，聚酰亚胺材料吸收激光能量，柔性衬底与硬质基板21之间的键能被破坏。聚酰亚胺材料本身发生分解、碳化，并伴随着少量气体的释放，从而使得柔性衬底与硬质基板21之间形成分离状态。
135.需要说明的是，一般来说在进行llo激光剥离时会控制激光能量，使得柔性显示器件22和硬质基板21间仍存在一定的黏连而不是完全分离，以进一步降低后续移动过程中柔性显示器件22和硬质基板21发生脱落或相对位移的几率。
136.此外，如上所述，当步骤203为步骤2031时，在步骤204后还包括以下步骤：
137.2041、通过所述真空通道向所述气体通道注入空气，降低所述第二腔体的真空，所述单向阀关闭，所述第一腔体内保持负压，所述第一剥离平台与所述治具平台分离，所述治具平台与所述柔性显示组件保持吸附。
138.具体的，开启第一剥离平台30的真空系统，通过真空通道31向气体通道11注入空气，降低第二腔体112的真空度，单向阀12关闭。当单向阀12关闭后，第一腔体111内仍具有一定真空度，继续保持负压。
139.该步骤使得第一剥离平台30与治具平台10分离，治具平台10与柔性显示组件20保持吸附贴合，便于后续将吸附有柔性显示组件20的治具平台10转移。
140.205、将吸附有所述柔性显示组件的所述治具平台转移至第二剥离平台。
141.如图18所示，第二剥离平台40为膜层剥离平台。在转移之前，由于治具平台10与柔性显示组件20仍具有一定真空度，因此治具平台10继续平稳吸附柔性显示组件20。则利用机械手臂等转移装置将治具平台10转移至第二剥离平台40，即实现了柔性显示组件20的转移。此外，为了进一步保证转移的稳定性，可利用具有夹持结构的机械手臂进行搬送。
142.具体的，在本技术一些实施例中，步骤205具体包括以下步骤：
143.2051、将吸附有所述柔性显示组件的所述治具平台垂直抬升。
144.具体的，请同时参阅图19，第一剥离平台30包括至少一个伸缩台33。伸缩台33位于相邻真空通道31之间。通过调整伸缩台33的伸缩长度，将治具平台10垂直抬升。
145.当然，伸缩台33也可以垂直设置在第一剥离平台30的上方。此时，伸缩台33可采用真空吸盘或者挂钩等结构，本技术对此不作具体限定。
146.2052、将抬升的吸附有所述柔性显示组件的所述治具平台转移至第二剥离平台。
147.具体的，可利用机械手臂等转移装置将治具平台10与柔性显示组件20转移至第二剥离平台40。
148.本实施例使用伸缩台33将治具平台10抬起，使得机械手臂可以从伸缩台33的间隙插入，便于承载治具平台10，从而使转移过程更加便捷。
149.在本技术另一实施例中，请同时参阅图9，当治具平台本体110的外侧壁上对称设有第一凸起部14和第二凸起部15，第一凸起部14和第二凸起部15用于转移治具平台10时，步骤205可以是利用机械手臂抓取第一凸起部14和第二凸起部15，以将治具平台10与柔性显示组件20转移至第二剥离平台。
150.本实施例相较于利用伸缩台33将治具平台10抬起的方案，可以省去控制伸缩台33伸缩的步骤，简化了工艺制程。并且，由于第一凸起部14和第二凸起部15设置在治具平台本体110的外侧壁上，机械手臂更易于抓取，进一步提高转移的便捷性。
151.此外，在将柔性显示组件20转移至第二剥离平台后，需要将硬质基板21剥离，以得到柔性显示器件22。比如，可以采用刀片分离，即使用刀片插入到柔性显示器件22和硬质基板21之间，然后机械臂带动刀片划过即可完成硬质基板21的剥离。柔性显示器件22可以是一种柔性显示面板，也可以是一种柔性有机发光二极管(organic light-emitting diode,oled)显示面板或者有源矩阵有机发光二极管(active-matrix organic light-emitting diode,amoled)显示面板，本技术对此不作具体限定。
152.在本技术提供的柔性组件的转移方法中，当转移硬质基板21和柔性显示器件22已分离的柔性显示组件20时，通过转移治具平台10转移柔性显示组件20，避免了夹持等机械动作对柔性显示组件20产生损害。同时，由于柔性显示组件20被吸附在治具平台10上，因此能确保搬运过程中硬质基板21和柔性显示器件22不会发生脱落和相对移位，从而平稳地转移柔性显示组件20。
153.以上对本技术提供的治具平台、柔性显示组件的转移方法以及剥离转移系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，
依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。