单介电准分子灯系统和方法与流程

1.本公开的实施方式总体上涉及诸如可以被用于对载具内的结构和区域或者其它封闭空间进行消毒的(例如，用于消毒系统的)准分子灯，更特别地，涉及提供具有简化制造和降低生产成本的这种灯的系统和方法。


背景技术：

2.诸如商用飞机的载具被用于在不同地点之间运载乘客。目前正在开发系统来对飞机内的表面进行灭菌或者以其它方式进行消毒，例如所述系统使用紫外(uv)光。除飞机外，uv光还可以被用于其它应用，以对表面或物体进行灭菌或消毒。
3.例如，可以利用约222纳米波长的uv光。然而，生成这种波长的已知灯通常由两个同心石英管组成，这两个同心石英管一个位于另一个内部。这种灯可以以相对高的电压工作和/或制造成本高或制造复杂。


技术实现要素：

4.需要一种提供容易生产和使用的消毒用uv灯的系统和方法。
5.考虑到这些需要，本公开的某些实施方式提供了一种准分子灯，该准分子灯包括：介电管、端盖、导电中空管以及电极栅。介电管具有封闭端和开口端，并且限定了腔室。端盖密封地覆盖开口端。导电中空管穿过端盖并且进入介电管的腔室中，并且在导电中空管的外表面与介电管的内表面之间限定了容积。该容积被配置成保持气体。在介电管的外表面上设置电极栅。
6.本公开的某些实施方式提供了一种组装准分子灯的方法。所述方法包括以下步骤：提供介电管，该介电管具有封闭端和开口端。介电管限定了腔室。所述方法还包括以下步骤：固定端盖，以覆盖开口端。此外，所述方法包括以下步骤：将导电中空管引入到腔室中。导电中空管穿过端盖并且进入介电管的腔室中。在导电中空管的外表面与介电管的内表面之间限定了容积。所述方法还包括以下步骤：在介电管的外表面上设置电极栅。而且，所述方法包括以下步骤：将气体引入到所述容积中。
附图说明
7.图1例示了根据本公开的实施方式的准分子灯的示意性侧图。
8.图2例示了图1的准分子灯的端截面图。
9.图3例示了根据本公开的实施方式的冷却管的端截面图。
10.图4例示了图3的冷却管的侧视图。
11.图5例示了根据本公开的实施方式的冷却管的侧视图。
12.图6例示了图1的准分子灯的另选实施方式的端截面图。
13.图7例示了根据本公开的实施方式的方法的流程图。
14.图8例示了根据本公开的实施方式的飞机的立体正视图。
15.图9a例示了根据本公开的实施方式的飞机的内舱的俯视平面图。
16.图9b例示了根据本公开的实施方式的飞机的内舱的俯视平面图。
17.图10例示了根据本公开的实施方式的飞机的内舱的立体内部视图。
18.图11例示了飞机的内舱内的卫生间的立体内部视图。
具体实施方式
19.当结合附图阅读时，前述摘要以及具体实施方式的下列详细描述将得到更好的理解。如本文所使用的，按单数形式陈述并且以不定冠词(“a”或“an”)开始的部件或步骤应被理解为不必排除多个所述部件或步骤。而且，引用“一个实施方式”不是旨在被解释为排除存在也并入所陈述的特征的附加实施方式。此外，除非相反地明确规定，“包括”或“具有”含有特殊状况的要素或多个要素的实施方式可以包括不含有该状况的附加要素。
20.本公开的某些实施方式提供了一种易于制造且使用方便的222nm uv灯。例如，各种实施方式提供了这样一种单介电准分子灯，即，该单介电准分子灯消除了常规灯的多个玻璃层中的一个玻璃层，并且利用金属盖(例如，通过铜焊)密封石英管的开口端。玻璃层的消除降低了使灯工作所需的电压，并且降低了灯的生产成本。在各种实施方式中，如本文所公开的准分子灯可以与例如用于飞行器内部的便携式uv伸长杆(wand)系统结合使用。可以针对不同的尺寸配置各种实施方式。
21.各种实施方式提供了准分子uv灯和/或用于制造准分子uv灯的方法。各种实施方式中的灯包括石英管，该石英管一端封闭，并且具有被铜焊或焊接至另一开口端的金属盖或端件，以在管上提供密封(例如，气密密封)。金属盖或端件可以利用诸如kovar的材料或者与石英的热膨胀系数匹配的其它材料来制成。金属盖或端件具有开孔(opening)，该开孔可使不锈钢管插入金属端件，并且不锈钢管延伸到石英管的内腔中。将不锈钢管焊接或铜焊至金属盖或端件。可以利用间隔件(例如，圆圈形间隔件)将不锈钢管支承或保持在适当位置。在各种实施方式中，不锈钢管的两端在组装时最初是打开的。将不锈钢管插入石英管内的间隔件的开孔中，并且间隔件在石英管的封闭端附近抵靠或邻接该石英管的内表面。
22.准分子灯还包括导电栅(conductive grid)。在各种实施方式中，将导电栅形成为石英管的一部分，连接至石英管，或者以其它方式设置在石英管的外部或外表面上。例如，导电网栅(mesh grid)可以由细导线的编织金属织物制成，该细导线的编织金属织物可以被印刷在石英管的外表面上。在一些实施方式中，还可以将带通滤波器应用于石英管的外表面。
23.不锈钢管充当电极。在一些实施方式中，还使用不锈钢管以向腔室的内部真空填充气体(例如，氪氯气(krypton chlorine gas))。例如，可以将气体管线附接至不锈钢管的伸出石英管的开口端，并且将气体经由不锈钢管引入到腔室中。一旦腔室具有所需量的气体(例如，已经达到所需压力)，就可以将不锈钢管的开口端压接(crimped)或者以其它方式密封以保持腔室中的气体。可以将电极(例如，导电网栅和不锈钢管)联接至电源以使灯工作。例如，可以将接地连接器连接至导电网栅，并且可以将电源的高压引线焊接或压接到不锈钢管上。
24.在一些实施方式中，不锈钢管可以在位于石英管内部的部分中具有穿过该不锈钢管的壁的小孔，以促进腔室内的气体流动。另外或者另选地，在一些实施方式中，准分子灯
适于或被配置成可允许冷却液通过不锈钢管流动。
25.图1例示了准分子灯100的示意性侧视图，图2例示了准分子灯100的端截面图。如在图1和图2中看到，所描绘的示例准分子灯100包括：介电管110、端盖120、导电中空管130以及电极栅140。所例示的示例准分子灯100还包括间隔件190，该间隔件有助于定位和支承介电管110内部的导电中空管130。通常，在电极栅140与导电中空管130之间施加电压，以使从保持在介电管110中的气体发射uv光。
26.介电管110具有封闭端112以及位于介电管110的相反端的开口端114。介电管110在封闭端112与开口端114之间限定了腔室111。在例示示例中，介电管110为圆柱形或者具有圆形横截面，并且沿轴线115延伸。介电管110具有朝着介电管110的内部或者朝着轴线115取向的内表面116。介电管110还具有远离介电管110的内部或者轴线115取向的外表面118。各种实施方式中的介电管110是由透明材料制成的，并且具有足够的厚度以及使准分子灯100起作用的介电特性。作为一个示例，介电管110可以由石英玻璃制成，或者作为另一示例，可以由熔融硅玻璃制成。
27.将端盖120靠近介电管110的开口端114连接至该介电管110。将所描绘的端盖120连接至介电管110以密封地覆盖开口端114，以在准分子灯100工作期间保持介电管110内的气体。例如，可以将端盖120铜焊至介电管以提供密封。在例示示例中，端盖120是圆盘形以匹配所描绘的介电管110的圆形横截面。端盖120可以由金属制成。在一些实施方式中，端盖120的热膨胀系数与介电管110的热膨胀系数相对应。例如，在一些实施方式中，端盖120由诸如kovar的金属制成以匹配石英管的热膨胀系数。
28.导电中空管130穿过端盖120并且进入介电管110的腔室中。导电中空管130是由诸如金属(例如，不锈钢)的导电材料制成的。导电中空管130具有位于介电管110内部(或者靠近封闭端112)的远端132，以及位于介电管110外部(或者靠近开口端114)的近端134。在导电中空管130与端盖120之间提供密封。例如，各种实施方式中的端盖120具有预制开孔，导电中空管130的远端132可以穿过该预制开孔。一旦导电中空管130处于希望的位置，就可以将中空管130密封地联接至端盖120(例如，通过铜焊)。
29.导电中空管130具有外表面133和内表面135。在导电中空管130的外表面133与介电管110的内表面116之间限定了容积113。将容积113配置成保持气体(例如，氪氯气)。在例示示例中，导电中空管130具有像介电管110一样的圆形横截面，从而可使在导电中空管130与设置在介电管110上的电极栅140之间具有均匀的间距。
30.在各种实施方式中，将导电中空管130在至少一个端部上封闭。例如，导电中空管130可以在组装的初始时间在两端开口。在将导电中空管130连接至端盖120之后，可以将导电中空管130用作填充管以向容积113供应气体。一旦将气体供应到该容积，就可以将导电中空管130在近端134处进行封闭(例如，通过压接)以防止气体从容积113逸出。
31.在一些实施方式中，导电中空管130包括主体136。主体136包括穿过主体136(例如，沿大致垂直于轴线115的方向)的流通孔138。在准分子灯100工作期间，流通孔138可使气体通过导电中空管130。
32.在一些实施方式中，如本文所讨论的(例如，结合图3至图5)，可以将导电中空管130在远端132处封闭(例如，为了便于使用流动通过导电中空管130的冷却流体，同时防止导电中空管130中的冷却流体与容积113中的气体混合)。在这样的实施方式中，可以使用单
独的填充管(未示出)来向容积113填充气体。
33.在一些实施方式中，将导电中空管130配置成可允许冷却流体通过。例如，可以将导电中空管130联接至冷却剂源，该冷却剂源向导电中空管130供应流体和从导电中空管130去除流体。冷却流体可以是液体，或者作为另一示例，可以是空气(例如，环境空气)。在一些实施方式中，可以在导电中空管内使用管以帮助提供和/或引导冷却流体在导电中空管130内流动。在导电中空管130内(并因此在介电管110内)使用冷却可使对准分子灯100进行冷却而不会中断或阻挡从准分子灯100发射的光，如果利用外部冷却布置，则可能会导致中断或阻挡从准分子灯100发射的光。
34.图3提供了设置在示例导电中空管130内的冷却管150的端截面图，图4提供了冷却管150的侧截面图。在图3和图4所描绘的示例中，将冷却管150设置在导电中空管130内。将导电中空管130的远端132进行封闭以防止导电中空管130内的冷却流体与容积113内的气体混合。导电中空管130的近端134是开放的以允许放置冷却管150，并且使冷却流体流入或流出导电中空管130。
35.如在图4中最佳地看到，冷却管150具有远端152和近端154。在例示示例中，远端152和近端154均是开放的以使冷却流体流动。例如，可以将冷却流体经由冷却管150的近端154引入到冷却管150中，流过冷却管150的远端153进入导电中空管130的远端部分，并且沿着路径199经由导电中空管130的近端134流出导电中空管130。在其它的实施方式中，该流动可能与图4所示的流动相反。
36.在其它的实施方式中，可以将冷却管150的远端152进行封闭。例如，图5提供了具有封闭端的示例冷却管150的侧视图。图5的所描绘的示例冷却管150包括冷却套管156。冷却套管156限定了冷却管150的主体并且包括穿过冷却套管156的冷却剂开孔158。冷却剂开孔可允许冷却流体通过冷却管150的内部进入被限定在冷却管与导电中空管130的内表面之间的空间。
37.继续参照图1和图2，在例示示例中，准分子灯100包括间隔件190，该间隔件是环绕导电中空管130的外表面133装配的，并且处于介电管的内表面116内。所描绘的间隔件190是圆环(或圆圈形)以匹配介电管110和导电中空管130两者的横截面。例如，可以由聚四氟乙烯(teflon)制成的间隔件有助于将导电中空管130定位和支承在介电管110内。
38.在介电管110的外表面118上设置电极栅140，并且介电管110的主体和容积113内的气体是介于电极栅140与导电中空管130之间的。将导电中空管130和电极栅140联接至电源，并且充当被用于使容积113中的气体发射uv光的电极。在所例示的实施方式中，将电极栅140联接至接地导体160，并且将导电中空管130联接至正导体。
39.电极栅140可以与介电管110成一体或者与介电管一起形成或者被涂敷在介电管110上，或者在各种实施方式中可以是单独的物理组件。例如，在一些实施方式中，电极栅140包括被涂敷至介电管110的外表面118的印刷线路144(为了便于描绘准分子灯100的内部部分，图1仅示出了印刷线路144的一部分)。
40.作为另一示例，可以使用单独的物理结构来提供电极栅140。例如，图6提供了示例准分子灯100的端视图，该示例准分子灯包括电极栅140，该电极栅包括套管170。套管170装配在介电管110周围，以将电极栅140靠近介电管110的外表面118定位。在例示示例中，图6的准分子灯100包括带通滤波器180，该带通滤波器是靠近电极栅140设置的，并且运行以限
制由准分子灯100发射的波长。在一些实施方式中，例如，可以在将套管170放置就位之前，将带通滤波器180印刷或以其它方式形成在介电管110的外表面118上。
41.图7提供了用于组装准分子灯(例如，准分子灯100)的方法700的流程图。各种实施方式中的方法700利用和/或提供上面结合本文所讨论的示例准分子灯100而讨论的一个或多个方面。可以注意到，在各种实施方式中可以添加或省略步骤，和/或可以以与图7所示不同的次序来执行各种步骤。
42.在702，提供介电管(例如，介电管110)。介电管具有封闭端和开口端，并且限定了腔室。例如，介电管可以由石英玻璃或其它透明的介电材料形成。
43.在704，将端盖(例如，端盖120)固定至介电管的开口端。例如，可以将端盖铜焊至介电管以提供密封。
44.在706，将导电中空管(例如，导电中空管130)引入到腔室中。导电中空管穿过端盖并且进入介电管的腔室中。例如，可以将导电中空管插入端盖的开孔，并且一旦导电中空管处于所需位置，就铜焊至端盖以提供密封。在一些实施方式中，将间隔件(例如，间隔件190)用于定位和/或支承导电中空管。在将导电中空管定位在腔室中之后，在导电中空管的外表面与介电管的内表面之间限定了容积。将该容积用于在准分子灯工作期间保持气体。
45.在例示示例的708处，将带通滤波器(例如，带通滤波器180)靠近介电管的外表面设置。例如，可以将带通滤波器印刷在外表面上。
46.在710，将电极栅(例如，电极栅140)靠近介电管的外表面设置(例如，设置在该外表面上)。电极栅可以通过处于外表面上的印刷线路来提供，或者作为另一示例，可以通过定位包围介电管的外表面的至少一部分的套管来提供。例如，在利用带通滤波器的实施方式中，可以将带通滤波器印刷在外表面上，然后可以将包含电极栅的套筒定位在外表面上。
47.在一些实施方式中可以提供准分子灯的冷却。例如，在一些实施方式中，在712，将冷却管(例如，冷却管150)定位在导电中空管内。
48.在714，将气体(例如，氪氯气)引入到该容积中。例如，可以将气体经由导电中空管引入到容积中。
49.在716，导电中空管130在至少一个端部上进行了封闭。例如，在向腔室填充了气体之后，可以将导电中空管的近端进行封闭以提供密封，从而将气体保持在介电管的腔室中。在使用冷却管的实施方式中，导电中空管可以具有封闭远端，并且引入气体的单独填充管在所需量的气体进入腔室之后被压接或以其它方式进行密封。
50.接下来，可以将电极栅和导电中空管联接至电源。在例示示例中，在718，将电极栅140联接至接地导体，并且在720，将导电中空管130联接至正导体。可以向充当准分子灯的电极的导电中空管和电极栅施加电压，从而使气体发射uv线。
51.图8例示了根据本公开的实施方式的飞机210的立体正视图。飞机210例如包括推进系统212，该推进系统包括发动机214。可选地，该推进系统212可以包括比所示更多的发动机14。发动机214是通过飞机210的机翼216承载的。在其它的实施方式中，发动机214可以通过机身218和/或尾翼220来承载。尾翼220还可以支承水平稳定器222和竖直稳定器224。
52.飞机210的机身218限定了内舱230，该内舱包括驾驶舱或座舱(cockpit)、一个或更多个工作区(例如，厨房、人员随身行李区等)、一个或更多个乘客区(例如，头等舱、商务舱以及二等舱)、一个或更多个洗手间等。内舱230包括一个或更多个卫生间系统、卫生间单
元或卫生间，如本文所描述的。
53.另选地，代替飞机地，本公开的实施方式可以与各种其它载具一起使用，诸如汽车、公共汽车、机车和火车车厢、船只等。此外，本公开的实施方式可以针对固定结构(诸如商业和住宅建筑)来使用。
54.图9a例示了根据本公开的实施方式的飞机的内舱230的俯视平面图。内舱230可以处于飞机的机身232内，诸如图8的机身218。例如，一个或更多个机身壁可以限定内舱230。内舱230包括多个区段，所述多个区段包括前部区233、头等舱区234、商务舱区236、前厨房站238、超级经济舱或二等舱区240、标准经济舱或二等舱区242以及可以包括多个卫生间和厨房站的后部区244。要理解，内舱230可以包括比所示更多或更少的区段。例如，内舱230可以不包括头等舱区和/或可以包括比所示更多或更少的厨房站。这些区段中的各个区段皆可以通过机舱过渡区246分隔开，机舱过渡区可以包括处于过道248之间的舱类分隔物组件。
55.如图9a所示，内舱230包括通向后部区244的两条过道250和252。可选地，内舱230可以具有比所示过道少或多的过道。例如，内舱230可以包括延伸通过内舱230的中心的单条过道，该单条过道通向了后部区244。
56.过道248、250以及252延伸至出口路径或门通道260。出口门262位于出口路径260的末端。出口路径260可以垂直于过道248、250以及252。内舱230可以在不同位置包括比所示出口路径多的出口路径260。可以将参照图1至图11所示和描述的便携式消毒系统100用于对内舱230内的各种结构(诸如乘客座位、徽章、行李架组件、卫生间内外的组件、厨房设备和组件等)进行消毒。
57.图9b例示了根据本公开的实施方式的飞机的内舱280的俯视平面图。内舱280是图8中所示的内舱230的示例。内舱280可以处于飞机的机身281内。例如，一个或更多个机身壁可以限定内舱280。内舱280包括多个区段，所述多个区段包括：具有乘客座位283的主舱282，以及在主舱282后面的后部区285。要理解，内舱280可以包括比所示更多或更少的区段。
58.内舱280可以包括通向后部区285的单过道284。单过道284可以延伸穿过内舱280的中心并通向后部区285。例如，单过道284可以与内舱280的中央纵向平面同轴对齐。
59.过道284延伸至出口路径或门通道290。出口门292位于出口路径290的末端。出口路径290可以垂直于过道284。内舱280可以包括比所示出口路径多的出口路径。可以将参照图1至图11所示和描述的便携式消毒系统100用于对内舱230内的各种结构(诸如乘客座位、徽章、行李架组件、卫生间内外的组件、厨房设备和组件等)进行消毒。
60.图10例示了根据本公开的实施方式的飞机的内舱300的立体内部视图。内舱300包括被连接至天花板304的外壁302。窗户306可以形成在外壁302内。地板308支承成排的座位310。如图10所示，排312可以包括在过道313两侧的两个座位310。然而，排312可以包括比所示座位多或少的座位310。另外，内舱300可以包括比所示过道多的过道。
61.乘客服务单元(psu)314被固定在过道313两侧的外壁302与天花板304之间。psu 314在内舱300的前端与后端之间延伸。例如，psu 314可以位于排312内的各个座位310上方。各个psu 314皆可以包括壳体316，该壳体316通常包含通风口、阅读灯、氧气袋吊板、乘务员请求按钮以及排312内的各个座位310(或座位组)的其它此类控制。
62.头顶行李架组件318在过道313两侧的psu 314上方和内侧被固定至天花板304和/或外壁302。头顶行李架组件318被固定在座位310上方。头顶行李架组件318在内舱300的前端与后端之间延伸。各个行李架组件318皆可以包括被枢转地固定至强力背板(在图10中的视图中隐藏)的枢转箱或斗320。头顶行李架组件318可以位于psu 314的下表面的上方和内侧。例如，头顶行李架组件318被配置为枢转打开以容纳乘客随身行李和个人物品。
63.如本文所使用的，术语“外侧”是指与另一组件相比更远离内舱300的中央纵向平面322的位置。术语“内侧”是指与另一组件相比更靠近内舱300的中央纵向平面322的位置。例如，psu 314的下表面可以相对于行李架组件318位于外侧。
64.可以将本文所讨论的准分子灯用于消毒内舱300内所示的各种结构。
65.图11例示了载具的内舱(诸如本文所描述的内舱中的任何内舱)内的卫生间330的内部立体图。卫生间330是诸如载具的内舱内的封闭空间、徽章或腔室的示例。如上所述，卫生间330可以在飞机上。可选地，卫生间330可以在各种其它载具上。在其它的实施方式中，卫生间330可以在固定结构内，诸如商业或住宅建筑。卫生间330包括底板331，该底板支承抽水马桶生间332、橱柜334以及水槽336或盥洗池。卫生间330可以与所示出的不同地设置。卫生间330可以包括比所示组件多或少的组件间。可以将本文所讨论的准分子灯用于消毒卫生间330内的各种结构、组件以及表面。
66.而且，本公开包括根据下列条款的示例：
67.条款1.一种准分子灯(100)，所述准分子灯包括：
68.介电管(110)，所述介电管具有封闭端(112)和开口端(114)，所述介电管(110)限定了腔室；
69.端盖(120)，所述端盖密封地覆盖所述开口端(114)；
70.导电中空管(130)，所述导电中空管穿过所述端盖(120)并且进入所述介电管(110)的腔室中，在所述导电中空管(130)的外表面(118)与所述介电管(110)的内表面之间限定了容积，所述容积被配置成保持气体；以及
71.电极栅(140)，所述电极栅设置在所述介电管(110)的外表面(118)上。
72.条款2.根据条款1所述的准分子灯(100)，其中，所述介电管(110)是由石英材料制成的。
73.条款3.根据条款1或2所述的准分子灯(100)，其中，所述端盖(120)被铜焊至所述介电管(110)。
74.条款4.根据条款1、2或3所述的准分子灯(100)，其中，所述端盖(120)的热膨胀系数与所述介电管(110)的热膨胀系数相对应。
75.条款5.根据条款1至4中的任一条款所述的准分子灯(100)，其中，所述导电中空管(130)是由不锈钢制成的。
76.条款6.根据条款1至5中的任一条款所述的准分子灯(100)，其中，所述导电中空管(130)在至少一个端部上进行了封闭。
77.条款7.根据条款6所述的准分子灯(100)，其中，所述导电中空管(130)包括套管，所述套管包括穿过所述套管的流通孔(138)。
78.条款8.根据条款7所述的准分子灯(100)，其中，所述导电中空管(130)被配置成允许冷却流体通过。
79.条款9.根据条款8所述的准分子灯(100)，所述准分子灯还包括冷却管(150)，所述冷却管设置在所述导电中空管(130)内。
80.条款10.根据条款9所述的准分子灯(100)，其中，所述冷却管(150)具有开放远端(132)。
81.条款11.根据条款9或10所述的准分子灯(100)，其中，所述冷却管(150)包括冷却套管(156)，所述冷却套管(156)包括穿过所述冷却套管(156)的冷却剂开孔。
82.条款12.根据条款1至11中的任一条款所述的准分子灯(100)，其中，所述电极栅(140)联接至接地导体，并且所述导电中空管(130)联接至正导体。
83.条款13.根据条款1至12中的任一条款所述的准分子灯(100)，其中，所述电极栅(140)包括印刷线路(144)，所述印刷线路被施敷至所述介电管(110)的外表面(118)。
84.条款14.根据条款1至13中的任一条款所述的准分子灯(100)，其中，所述电极栅(140)包括套管，所述套管是环绕所述介电管(110)的外表面(118)的至少一部分设置的。
85.条款15.根据条款1至12中的任一条款所述的准分子灯(100)，所述准分子灯还包括带通滤波器，所述带通滤波器是靠近所述电极栅(140)设置的。
86.条款16.一种提供准分子灯(100)的方法，所述方法包括以下步骤：
87.提供介电管(110)，所述介电管具有封闭端(112)和开口端(114)，所述介电管(110)限定了腔室；
88.固定端盖(120)，以覆盖所述开口端(114)；
89.将导电中空管(130)引入到所述腔室中，所述导电中空管(130)穿过所述端盖(120)并且进入所述介电管(110)的腔室中，在所述导电中空管(130)的外表面(118)与所述介电管(110)的内表面之间限定了容积；
90.在所述介电管(110)的外表面(118)上设置电极栅(140)；以及
91.将气体引入到所述容积中。
92.条款17.根据条款16所述的方法，其中，所述气体是经由所述导电中空管(130)引入所述容积中的。
93.条款18.根据条款16或17所述的方法，所述方法还包括以下步骤：将所述导电中空管(130)在至少一个端部上进行封闭。
94.条款19.根据条款16、17或18所述的方法，所述方法还包括以下步骤：将冷却管(150)定位在所述导电中空管(130)内。
95.条款20.根据条款16至19中的任一项所述的方法，所述方法还包括以下步骤：
96.将所述电极栅(140)联接至接地导体；以及
97.将所述导电中空管(130)联接至正导体。
98.虽然可以使用各种空间和方向术语(诸如顶部、底部、下部、中间、横向、水平、竖直、前部等)来描述本公开的实施方式，但是应理解，这些术语仅仅是相对于图中所示的取向来使用的。取向可以反转、旋转或者以其它方式改变，使得上部是下部，下部是上部、水平变成竖直等。
99.如本文所使用的，“被配置成”执行任务或操作的结构、限制或部件具体是按对应于该任务或操作的方式在结构上来形成、构造或适应的。出于澄清和避免疑惑的目的，只能够修改成执行任务或操作的对象没有“被配置成”执行如本文所使用的任务或操作。
100.要明白的是，上面的描述旨在进行例示而非加以限制。例如，上述实施方式(和/或其方面)可以彼此组合使用。另外，在不脱离本公开的范围的情况下，可以进行许多修改以使适应针对本公开的各种实施方式的教导的特殊情况或材料。虽然本文所述的材料的尺度和类型旨在对本公开的各种实施方式的参数进行限制，但这些实施方式决非进行限制，而是作为示例性实施方式。当回顾上述描述时，许多其它实施方式对于本领域技术人员将是显而易见的。因此，本公开的各种实施方式的范围应当参照所附权利要求连同授权了这种权利要求的等同物的全部范围来加以确定。在所附权利要求以及本文详细说明的描述中，术语“包括(including)”和“其中(in which)”被用作相应的术语“包括(comprising)”和“其中(wherein)”的纯英文等同物。此外，术语“第一”、“第二”以及“第三”等仅仅被用作标签，而非旨在将数值需求强加于它们的对象。此外，上面的权利要求的限制没有按装置加功能的格式来书写，并且不旨在基于35u.s.c.
§
112(f)来加以解释，除非这种权利要求限制明确地在缺乏进一步的结构的功能声明后面使用了短语“用于
…
的装置”。
101.本书面描述使用示例来对本公开的包括最佳模式的各种实施方式进行公开，并且还使得本领域任何技术人员都能够具体实践本公开的各种实施方式，包括制造和使用任何装置或系统以及执行任何并入的方法。本公开的各种实施方式的可专利化范围通过权利要求来限定，并且可以包括本领域技术人员想到的其它示例。如果这种其它示例具有与本权利要求的字面语言没有不同的结构性部件，或者如果所述示例包括与本权利要求的字面语言无实质差异的等同结构性部件，则这些示例处于本权利要求的范围内。