电源线结构的制作方法

1.本发明申请是关于一种电源线结构，特别关于一种可降低电磁干扰的电源线结构。


背景技术：

2.在随着半导体技术的发展，各种集成电路已被发展出来。在集成电路中，电源线所产生的磁场耦合效应，会对其他电子组件造成电磁干扰(electromagnetic interference，emi)。这些电磁干扰将会影响到整个集成电路的运作以及效能。


技术实现要素：

3.本发明的一些实施方式是关于一种电源线结构。电源线结构包含一介电层、一第一导电部件、一第二导电部件以及一第三导电部件。第一导电部件设置于介电层的一第一侧。第二导电部件设置于介电层的第一侧。第三导电部件设置于介电层的第一侧且位于第一导电部件与第二导电部件之间。第一导电部件以及该第二导电部件的电压为一地电压。第三导电部件用以接收一第一电源电压。
4.综上所述，本发明的电源线结构可有效地避免电源线对其他电子组件造成电磁干扰。
附图说明
5.为让本发明的上述和其他目的、特征、优点与实施例能够更明显易懂，将结合附图进行以下说明：图1a是依照本发明一些实施例所绘示的一电源线结构的示意图；图1b是依照本发明一些实施例所绘示的图1a的电源线结构的立体图；图2a是依照本发明一些实施例所绘示的一电源线结构的示意图；图2b是依照本发明一些实施例所绘示的图2a的电源线结构的立体图；图2c是依照本发明一些实施例所绘示的一电源线结构的示意图；图3a是依照本发明一些实施例所绘示的一电源线结构的示意图；图3b是依照本发明一些实施例所绘示的一电源线结构的示意图；图4a是依照本发明一些实施例所绘示的一电源线结构的示意图；以及图4b是依照本发明一些实施例所绘示的一电源线结构的示意图。
6.符号说明100：电源线结构110：导电部件120：导电部件130：导电部件140：介电层
150：信号线200、200-1：电源线结构210：导电部件210-1：导电部件220：导电部件220-1：导电部件230：导电部件240：介电层250：信号线260：导电部件300、300-1：电源线结构310：导电部件310-1：导电部件320：导电部件320-1：导电部件330：导电部件340：介电层350：信号线360：导电部件370：导电部件380：导电部件400：电源线结构410：导电部件410-1：导电部件420：导电部件420-1：导电部件430：导电部件440：介电层450：信号线460：导电部件vdd1：电源电压vdd2：电源电压vdd3：电源电压vdd4：电源电压vss：地电压x：方向y：方向z：方向h：高度
g1：间隔g2：间隔g3：间隔g4：间隔s1：宽度s2：宽度w：线宽
具体实施方式
7.下文是举实施例配合附图作详细说明，下述图标以及说明中相同组件或相似组件将以相同的符号标示，但所提供的实施例并非用以限制本发明所涵盖的范围，而结构及运作的描述非用以限制其执行顺序，任何由组件重新组合的结构，所产生具有均等功效的装置，皆为本发明所涵盖的范围。
8.在本发明中，使用第一、第二与第三等等词汇，是用于描述各种组件、组件、区域、层与/或区块是可以被理解的。但是这些组件、组件、区域、层与/或区块不应该被这些术语所限制。这些词汇只限于用来辨别单一组件、组件、区域、层与/或区块。因此，在下文中的一第一组件、组件、区域、层与/或区块也可被称为第二组件、组件、区域、层与/或区块，而不脱离本发明的本意。
9.于本发明中，除非内文中对于冠词有所特别限定，否则“一”与“该”可泛指单一个或多个。将进一步理解的是，本文中所使用的“包含”、“包括”、“具有”及相似词汇，指明其所记载的特征、区域、整数、步骤、操作、组件与/或组件，但不排除其所述或额外的其一个或多个其它特征、区域、整数、步骤、操作、组件、组件，与/或其中的群组。
10.参考图1a以及图1b。图1a是依照本发明一些实施例所绘示的电源线结构100的示意图。图1b是依照本发明一些实施例所绘示的图1a的电源线结构100的立体图。
11.以图1a以及图1b示例而言，电源线结构100包含导电部件110、导电部件120、导电部件130以及介电层140。在一些实施例中，介电层140沿方向x与方向y所形成的平面延伸。导电部件110、导电部件120以及导电部件130设置于介电层140的第一侧(例如：下侧)且接触介电层140的第一表面(例如：下表面)。换句话说，导电部件110、导电部件120以及导电部件130设置于介电层140的同一侧(例如：下侧)。
12.导电部件130用以接收电源电压vdd1以作为电源线。具体而言，导电部件130可与其他电子组件耦接以将接收到的电源电压vdd1提供给该些电子组件。导电部件130设置于导电部件110与导电部件120之间。导电部件110以及导电部件120的电压为地电压vss。在这种配置下，电源线结构100形成“交错式结构”。于此所称“交错式结构”是指作为提供电源电压vdd1的导电部件130与具有地电压vss的导电部件110/120交错设置。
13.如图1a以及图1b所示，导电部件130与导电部件110之间形成间隔g1，且导电部件130与导电部件120之间形成间隔g2。在一些实施例中，间隔g1的宽度s1与间隔g2的宽度s2相等。在一些实施例中，间隔g1的宽度s1以及间隔g2的宽度s2皆与导电部件130的线宽w相等。宽度s1、宽度s2以及线宽w的值可依实际应用进行设计。在一些其他的实施例中，间隔g1的宽度s1、间隔g2的宽度s2以及导电部件130的线宽w的值彼此不同。
14.在一些相关技术中，提供电源电压的导电部件为一板状(plane)结构且设置于介电层的上侧，而具有地电压的另一导电部件亦为一板状结构且设置于介电层的下侧。在这种配置中，提供电源电压的导电部件所产生的磁场耦合很容易对其他电子组件造成电磁干扰(electromagnetic interference，emi)。
15.相较于上述相关技术，在本发明的电源线结构100中，提供电源电压vdd1的导电部件130以及具有地电压vss的两导电部件110以及120设置于介电层140的同一侧，且提供电源电压vdd1的导电部件130设置于具有地电压vss的两导电部件110以及120之间。在这种配置中，可将导电部件130所产生的磁场耦合局限在两导电部件110与120之间。举例而言，导电部件130所产生的磁场耦合可被局限于间隔g1与间隔g2中，以避免导电部件130所产生的磁场耦合对其他电子组件造成电磁干扰。此外，由于导电部件130是设置于导电部件110与120之间，电源线结构100的体积并不会明显地增加。
16.在一些实施例中，电源线结构100还包含至少一信号线150。信号线150设置于介电层140的第二侧(例如：上侧)且接触介电层140的第二表面(例如：上表面)。信号线150可传输集成电路中的其他信号或数据。需特别注意的是，图1a的电源线结构100是以包含两条信号线150为例，但本发明不以此数量为限。
17.在一些实施例中，导电部件110、导电部件120以及导电部件130设置于第一金属层(例如：m1层)中。两条信号线150设置于第二金属层(例如：m2层)中。第一金属层与第二金属层的距离可等于介电层140的高度h。高度h的值可依实际应用进行设计。
18.参考图2a以及图2b。图2a是依照本发明一些实施例所绘示的电源线结构200的示意图。图2b是依照本发明一些实施例所绘示的图2a的电源线结构200的立体图。以图2a以及图2b示例而言，电源线结构200包含导电部件210、导电部件220、导电部件230、介电层240、至少一信号线250以及导电部件260。
19.导电部件210、导电部件220以及导电部件230设置于介电层240的第一侧(例如：下侧)且接触介电层240的第一表面(例如：下表面)。至少一信号线250以及导电部件260设置于介电层240的第二侧(例如：上侧)且接触介电层240的第二表面(例如：上表面)。导电部件230用以接收电源电压vdd1以作为电源线。具体而言，导电部件230可与其他电子组件耦接以将接收到的电源电压vdd1提供给该些电子组件。导电部件210、导电部件220以及导电部件260的电压为地电压vss。换句话说，导电部件210、导电部件220以及导电部件260的电压相同。
20.相似于图1a，导电部件230与导电部件210之间形成间隔g1，且导电部件230与导电部件220之间形成间隔g2。导电部件230所产生的磁场耦合会被局限于导电部件210与导电部件220之间。换句话说，导电部件230所产生的磁场耦合会被局限于间隔g1与间隔g2中，以避免导电部件230所产生的磁场耦合对其他电子组件造成电磁干扰。在一些实施例中，间隔g1的宽度s1与间隔g2的宽度s2相等。在一些实施例中，间隔g1的宽度s1以及间隔g2的宽度s2皆与导电部件230或导电部件260的线宽w相等。在一些其他的实施例中，导电部件230的线宽与导电部件260的线宽可不相等。宽度s1、宽度s2以及线宽w的值可依实际应用进行设计。
21.以图2a示例而言，导电部件260与导电部件230于方向z对齐，其中方向z垂直于方向x以及方向y。具体而言，导电部件260于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部
件230于此平面上的垂直投影完全重叠。在一些其他的实施例中，导电部件260于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部件230于此平面上的垂直投影为部分重叠。
22.在一些实施例中，导电部件210、导电部件220以及导电部件230设置于第一金属层(例如：m1层)中。两条信号线250以及导电部件260设置于第二金属层(例如：m2层)中。第一金属层与第二金属层的距离可等于介电层240的高度h。高度h的值可依实际应用进行设计。
23.相较于图1a中的电源线结构100，图2a中的电源线结构200还包含具有地电压vss的导电部件260，且导电部件260是相对于提供电源电压vdd1的导电部件230设置(例如：导电部件260与导电部件230于方向z对齐)，如此导电部件230所产生的磁场耦合可更有效地被限制。具体而言，导电部件230所产生的磁场耦合可被限制于导电部件210、导电部件220以及导电部件260之间的空间。
24.参考图2c。图2c是依照本发明一些实施例所绘示的电源线结构200-1的示意图。图2c的电源线结构200-1与图2a的电源线结构200之间的主要差异为，在2c图的电源线结构200-1中，导电部件210-1、导电部件220-1以及导电部件230皆具有线宽w。
25.在一些实施例中，导电部件210-1的宽度、导电部件220-1的宽度以及导电部件230的宽度可依实际应用进行设计。
26.参考图3a。图3a是依照本发明一些实施例所绘示的电源线结构300的示意图。以图3a示例而言，电源线结构300包含导电部件310、导电部件320、导电部件330、介电层340、多条信号线350、导电部件360、导电部件370以及导电部件380。
27.图3a中的导电部件310、导电部件320、导电部件330、介电层340、信号线350以及导电部件360的配置相似于图2a中的导电部件210、导电部件220、导电部件230、介电层240、信号线250以及导电部件260，故于此不再赘述。
28.导电部件370以及导电部件380设置于介电层340的第二侧(例如：上侧)且接触介电层340的第二表面(例如：上表面)。导电部件370用以接收电源电压vdd2以作为一电源线。具体而言，导电部件370可与其他电子组件耦接以将接收到的电源电压vdd2提供给该些电子组件。导电部件380用以接收电源电压vdd3以作为另一电源线。具体而言，导电部件380可与其他电子组件耦接以将接收到的电源电压vdd3提供给该些电子组件。在一些实施例中，电源电压vdd2或电源电压vdd3与电源电压vdd1相同。在一些其他的实施例中，电源电压vdd2以及电源电压vdd3皆与电源电压vdd1不相同。
29.由于图3a的电源线结构300还包含作为另两条电源线的导电部件370以及导电部件380，因此图3a的电源线结构300可应用至需要更多电源的应用中。在一些实施例中，提供电源电压vdd2的导电部件370或提供电源电压vdd3的导电部件380的线宽w与提供电源电压vdd1的导电部件330的线宽w相等。在一些实施例中，提供电源电压vdd2的导电部件370或提供电源电压vdd3的导电部件380的线宽与提供电源电压vdd1的导电部件330的线宽不相等。
30.在一些实施例中，导电部件330与导电部件310之间形成间隔g1，且导电部件330与导电部件320之间形成间隔g2。导电部件330所产生的磁场耦合会被局限于导电部件310与导电部件320之间。换句话说，导电部件330所产生的磁场耦合会被局限于间隔g1与间隔g2中，以避免导电部件330所产生的磁场耦合对其他电子组件造成电磁干扰。在一些实施例中，间隔g1的宽度s1与间隔g2的宽度s2相等。在一些实施例中，间隔g1的宽度s1以及间隔g2的宽度s2皆相同于导电部件330的线宽w。宽度s1、宽度s2以及线宽w的值可依实际应用进行
设计。
31.另外，导电部件360与导电部件370之间形成间隔g3，且导电部件360与导电部件380之间形成间隔g4。以图3a示例而言，导电部件360与导电部件330于方向z对齐，导电部件370与导电部件310于方向z对齐，且导电部件380与导电部件320于方向z对齐。具体而言，导电部件360于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部件330于此平面上的垂直投影完全重叠，导电部件370于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部件310于此平面上的垂直投影完全重叠，且导电部件380于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部件320于此平面上的垂直投影完全重叠。在一些其他的实施例中，导电部件360(370/380)于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部件330(310/320)于此平面上的垂直投影为部分重叠。
32.相似地，相较于图1a中的电源线结构100，图3a的电源线结构300还包含具有地电压vss的导电部件360，因此导电部件330所产生的磁场耦合可更有效地被限制。具体而言，导电部件330所产生的磁场耦合可被限制于导电部件310、导电部件320以及导电部件360之间的空间。
33.参考图3b。图3b是依照本发明一些实施例所绘示的电源线结构300-1的示意图。图3b的电源线结构300-1与图3a的电源线结构300之间的主要差异为，在3b图的电源线结构300-1中，导电部件310-1、导电部件320-1以及导电部件330皆具有线宽w。
34.在一些实施例中，导电部件310-1的宽度、导电部件320-1的宽度以及导电部件330的线宽可依实际应用进行设计。
35.参考图4a。图4a是依照本发明一些实施例所绘示的电源线结构400的示意图。以图4a示例而言，电源线结构400包含导电部件410、导电部件420、导电部件430、介电层440、多条信号线450以及导电部件460。
36.图4a中的导电部件410、导电部件420、导电部件430、介电层440以及信号线450的配置相似于图2a中的导电部件210、导电部件220、导电部件230、介电层240以及信号线250，故于此不再赘述。
37.图4a中的导电部件460设置于介电层440的第二侧(例如：上侧)且接触介电层440的第二表面(例如：上表面)。导电部件460用以接收电源电压vdd4以作为另一电源线。具体而言，导电部件460可与其他电子组件耦接以将接收到的电源电压vdd4提供给该些电子组件。在一些实施例中，电源电压vdd4与电源电压vdd1相同。在一些其他的实施例中，电源电压vdd4与电源电压vdd1不相同。
38.以图4a示例而言，导电部件460与导电部件430于方向z对齐。具体而言，导电部件460于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部件430于此平面上的垂直投影完全重叠。在一些其他的实施例中，导电部件460于方向x与方向y所形成平面上的垂直投影与导电部件430于此平面上的垂直投影为部分重叠。
39.在图4a的电源线结构400中，具有地电压vss的导电部件410以及导电部件420可有效地限制导电部件430所产生的磁场耦合，且导电部件460可提供另一电源电压vdd4给其他电子组件。
40.参考图4b。图4b是依照本发明一些实施例所绘示的电源线结构400-1的示意图。图4b的电源线结构400-1与图4a的电源线结构400之间的主要差异为，在4b图的电源线结构
400-1中，导电部件410-1、导电部件420-1以及导电部件430皆具有线宽w。
41.在一些实施例中，导电部件410-1的宽度、导电部件420-1的宽度以及导电部件430的线宽可依实际应用进行设计。
42.综上所述，本发明的电源线结构可有效地避免电源线对其他电子组件造成电磁干扰。
43.虽然上文已公开本发明的实施方式，但是其并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定为准。