剥离设备和利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法与流程

1.本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种剥离设备和利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法。


背景技术：

2.目前柔性显示器件的制作工艺大多是在承载玻璃基板上制作待剥离柔性显示器件，其中，待剥离柔性显示器件包括柔性衬底和柔性显示的功能层，通过柔性衬底将承载玻璃基板和柔性显示的功能层粘合在一起，而柔性衬底在受到特定波长的激光照射后，粘性会发生较大变化，可以通过激光剥离技术(laser lift off，llo)将待剥离柔性显示器件与承载玻璃基板分离，从而得到柔性显示器件。要使柔性衬底的粘性发生变化，就需要使柔性衬底接受充分的激光照射，所以要求激光聚焦在柔性衬底上。一般情况下，通过将承载有待剥离柔性显示器件和承载玻璃基板的平台(stage)来回移动，完成对整层的柔性衬底进行激光扫描。
3.然而，由于柔性衬底本身存在应力或者是前段贴膜存在应力，导致待剥离柔性显示器件和承载玻璃基板发生翘曲，使得在平台移动过程中会出现激光剥离设备的激光没有聚焦在柔性衬底与承载玻璃基板之间的界面上的情况，从而导致激光剥离过程中能量不足的问题，进而产生缺陷。
4.因此，现有技术存在缺陷，有待改进与发展。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供一种剥离设备和利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法，能改善激光剥离的效果。
6.为了解决上述问题，本发明提供了一种剥离设备，用于对载体基板上的待剥离柔性显示器件进行剥离，待剥离柔性显示器件包括：移动平台，用于承载待剥离柔性显示器件，待剥离柔性显示器件朝向移动平台设置；激光发射器，设置在移动平台上方，用于对载体基板与待剥离柔性显示器件之间的第一界面进行激光扫描，以破坏待剥离柔性显示器件与载体基板之间的粘接力；距离传感器，用于检测激光发射器与第一界面之间的第一距离；第一平台调整组件，与移动平台连接，并根据距离传感器检测的第一距离控制移动平台移动，以使激光发射器发射的激光聚焦在第一界面上。
7.其中，第一平台调整组件包括：
8.至少一个楔形结构，每个楔形结构包括上外壳、下外壳和楔形块，上外壳的顶面朝向移动平台背离激光发射器的一侧，上外壳和下外壳相对设置形成贯穿槽，楔形块位于贯穿槽中且与贯穿槽的形状相适配，楔形块的顶面为倾斜面，楔形块用于在贯穿槽中沿水平方向移动，以使上外壳在垂直方向上发生位移。
9.其中，第一平台调整组件还包括：
10.至少一个驱动电机，驱动电机通过贯穿槽与楔形块相连，并用于带动楔形块在贯
穿槽中沿水平方向移动，以使上外壳在垂直方向上发生位移。
11.其中，楔形结构和驱动电机的数量分别为四个，四个楔形结构均位于移动平台背离激光发射器的一侧，且设置于移动平台的四个转角处，四个楔形结构两两相对设置，在同一水平方向上相对设置的两个楔形结构的贯穿槽的槽口相对分布。
12.其中，第一平台调整组件还包括：
13.弹性元件，弹性元件的两端分别与上外壳和下外壳固定连接，以限制上外壳的最大位移量。
14.其中，楔形块在沿水平方向上的截面形状包括梯形或三角形。
15.其中，驱动电机上设有突出的螺杆，楔形块上设有与螺杆相匹配的螺孔，螺杆穿设贯穿槽，并与螺孔配合连接。
16.为了解决上述问题，本技术实施例还提供了一种利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法，剥离设备包括移动平台、激光发射器、距离传感器和第一平台调整组件，其中，激光发射器设置在移动平台上方，第一平台调整组件与移动平台连接，利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法包括：
17.将载体基板上的待剥离柔性显示器件设置在移动平台上，待剥离柔性显示器件朝向移动平台设置；
18.利用激光发射器对载体基板与柔性衬底之间的第一界面进行激光扫描时，通过距离传感器检测激光发射器与第一界面之间的第一距离；
19.根据检测的第一距离控制第一平台调整组件带动移动平台移动，以使激光发射器发射的激光聚焦在第一界面上。
20.其中，根据检测的第一距离控制第一平台调整组件带动移动平台移动，具体包括：
21.确定检测的第一距离的值与预设焦距之间的差值；
22.当差值在预设范围外时，控制第一平台调整组件带动移动平台移动。
23.其中，第一平台调整组件包括至少一个楔形结构和驱动电机，每个楔形结构包括上外壳、下外壳和楔形块，上外壳的顶面朝向移动平台背离激光发射器的一侧，上外壳和下外壳相对设置形成贯穿槽，楔形块位于贯穿槽中且与贯穿槽的形状相适配，楔形块的顶面为倾斜面，驱动电机通过贯穿槽与楔形块相连，控制第一平台调整组件带动移动平台移动，包括：
24.根据差值确定驱动电机对应的旋转信息；
25.根据旋转信息控制驱动电机转动，以使楔形块在贯穿槽中沿水平方向移动，进而使上外壳在垂直方向上发生位移。
26.本发明的有益效果是：本发明提供了一种剥离设备和利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法，剥离设备用于对载体基板上的待剥离柔性显示器件进行剥离，剥离设备包括：移动平台、激光发射器、距离传感器和第一平台调整组件。待剥离柔性显示器件朝向移动平台设置，当激光发射器向承载在移动平台上的待剥离柔性显示器件发射激光以对载体基板与柔性衬底之间的第一界面进行激光扫描时，通过距离传感器检测激光发射器与待剥离柔性显示器件之间的第一距离，第一平台调整组件根据距离传感器检测的第一距离带动移动平台移动，从而能使激光发射器的激光始终聚焦于待剥离柔性显示器件中的第一界面上。
附图说明
27.图1为本发明实施例提供的一种剥离设备的结构示意图；
28.图2为本发明实施例提供的激光剥离能量聚焦示意图；
29.图3为本发明实施例提供的另一种剥离设备的结构示意图；
30.图4为本发明实施例提供的剥离的方法的一种流程示意图；
31.图5为本发明实施例提供的剥离的方法的另一种流程示意图。
32.附图标记说明：
33.100：剥离设备；110：移动平台；120：激光发射器；130：距离传感器；140：第一平台调整组件；141：楔形结构；142：驱动电机；1411：上外壳；1412：下外壳；1413：楔形块；200：载体基板；300：柔性显示器件；310：柔性衬底；320：显示功能层；400：剥离设备；410：移动平台；420：激光发射器；430：距离传感器；440：第一平台调整组件；441：楔形结构；442：驱动电机；4411：上外壳；4412：下外壳；4413：楔形块。
具体实施方式
34.下面结合附图和实施例，对本发明作进一步的详细描述。特别指出的是，以下实施例仅用于说明本发明，但不对本发明的范围进行限定。同样地，以下实施例仅为本发明的部分实施例而非全部实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
35.另外，本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在各个附图中，结构相似的单元采用相同的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，附图中可能未示出某些公知的部分。
[0036]
下文公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
[0037]
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本发明进行进一步详细说明。
[0038]
如图1所示，本发明提供了一种剥离设备100，用于对载体基板200上的待剥离柔性显示器件300进行剥离，剥离设备100包括：移动平台110、激光发射器120、距离传感器130和第一平台调整组件140。
[0039]
移动平台110用于承载待剥离柔性显示器件300。
[0040]
激光发射器120设置在移动平台110上方，用于对载体基板200与柔性衬底310之间的第一界面进行激光扫描，以破坏柔性衬底310与载体基板200之间的粘接力。
[0041]
距离传感器130用于检测激光发射器120与第一界面之间的第一距离。
[0042]
第一平台调整组件140与移动平台110连接，并根据距离传感器130检测的第一距
离控制移动平台110移动，以使激光发射器120发射的激光聚焦在第一界面上。
[0043]
具体地，如图2所示，为本发明实施例提供的激光剥离能量聚焦示意图，激光发射器120位于待剥离柔性显示器件300和载体基板200的上方，激光发射器120包括依次层叠设置的光学系统盖(optics system cover)121、密封窗(sealing window)122和投影镜头(projection lens)123，当激光发射器120产生激光并发射时，经过投影镜头发射出去的光线至少在两条以上，比如分别为光线1和光线2，光线1和光线2依次穿过密封窗和光学系统盖在激光发射器下方的待剥离柔性显示器件300上汇聚，此时，光线1和光线2汇聚的点就是聚焦点，当该汇聚点位于第一界面时，即激光聚焦在第一界面上。
[0044]
具体地，移动平台110用于承载待剥离柔性显示器件300，可以在水平或者垂直方向移动，也可以在其它任意方向上移动，本发明具体不作限制。如图1所示，水平方向是指与x方向平行的方向，垂直方向是指与y方向平行的方向，本文中的水平方向和垂直方向与此相同，不作赘述。
[0045]
具体地，距离传感器130的设置位置不受特别限制，例如可以设置在移动平台110上方。距离传感器130可以是电荷耦合(charge couple device，ccd)图像传感器，距离传感器130可以紧靠激光发射器120且与激光发射器120在同一高度设置，距离传感器130检测到的第一距离是激光发射器120与第一界面之间的第一距离，当距离传感器130检测到的第一距离与预设焦距之间的差值在预设范围之外时，控制第一平台调整组件140带动移动平台110移动，以使激光聚焦在第一界面上。其中，预设焦距是指，当激光发射器120所发射的激光聚焦到第一界面上时，激光发射器120与第一界面之间的距离。
[0046]
具体地，待剥离柔性显示器件300可以包括依次层叠设置在载体基板200上的柔性衬底310和显示功能层320，通过柔性衬底310将载体基板200和显示功能层320粘合在一起。待剥离柔性显示器件300可以是有机发光二级管(organic light emitting diode，oled)或者是微型发光二极管(micro-light emitting diode，micro-led)等。在显示功能层320的下方还可以设有保护层(未在图中示出)，保护层可以是一层或多层的无机层，其材料可以是氧化硅，氧化硅具有良好的隔绝水氧的能力，能够有效避免外界水汽进入柔性显示器件中。与此同时，无机层也可以作为缓冲层，缓解待剥离柔性显示器件300在弯折过程中，在弯折处的应力集中。柔性衬底310可以是任何随着激光照射粘性发生变化的材料，本发明具体不作限制。载体基板200一般为透明的刚性玻璃基板，以便于在载体基板200的表面制作显示功能层320和柔性衬底310，与此同时，在进行激光剥离时，激光的能量能从载体基板200穿过，照射在第一界面上(即柔性衬底310与载体基板200之间的交界面)，使柔性衬底310的粘性变弱，从而使载体基板200和柔性衬底310发生分离。
[0047]
优选地，柔性衬底310的材料可以是聚酰亚胺(polyimide，pi)，当激光照射在聚酰亚胺层时，聚酰亚胺会因为对光的吸收而炭化分解，导致载体基板200和柔性衬底310的粘结性下降，从而实现载体基板200和柔性衬底310的分离。与此同时，聚酰亚胺是一种极佳的柔性材料，能够实现柔性显示器件在一定角度的自由弯折，提升柔性显示器件的柔韧性，同时也能避免在弯折时应力集中，产生局部断裂的问题。
[0048]
优选地，激光发射器120产生的激光的波长可以是308nm(纳米)，材料为聚酰亚胺的柔性衬底310在波长为308nm的激光照射后，粘性会发生较大变化，以利于通过激光剥离技术实现待剥离柔性显示器件300与载体基板200分离，从而得到柔性显示器件。
[0049]
其中，剥离设备100还包括第二平台调整组件(未在图中示出)，用于带动移动平台110在水平方向上运动。
[0050]
此外，剥离设备100还包括第三平台调整组件(未在图中示出)，用于带动移动平台110在垂直方向上运动。
[0051]
其中，第一平台调整组件140包括：
[0052]
至少一个楔形结构141，每个楔形结构141包括上外壳1411、下外壳1412和楔形块1413，上外壳1411的顶面朝向移动平台110背离激光发射器120的一侧，上外壳1411和下外壳1412相对设置形成贯穿槽，楔形块1413位于贯穿槽中且与贯穿槽的形状相适配，楔形块1413的顶面为倾斜面，楔形块1413用于在贯穿槽中沿水平方向移动，以使上外壳在垂直方向上发生位移。
[0053]
具体地，第一平台调整组件140包括至少一个楔形结构141，当第一平台调整组件140设有一个楔形结构141时，如图1所示，可以设置于移动平台110下方的中间区域，在承载移动平台110的同时微调移动平台110的高度，当第一平台调整组件140运动时，带动移动平台110整体的高度改变。
[0054]
其中，第一平台调整组件140还包括：
[0055]
至少一个驱动电机142，驱动电机142通过贯穿槽与楔形块1413相连，并用于带动楔形块1413在贯穿槽中沿水平方向移动，以使上外壳1411在垂直方向上发生位移。
[0056]
具体地，第一平台调整组件140包括至少一个驱动电机142，驱动电机142的数量可以与楔形结构141的数量相同，即一个驱动电机142独立控制一个当第一平台调整组件140设有一个楔形结构141和驱动电机142时，如图1所示，驱动电机142通过贯穿槽与楔形块1413相连，并用于带动楔形块1413在贯穿槽中沿水平方向移动，以使上外壳1411在垂直方向上发生位移。
[0057]
此外，需要说明的是，除了采用驱动电机142带动楔形块1413在贯穿槽中沿水平方向移动，以使上外壳1411在垂直方向上发生位移的方案之外，还可以采用不同于驱动电机142的方案，比如，可以采用滚珠丝杆的转动带动楔形块1413在贯穿槽中沿水平方向移动，以使上外壳1411在垂直方向上发生位移，只要能实现带动楔形块1413在贯穿槽中沿水平方向移动即可，具体不作限制。
[0058]
其中，楔形结构441和驱动电机442的数量分别为四个，四个楔形结构441均位于移动平台110背离激光发射器120的一侧，且设置于移动平台110的四个转角处，四个楔形结构441两两相对设置，在同一水平方向上相对设置的两个楔形结构441的贯穿槽的槽口相对分布。
[0059]
如图3所示，为本发明实施例提供的另一种剥离设备400的结构示意图，剥离设备400包括移动平台410、激光发射器420、距离传感器430和第一平台调整组件440，其中，第一平台调整组件440也可以包括多个楔形结构441和驱动电机442，比如四个楔形结构441和驱动电机442，其中，每个楔形结构441包括上外壳4411、下外壳4412和楔形块4413，四个楔形结构441和驱动电机442分别分布在移动平台410下方的四个角，此时，两个楔形结构441和驱动电机442位于最外侧，另两个楔形结构441和驱动电机442位于最内侧，被外侧的楔形结构441和驱动电机442所遮挡，四个楔形结构441两两相对设置，在同一水平方向上相对设置的两个楔形结构441的贯穿槽的槽口相对分布，即在同一水平方向上的两个楔形结构441关
于移动平台410在垂直方向的中心线对称分布。其中，第一平台调整组件440可以同时控制四个驱动电机442转动以带动四个楔形结构441同时移动，以使对应的四个上外壳4411在垂直方向上发生的位移相同，从而调整移动平台410整体高度，也可以分别控制单个驱动电机442转动以带动楔形结构441，以使四个上外壳4411在垂直方向上发生位移不相同，从而调整移动平台410局部区域的高度。
[0060]
此外，需要说明的是，楔形结构441和驱动电机442的数量和分布位置不作特别限制，只要能实现调整移动平台410的高度即可。
[0061]
其中，楔形块1413在沿水平方向上的截面形状包括梯形或三角形。
[0062]
具体地，楔形块1413在沿水平方向上的截面形状可以是顶面为倾斜面的任意形状，比如梯形、三角形或者多边形，倾斜面可以是上倾斜面或者是下倾斜面，上倾斜面是指在垂直方向上的截面高度从靠近驱动电机142到远离驱动电机142方向上线性增加的，同理可知，下倾斜面是指在垂直方向上的截面高度从靠近驱动电机142到远离驱动电机142方向上线性减少的，只要是通过倾斜面当楔形块1413在贯穿槽中沿水平方向移动时，使上外壳1411在垂直方向上发生位移即可，本发明对楔形块1413在沿垂直方向上的截面形状、倾斜面的角度以及倾斜方向均不作限制。
[0063]
具体地，如图1所示，楔形块1413的截面形状是梯形，且梯形是关于水平方向对称的，楔形块1413在垂直方向上的截面高度从左到右是逐渐增加的，当距离传感器130检测到激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值为负值，且差值的大小在预设的范围之外时，楔形块1413在贯穿槽中从左向右移动，使上外壳1411的高度降低，对应地，移动平台110的高度降低，激光发射器120与第一界面之间的距离增加。
[0064]
相应地，当距离传感器130检测到激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值为正值，且差值的大小在预设的范围之外时，楔形块1413在贯穿槽中从右向左移动，使上外壳1411的高度升高，对应地，移动平台110的高度升高，激光发射器120与第一界面之间的距离减少。根据检测的距离控制驱动电机142转动以带动楔形块1413沿水平方向移动，使得上外壳1411升高或降低一定的高度，对应地，移动平台110升高或降低一定的高度，通过调整楔形块1413在沿垂直方向上的截面形状的顶面的倾斜角度，将控制楔形块1413大幅度的水平移动转换为控制上外壳1411小幅度的高度调整，从而实现对移动平台110高度的微调，相对于通过滚珠丝杆或直接采用驱动电机142竖直设置实现高度调节，本发明实施例的方案精度更高且结构简单。
[0065]
具体地，如图3所示，当采用的是四个楔形块4413的方案时，在同一水平方向上相对设置的两个楔形结构441的贯穿槽的槽口相对分布，楔形块4413的截面形状都是梯形，且梯形是关于水平方向对称的。当楔形块4413的截面形状是三角形(未在图中示出)时，三角形应当是关于水平方向对称的。通过设置楔形块4413的截面形状是关于水平方向对称的梯形或三角形，在楔形块4413沿水平方向移动时，使得上外壳4411升高或降低一定的高度，与此同时，关于水平方向对称的特征能使楔形块4413沿水平方向移动时更加平稳。
[0066]
其中，第一平台调整组件140还包括弹性元件(未在图中示出)，弹性元件的两端分别与上外壳1411和下外壳1412固定连接，以限制上外壳1411的最大位移量。
[0067]
具体地，当楔形块1413在上外壳1411和下外壳1412中间的贯穿槽水平移动时，可以通过弹性元件(未在图中示出)将上外壳1411和下外壳1412相连接，可以限制上外壳1411
的最大位移量，与此同时，弹性元件还可以起缓冲作用，以减少楔形块1413移动时对移动平台110在垂直方向的冲击。其中，弹性元件可以是弹簧或橡胶垫圈等。
[0068]
其中，驱动电机142上设有突出的螺杆(未在图中示出)，楔形块1413上设有与螺杆相匹配的螺孔(未在图中示出)，螺杆穿设贯穿槽，并与螺孔固定连接。
[0069]
具体地，一般情况下，当驱动电机142稳定运行时，可以认为驱动电机142是匀速转动的，由于驱动电机142和楔形块1413采用螺纹连接，通过调整驱动电机142的转动方向和转动时长，可以控制楔形块1413在水平运动的方向和位移，比如，距离传感器130紧靠着激光发射器120且一起固定在移动平台110的上方，移动平台110承载着待剥离柔性显示器件300从左向右运动，激光发射器120向待剥离柔性显示器件300发射激光，距离传感器130检测激光发射器120与第一界面之间的第一距离，当距离传感器130检测到待剥离柔性显示器件300或载体基板200上发生向上翘曲的位置时，激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值为负值，且差值的大小在预设的范围之外，根据检测的距离驱动电机142逆时针转动且转动一定的时长，以带动楔形块1413在贯穿槽中从左向右移动且产生一定的位移，使上外壳1411降低一定的高度，对应地，移动平台110降低一定的高度，激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，以使激光聚焦在第一界面上。
[0070]
相应地，当距离传感器130检测到待剥离柔性显示器件300或载体基板200上发生向下翘曲的位置时，激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值为正值，且差值的大小在预设的范围之外，根据检测的距离驱动电机142顺时针转动且转动一定的时长，以带动楔形块1413在贯穿槽中从右向左移动，使上外壳1411升高一定的高度，对应地，移动平台110升高一定的高度，以使激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，进而使激光聚焦在第一界面上。通过控制驱动电机142的转动方向和转动时长，从而调整移动平台110的高度，以使激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，进而使激光聚焦在第一界面上，能有效地改善因为待剥离柔性显示器件300或载体基板200发生翘曲使得激光没有聚焦在第一界面上，导致在激光剥离过程中能量不足的问题，进而提高了对柔性显示器件300和载体基板200之间的分离效果。
[0071]
此外，除了螺纹连接之外，驱动电机142和楔形块1413可以通过其它的连接方式连接，只要能实现通过驱动电机142的转动以带动楔形块1413在水平方向移动，以使上外壳1411的高度改变即可，本发明不作具体限制。
[0072]
由上述可知，本发明提供了一种剥离设备100，用于对载体基板200上的待剥离柔性显示器件300进行剥离，剥离设备100包括：激光发射器120、距离传感器130和第一平台调整组件140，待剥离柔性显示器件朝向移动平台设置，当激光发射器120向承载在移动平台110上的待剥离柔性显示器件300发射激光时，通过距离传感器130检测激光发射器120与待剥离柔性显示器件300之间的第一距离，第一平台调整组件140根据距离传感器130检测的第一距离带动移动平台110移动，从而能使激光发射器120的聚焦于待剥离柔性显示器件300中的第一界面上，能有效地改善因为待剥离柔性显示器件300或载体基板200发生翘曲使得激光没有聚焦在第一界面上，导致因为激光能量不足出现无法完全剥离的问题，提高了对柔性显示器件300和载体基板200之间的分离效果。
[0073]
基于上述实施例描述的剥离设备100，本技术实施例还提供了一种利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法，该剥离设备可以是前面描述的剥离设备100，剥离设备100包
括移动平台110、激光发射器120、距离传感器130和第一平台调整组件140，其中，激光发射器120设置在移动平台110上方，第一平台调整组件140与移动平台110连接，如图4所示，为本发明实施例提供的利用剥离设备100对柔性显示器件300进行剥离的方法的一种流程示意图，具体包括：
[0074]
s101，将载体基板200上的待剥离柔性显示器件300设置在移动平台110上，待剥离柔性显示器件300朝向移动平台设置。
[0075]
s102，利用激光发射器120对载体基板200与待剥离柔性显示器件300之间的第一界面进行激光扫描时，通过距离传感器130检测激光发射器120与第一界面之间的第一距离。
[0076]
s103，根据检测的第一距离控制第一平台调整组件140带动移动平台110移动，以使激光发射器120发射的激光聚焦在第一界面上。
[0077]
具体地，上文已对剥离设备100以及相关的各个部件进行了详细介绍，在此不再赘述。其中，待剥离柔性显示器件300可以包括依次层叠设置在载体基板200上的柔性衬底310和显示功能层320。由于柔性衬底310会因为激光的照射粘性发生改变，从而实现载体基板200和柔性衬底310的分离。然而，在激光剥离的过程中，由于载体基板200的光学透过率较低，部分能量被载体基板200吸收，导致能量的利用率降低，当激光发射器120所产生激光没有聚焦在第一界面上时，使得激光剥离的能量不足，进而产生缺陷。因此，在激光剥离的过程中，激光需要始终聚焦在第一界面上。距离传感器130可以是电荷耦合(charge couple device，ccd)图像传感器，距离传感器130紧靠着激光发射器120且一起固定在移动平台110的上方，移动平台110承载着待剥离柔性显示器件300从左向右运动，利用激光发射器120对载体基板200与柔性衬底310之间的第一界面进行激光扫描时，通过距离传感器130检测激光发射器120与第一界面之间的第一距离。
[0078]
当距离传感器130检测到待剥离柔性显示器件300或载体基板200上发生向翘曲的位置时，通过距离传感器130检测激光发射器120与第一界面之间的第一距离，根据检测的第一距离控制第一平台调整组件140带动移动平台110移动，以使激光始终聚焦在第一界面上，能有效地改善因为待剥离柔性显示器件300或载体基板200发生翘曲激光没有聚焦在第一界面上的问题，从而提高了对待剥离柔性显示器件300和载体基板200之间的分离效果。
[0079]
此外，需要说明的是，移动平台110用于承载待剥离柔性显示器件300，可以在水平或者垂直方向移动，也可以在其它任意方向上移动，本发明具体不作限制。
[0080]
如图5所示，为本发明实施例提供的利用剥离设备100对柔性显示器件300进行剥离的方法的另一种流程示意图，步骤s103具体包括：
[0081]
s1031，确定检测的第一距离的值与预设焦距之间的差值。
[0082]
s1032，当差值在预设范围外时，控制第一平台调整组件140带动移动平台110移动。
[0083]
具体地，当距离传感器130检测到激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值为负值，且差值的大小在预设的范围之外时，控制第一平台调整组件140带动移动平台110沿垂直方向向下移动，以使移动平台110的高度降低，进而使激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，以使激光聚焦在第一界面上。相应地，当距离传感器130检测到激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值
为正值，且差值的大小在预设的范围之外时，控制第一平台调整组件140带动移动平台110沿垂直方向向上移动，以使移动平台110的高度升高，进而使激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，以使激光聚焦在第一界面上。根据检测的距离控制第一平台调整组件140带动移动平台110移动，以使激光始终聚焦在第一界面，从而有效地改善因为待剥离柔性显示器件300或载体基板200发生翘曲，激光没有聚焦在第一界面上的问题，进而提高了对柔性显示器件和载体基板200之间的分离效果。
[0084]
其中，需要说明的是，移动平台110沿垂直方向移动只是为了便于讲述移动平台110的一种具体的调整方式，移动平台110的移动方向并不限制，只有能实现通过调整移动平台110的移动，以使激光始终聚焦在第一界面即可，下文涉及到相关内容的同理，不再赘述。
[0085]
其中，第一平台调整组件140包括至少一个楔形结构141和驱动电机142，每个楔形结构141包括上外壳1411、下外壳1412和楔形块1413，上外壳1411的顶面朝向移动平台110背离激光发射器120的一侧，上外壳1411和下外壳1412相对设置形成贯穿槽，楔形块1413位于贯穿槽中且与贯穿槽的形状相适配，楔形块1413的顶面为倾斜面，驱动电机142通过贯穿槽与楔形块1413相连，步骤s104中“控制第一平台调整组件140带动移动平台110移动”，包括：
[0086]
根据差值确定驱动电机142对应的旋转信息；
[0087]
根据旋转信息控制驱动电机142转动，以使楔形块1413在贯穿槽中沿水平方向移动，进而使上外壳1411在垂直方向上发生位移。
[0088]
具体地，一般情况下，当驱动电机142稳定运行时，可以认为驱动电机142是匀速转动的，驱动电机142和楔形块1413可以采用螺纹连接，通过调整驱动电机142转动的方向和转动时长，可以控制楔形块1413在水平运动的方向和位移，比如，距离传感器130紧靠着激光发射器120且一起固定在移动平台110的上方，移动平台110承载着待剥离柔性显示器件300从左向右运动，激光发射器120向待剥离柔性显示器件300发射激光，距离传感器130检测激光发射器120与第一界面之间的第一距离，当距离传感器130检测到待剥离柔性显示器件300或载体基板200上发生向上翘曲的位置时，激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值为负值，且差值的大小在预设的范围之外，根据检测的距离驱动电机142逆时针转动且转动一定的时长，以带动楔形块1413在贯穿槽中从左向右移动且产生一定的位移，使上外壳1411降低一定的高度，对应地，移动平台110降低一定的高度，激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，以使激光聚焦在第一界面上。
[0089]
相应地，当距离传感器130检测到待剥离柔性显示器件300或载体基板200上发生向下翘曲的位置时，激光发射器120与第一界面之间的第一距离与预设焦距之间的差值为正值，且差值的大小在预设的范围之外，根据检测的距离驱动电机142顺时针转动且转动一定的时长，以带动楔形块1413在贯穿槽中从右向左移动，使上外壳1411升高一定的高度，对应地，移动平台110升高一定的高度，以使激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，进而使激光聚焦在第一界面上。通过控制驱动电机142的转动方向和转动时长，从而调整移动平台110的高度，以使激光发射器120与第一界面之间的第一距离在预设焦距之间，进而使激光聚焦在第一界面上，能有效地改善因为待剥离柔性显示器件300或载体基板200发生翘曲使得激光没有聚焦在第一界面上，导致在激光剥离过程中能量不足的
问题，进而提高了对柔性显示器件和载体基板200之间的分离效果。
[0090]
由上述可知，本发明提供了一种剥离设备和利用剥离设备对显示器件进行剥离的方法，剥离设备用于对载体基板上的待剥离柔性显示器件进行剥离，剥离设备包括：移动平台、激光发射器、距离传感器和第一平台调整组件。待剥离柔性显示器件朝向移动平台设置，当激光发射器向承载在移动平台上的待剥离柔性显示器件发射激光以对载体基板与柔性衬底之间的第一界面进行激光扫描时，通过距离传感器检测激光发射器与待剥离柔性显示器件之间的第一距离，第一平台调整组件根据距离传感器检测的第一距离带动移动平台移动，从而能使激光发射器的激光始终聚焦于待剥离柔性显示器件中的第一界面上，能有效地改善因为待剥离柔性显示器件或载体基板发生翘曲使得激光没有聚焦在第一界面上，导致因为激光能量不足出现无法完全剥离的问题，提高了对柔性显示器件和载体基板之间的分离效果。
[0091]
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。