用于晶圆键合对准的装置及方法与流程

本申请大体上涉及半导体加工设备领域，且更具体来说，涉及一种用于晶圆键合对准的装置及方法。

背景技术：

1、晶圆键合需要通过对上、下两片晶圆表面制备的标识进行拍照并分析标识相对位置来实现对准。不同批次的晶圆上的薄膜会有不同，导致所制备的标识颜色会有差异。传统的晶圆键合对准设备所采用的光源都是单一色光且不可切换的光源。在此光源下对标识进行成像，所得到的图片的对比度并无明显区别，无法据以提升晶圆键合的对准精度。

技术实现思路

1、本申请发现使用不同颜色光源对晶圆的标识进行成像，所得到的图片对比度会有区别。本申请提供了一种用于晶圆键合对准的装置及方法，其使用不同颜色的光源对标识进行成像，提高拍摄得到的图片对比度，从而提升键合对准的精度。

2、在一方面，本申请提供了一种用于晶圆键合对准的装置，其包括：显微镜，其用以对晶圆的标识进行聚焦；多色光源，其用以发出波长可变的光对所述晶圆的所述标识进行照明，其中所述波长可变的光包括第一波长的光与第二波长的光，其中所述第一波长的光的波长与所述第二波长的光的波长不同；及相机，其用以在所述多色光源以所述第一波长的光进行照明时，对所述晶圆的所述标识进行拍摄以得到第一图片，以及在所述多色光源以所述第二波长的光进行照明时，对所述晶圆的所述标识进行拍摄以得到第二图片。

3、根据本申请的实施例，所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是单色光。

4、根据本申请的实施例，所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是混合光。

5、根据本申请的实施例，所述多色光源包括发光二极管光源。

6、根据本申请的实施例，所述多色光源包括白光源与滤光片。

7、根据本申请的实施例，所述滤光片包括选自红色、橙色、黄色、绿色、蓝色及紫色滤光片中的至少二者。

8、在另一方面，本申请还提供了一种用于晶圆键合对准的方法，其包括：提供显微镜，其对第一晶圆的标识进行聚焦；提供相机；提供多色光源，其发出第一波长的光对所述第一晶圆的所述标识进行照明；使所述相机在所述多色光源以所述第一波长的光进行照明时，对所述第一晶圆的所述标识进行拍摄以得到第一图片；将所述多色光源由所述第一波长的光切换为第二波长的光，并对所述第一晶圆的所述标识进行照明，其中所述第一波长的光的波长与所述第二波长的光的波长不同；及使所述相机在所述多色光源以所述第二波长的光进行照明时，对所述第一晶圆的所述标识进行拍摄以得到第二图片。

9、根据本申请的实施例，所述方法进一步包括：比较所述第一图片的对比度与所述第二图片的对比度；及确定所述第一图片与所述第二图片中对比度较高者。

10、根据本申请的实施例，所述方法进一步包括：确定所述对比度较高者在以所述多色光源进行照明时所使用的光；及使所述多色光源发出所述所使用的光对第二晶圆的标识进行照明。

11、根据本申请的实施例，在所述方法中，所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是单色光。

12、根据本申请的实施例，在所述方法中，所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是混合光。

13、根据本申请的实施例，在所述方法中，所述多色光源包括发光二极管光源。

14、根据本申请的实施例，在所述方法中，所述多色光源包括白光源与滤光片。

15、根据本申请的实施例，在所述方法中，所述滤光片包括选自红色、橙色、黄色、绿色、蓝色及紫色滤光片中的至少二者。

16、根据本申请的实施例，所述方法进一步包括：将所述多色光源由所述第二波长的光切换为第三波长的光，并对所述第一晶圆的所述标识进行照明，其中所述第三波长的光的波长与所述第一波长的光的波长及所述第二波长的光的波长不同；及使所述相机在所述多色光源以所述第三波长的光进行照明时，对所述第一晶圆的所述标识进行拍摄以得到第三图片。

17、根据本申请的实施例，所述方法进一步包括：比较所述第一图片的对比度、所述第二图片的对比度与所述第三图片的对比度；及确定所述第一图片、所述第二图片与所述第三图片中对比度最高者。

18、根据本申请的实施例，所述方法进一步包括：确定所述对比度最高者在以所述多色光源进行照明时所使用的光；及使所述多色光源发出所述所使用的光对第二晶圆的标识进行照明。

19、根据本申请的实施例，在所述方法中，所述第三波长的光是单色光。

20、根据本申请的实施例，在所述方法中，所述第三波长的光是混合光。

21、在以下附图及描述中阐述本申请的一或多个实例的细节。其他特征、目标及优势将根据所述描述及附图以及权利要求书而显而易见。

技术特征：

1.一种用于晶圆键合对准的装置，其包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是单色光。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是混合光。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述多色光源包括发光二极管光源。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述多色光源包括白光源与滤光片。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述滤光片包括选自红色、橙色、黄色、绿色、蓝色及紫色滤光片中的至少二者。

7.一种用于晶圆键合对准的方法，其包括：

8.根据权利要求7所述的方法，其进一步包括：

9.根据权利要求8所述的方法，其进一步包括：

10.根据权利要求7所述的方法，其中所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是单色光。

11.根据权利要求7所述的方法，其中所述第一波长的光与所述第二波长的光中的至少一者是混合光。

12.根据权利要求7所述的方法，其中所述多色光源包括发光二极管光源。

13.根据权利要求7所述的方法，其中所述多色光源包括白光源与滤光片。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述滤光片包括选自红色、橙色、黄色、绿色、蓝色及紫色滤光片中的至少二者。

15.根据权利要求7所述的方法，其进一步包括：

16.根据权利要求15所述的方法，其进一步包括：

17.根据权利要求16所述的方法，其进一步包括：

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述第三波长的光是单色光。

19.根据权利要求17所述的方法，其中所述第三波长的光是混合光。

技术总结
本申请涉及一种用于晶圆键合对准的装置及方法。在本申请的一实施例中，所述用于晶圆键合对准的装置包括：显微镜，其用以对晶圆的标识进行聚焦；多色光源，其用以发出波长可变的光对所述晶圆的所述标识进行照明，其中所述波长可变的光包括第一波长的光与第二波长的光，其中所述第一波长的光的波长与所述第二波长的光的波长不同；及相机，其用以在所述多色光源以所述第一波长的光进行照明时，对所述晶圆的所述标识进行拍摄以得到第一图片，以及在所述多色光源以所述第二波长的光进行照明时，对所述晶圆的所述标识进行拍摄以得到第二图片。

技术研发人员：王晨,马双义
受保护的技术使用者：拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13