一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置的制作方法

本实用新型涉及一种定位装置，具体为一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置，属于聚酰胺酸膜基板刻蚀技术领域。

背景技术：

刻蚀技术，是种半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。

然而，传统的圆形基板在进行刻蚀时，操作人员需要手动将圆形基板固定并将激光头对准基板，操作的步骤繁杂且耗时较长，而且，在圆形基板的刻蚀过程中，操作人员还需要手动对基板的刻蚀方向进行调整，基板在重新拆卸又安装的反复过程中容易使原有的刻蚀位置发生改变，进而容易造成刻蚀效果产生误差，一定程度上也不利于提高基板刻蚀的效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置，操作灵活，便于安装，在便于操作人员对基板固定的同时也便于操作人员改变基板刻蚀的方向，进而有利于提高装置的使用效率。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置，包括主体机构，所述主体机构的内部对称滑动连接有两个调节机构，所述调节机构的内部滑动连接有固定机构，所述固定机构包括拉杆、连接板、卡环、防滑垫、滑杆、压簧和连杆，所述拉杆的两端固定安装于所述连接板的侧壁，所述连接板抵触于所述调节机构的侧壁并与所述滑杆的一端固定连接，所述滑杆滑动连接于所述调节机构的内壁且另一端固定连接于所述卡环的内壁，所述卡环滑动于所述调节机构的内部，所述防滑垫粘接于所述卡环背离所述滑杆的侧壁，所述压簧套接于所述滑杆的侧壁且两端分别固定连接于所述调节机构和所述卡环，两个所述连杆的一端对称转动连接于所述卡环的内壁且另一端转动连接于所述调节机构的内壁，所述主体机构的内部转动连接有转动机构。

优选的，为了便于操作人员调整基板的刻蚀方向，所述主体机构包括转盘和底座，所述转盘转动连接于所述底座的顶端，且所述转盘为圆形结构。

优选的，为了便于对定位装置进行固定，所述主体机构还包括支撑板和螺钉，两个所述支撑板的一端对称固定连接于所述底座的底端，且所述支撑板为l形结构，两个所述螺钉对称螺纹连接于所述支撑板的内壁。

优选的，为了便于使第一螺杆转动，所述调节机构包括旋钮、滑槽和第一螺杆，所述第一螺杆的一端贯穿所述转盘的内壁并延伸至所述旋钮，所述旋钮转动连接于所述转盘的侧壁，所述转盘的内部设有所述滑槽，所述第一螺杆转动连接于所述转盘内部设有的所述滑槽部位，且所述第一螺杆两端的螺纹转动方向相反。

优选的，为了便于滑块带动卡板滑动，所述调节机构还包括卡板和滑块，两个所述滑块对称滑动连接于所述转盘内部设有的所述滑槽部位，且所述滑块螺纹连接于所述第一螺杆的侧壁，所述滑块的顶端固定连接于所述卡板，两个所述卡板对称滑动连接于所述转盘的顶端，所述连接板抵触于所述卡板的侧壁，所述滑杆滑动连接于所述卡板的内壁，所述压簧的一端固定连接于所述卡板的内壁，所述连杆的一端转动连接于所述卡板的内壁。

优选的，为了便于使第二螺杆带动齿条在底座内部滑动，所述转动机构包括第二螺杆和齿条，所述第二螺杆的一端贯穿并转动连接于所述底座的内壁，且所述第二螺杆贯穿所述齿条的内壁，所述齿条螺纹连接于所述第二螺杆的侧壁并滑动连接于所述底座的内部。

优选的，为了便于使转轴转动时带动转盘转动，所述转动机构还包括齿轮和转轴，所述齿条啮合于所述齿轮，所述齿轮转动于所述底座的内部并固定连接于所述转轴的侧壁，所述转轴的一端转动连接于所述底座的内壁，所述转轴的另一端贯穿所述底座的顶端并固定连接于所述转盘的内壁。

本实用新型的有益效果是：拉杆固定于连接板，连接板抵触于调节机构侧壁并与滑杆一端固定，滑杆滑动于调节机构内且另一端固定于卡环，卡环滑动于调节机构内，防滑垫粘接于卡环背离滑杆的侧壁，压簧套接于滑杆的侧壁且两端分别固定连接于调节机构和卡环，两个连杆的一端对称转动连接于卡环的内壁且另一端转动连接于调节机构的内壁，拉动拉杆，进而使连接板带动滑杆滑动时卡环对压簧进行挤压，进而使卡环在调节机构的内部滑动，进而便于操作人员将基板放入主体机构顶端，进而便于对基板进行固定的同时也可以使操作人员更加便捷的改变其刻蚀方向。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1所示的固定机构和调节机构的连接结构示意图；

图3为图2所示的主体机构和转动机构的连接结构示意图；

图4为图2所示的a部结构放大示意图；

图5为图2所示的b部结构放大示意图。

图中：1、主体机构，11、转盘，12、底座，13、支撑板，14、螺钉，2、固定机构，21、拉杆，22、连接板，23、卡环，24、防滑垫，25、滑杆，26、压簧，27、连杆，3、调节机构，31、旋钮，32、滑槽，33、卡板，34、第一螺杆，35、滑块，4、转动机构，41、第二螺杆，42、齿条，43、齿轮，44、转轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5所示，一种用于聚酰胺酸膜基板刻蚀的定位装置，包括主体机构1，所述主体机构1的内部对称滑动连接有两个调节机构3，所述调节机构3的内部滑动连接有固定机构2，所述固定机构2包括拉杆21、连接板22、卡环23、防滑垫24、滑杆25、压簧26和连杆27，所述拉杆21的两端固定安装于所述连接板22的侧壁，所述连接板22抵触于所述调节机构3的侧壁并与所述滑杆25的一端固定连接，所述滑杆25滑动连接于所述调节机构3的内壁且另一端固定连接于所述卡环23的内壁，所述卡环23滑动于所述调节机构3的内部，所述防滑垫24粘接于所述卡环23背离所述滑杆25的侧壁，所述压簧26套接于所述滑杆25的侧壁且两端分别固定连接于所述调节机构3和所述卡环23，两个所述连杆27的一端对称转动连接于所述卡环23的内壁且另一端转动连接于所述调节机构3的内壁，所述主体机构1的内部转动连接有转动机构4。

作为本实用新型的一种技术优化方案，所述主体机构1包括转盘11和底座12，所述转盘11转动连接于所述底座12的顶端，且所述转盘11为圆形结构。

作为本实用新型的一种技术优化方案，所述主体机构1还包括支撑板13和螺钉14，两个所述支撑板13的一端对称固定连接于所述底座12的底端，且所述支撑板13为l形结构，两个所述螺钉14对称螺纹连接于所述支撑板13的内壁。

作为本实用新型的一种技术优化方案，所述调节机构3包括旋钮31、滑槽32和第一螺杆34，所述第一螺杆34的一端贯穿所述转盘11的内壁并延伸至所述旋钮31，所述旋钮31转动连接于所述转盘11的侧壁，所述转盘11的内部设有所述滑槽32，所述第一螺杆34转动连接于所述转盘11内部设有的所述滑槽32部位，且所述第一螺杆34两端的螺纹转动方向相反。

作为本实用新型的一种技术优化方案，所述调节机构3还包括卡板33和滑块35，两个所述滑块35对称滑动连接于所述转盘11内部设有的所述滑槽32部位，且所述滑块35螺纹连接于所述第一螺杆34的侧壁，所述滑块35的顶端固定连接于所述卡板33，两个所述卡板33对称滑动连接于所述转盘11的顶端，所述连接板22抵触于所述卡板33的侧壁，所述滑杆25滑动连接于所述卡板33的内壁，所述压簧26的一端固定连接于所述卡板33的内壁，所述连杆27的一端转动连接于所述卡板33的内壁。

作为本实用新型的一种技术优化方案，所述转动机构4包括第二螺杆41和齿条42，所述第二螺杆41的一端贯穿并转动连接于所述底座12的内壁，且所述第二螺杆41贯穿所述齿条42的内壁，所述齿条42螺纹连接于所述第二螺杆41的侧壁并滑动连接于所述底座12的内部。

作为本实用新型的一种技术优化方案，所述转动机构4还包括齿轮43和转轴44，所述齿条42啮合于所述齿轮43，所述齿轮43转动于所述底座12的内部并固定连接于所述转轴44的侧壁，所述转轴44的一端转动连接于所述底座12的内壁，所述转轴44的另一端贯穿所述底座12的顶端并固定连接于所述转盘11的内壁。

本实用新型在使用时，首先，操作人员先使用工具将支撑板13通过螺钉14固定在设备内部，然后在对基板进行刻蚀之前，先用手转动旋钮31，第一螺杆34的一端贯穿转盘11的内壁并延伸至旋钮31，旋钮31转动连接于转盘11的侧壁，转盘11的内部设有滑槽32，第一螺杆34转动连接于转盘11内部设有的滑槽32部位，且第一螺杆34两端的螺纹转动方向相反，两个滑块35对称滑动连接于转盘11内部设有的滑槽32部位，且滑块35螺纹连接于第一螺杆34的侧壁，滑块35的顶端固定连接于卡板33，两个卡板33对称滑动连接于转盘11的顶端，旋钮31转动带动第一螺杆34转动，进而使两个滑块35带动卡板33在滑槽32部位滑动，进而便于操作人员根据基板的大小来调整两个卡板33之间的距离，进而有利于提高装置的实用性；然后操作人员再放置基板时可以先用手拉动拉杆21，拉杆21固定于连接板22，连接板22抵触于卡板33侧壁并与滑杆25一端固定，滑杆25滑动于卡板33内且另一端固定于卡环23，卡环23滑动于调卡板33内，防滑垫24粘接于卡环23背离滑杆25的侧壁，压簧26套接于滑杆25的侧壁且两端分别固定连接于卡板33和卡环23，两个连杆27的一端对称转动连接于卡环23的内壁且另一端转动连接于卡板33的内壁，拉动拉杆21，进而使连接板22带动滑杆25滑动时卡环23对压簧26进行挤压，进而使卡环23在卡板33的内部滑动，进而便于操作人员将基板放入转盘11顶端，进而便于操作人员对基板进行固定，一定程度上也提高装置的使用效果；当基板刻蚀需要调整方向时，操作人员再使用工具转动第二螺杆41，第二螺杆41的一端贯穿并转动连接于底座12的内壁，且第二螺杆41贯穿齿条42的内壁，齿条42螺纹连接于第二螺杆41的侧壁并滑动连接于底座12的内部，齿条42啮合于齿轮43，齿轮43转动于底座12的内部并固定连接于转轴44的侧壁，转轴44的一端转动连接于底座12的内壁，转轴44的另一端贯穿底座12的顶端并固定连接于转盘11的内壁，第二螺杆41转动使齿条42在底座12内部滑动，进而使齿轮43转动带动转轴44转动，进而使转盘11在底座12的顶端转动，进而便于操作人员对基板的刻蚀方向进行更改，从而也防止了人工来回拆卸安装导致基板刻蚀效果产生误差的情况。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。