一种增强型线性离子源的制作方法

1.本实用新型涉及离子源技术领域，具体为一种增强型线性离子源。


背景技术：

2.离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，其在离子刻蚀和离子清洗方面使用比较广泛。
3.现有公开号为cn102254775b的中国专利，其公开了现有公开号为cn102254775b的中国专利，其公开了一种适用于离子束清洗，离子束刻蚀和离子束辅助沉积的磁场增强型线性离子源。包括阴极顶板、阴极外框、中央磁钢、外围磁钢、气路、水冷阳极和绝缘支柱。离子束引出口由构成阴极顶板的阴极顶板外环和阴极顶板内环之间开设的环状槽构成；中央磁钢和外围磁钢分别设在阴极外框内部的中间和外围，阴极顶板、阴极外框、中央磁钢和外围磁钢形成一个封闭的环形放电槽，阳极通过绝缘支柱支撑在环形放电槽中，位于环状离子束引出口下方，阳极上表面与离子引出口距离在5mm以上。
4.但是上述离子源无法根据需要调整自身状态，同时不利于清理镀膜碎片，为了解决这一问题，本实用新型发明人设计了本产品。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种增强型线性离子源，旨在改善离子源无法根据需要调整自身状态，同时不利于清理镀膜碎片的问题。
6.本实用新型是这样实现的：
7.一种增强型线性离子源，包括阴极外框和阳极，阳极的外侧设置有屏蔽罩，且阳极和屏蔽罩均位于阴极外框内部，阳极及屏蔽罩底端绝缘支柱穿过阴极外框，且绝缘支柱上套置有调节器件，调节器件位于阴极外框的下方，调节器件同时与绝缘支柱和阴极外框连接，调节器件包括齿轮组和多个连接杆，多个连接杆穿过齿轮组且其顶端卡扣安装在环形槽内，阴极外框的下方设置有外壳，调节器件位于外壳内部，本实用新型的设置便于提供一种新型的线性离子源，实现调节阳极的功能，进而根据需要调整阳极的高度，改变阳极和阴极顶板的间距，以便为清理积累的镀膜碎片提供便利，且便于根据不同工作需求调整本实用新型的状态，调节器件的设置便于通过自身的转动的调整阳极及其屏蔽罩的高度，齿轮组的设置便于通过链条连接，通过外力的作用带动齿轮组的转动，进而调整阳极及其屏蔽罩的高度，连接杆的设置便于连接齿轮组和阴极外框，为齿轮组的转动提供支撑，外壳的设置便于隔离调节器件，防止其外力作用影响阳极及其屏蔽罩的调节效果，同时外壳的设置便于为增强型线性离子源的冷却机构和进气结构提供安装空间。
8.进一步的，阴极外框外底面均匀的开设有穿孔，穿孔内侧设置有橡胶环垫，阴极外框的外底面在穿孔的侧边开设有环形槽，穿孔的设置便于为绝缘支柱的穿过提供必要通道，橡胶环垫的设置便于密封连接橡胶环垫和绝缘支柱，进而为气体介质提供密封空间，防止其泄露，环形槽的设置便于为连接杆的转轮的安装和移动提供空间，以便为齿轮组的转
动提供稳定支撑。
9.进一步的，绝缘支柱的侧面设置有螺纹结构，绝缘支柱穿过橡胶环垫，螺纹结构的设置便于实现绝缘支柱与齿轮组的螺纹连接，进而通过齿轮组的转动带动阳极和屏蔽罩升降。
10.进一步的，外壳靠近调节器件的侧面的开设有安装槽，且外壳开设有多个凹槽，安装槽的设置便于为调节器件和链条的安装提供足够空间，凹槽的设置便于为增强型线性离子源的冷却机构和进气结构提供安装空间。
11.进一步的，齿轮组的侧面的中部垂直开设有螺纹孔，齿轮组的侧面正对连接杆的位置处垂直开设有通孔，螺纹孔的设置便于螺纹连接齿轮组和绝缘支柱，进而通过齿轮组的转动带动阳极升降，通孔的设置便于为连接杆的穿过提供必要通道，进而将齿轮组稳定安装在阴极外框的下方，且不影响齿轮组的转动。
12.进一步的，连接杆的顶端活动连接有转轮，连接杆的侧面在齿轮组的上方固定连接有挡板，转轮的设置便于使连接杆在齿轮组的带动下在环形槽内移动，进而为齿轮组的转动提供便利，挡板的设置便于通过螺帽将齿轮组固定在连接杆上时抵挡齿轮组与阴极外框保持间隙，防止因摩擦力较大影响其转动。
13.使用前，首先将连接杆安装在环形槽内，再将绝缘支柱表面设置螺纹结构，再将阳极和屏蔽罩安装在阴极外框内且绝缘支柱穿过橡胶环垫，在将齿轮组套置在连接杆上并固定，同时通过链条连接多个齿轮组并与外接动力源相连，工作，根据需要调节阳极的位置，启动动力源工作，带动齿轮组转动，进而调节阳极的位置。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的设置便于提供一种新型的线性离子源，实现调节阳极的功能，进而根据需要调整阳极的高度，改变阳极和阴极顶板的间距，以便为清理积累的镀膜碎片提供便利，且便于根据不同工作需求调整本实用新型的状态，齿轮组的设置便于通过链条连接，通过外力的作用带动齿轮组的转动，进而调整阳极及其屏蔽罩的高度，连接杆的设置便于连接齿轮组和阴极外框，为齿轮组的转动提供支撑，且不影响齿轮组的转动。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
16.图1是本实用新型的整体结构示意图；
17.图2是本实用新型的阴极外框结构示意图；
18.图3是本实用新型的绝缘支柱结构示意图；
19.图4是本实用新型的外壳结构示意图；
20.图5是本实用新型的调节器件结构示意图；
21.图6是本实用新型的齿轮组结构示意图；
22.图7是本实用新型的连接杆结构示意图；
23.图中：1、阴极外框；11、橡胶环垫；12、环形槽；2、阳极；21、螺纹结构；3、外壳；31、安
装槽；4、调节器件；41、齿轮组；411、螺纹孔；412、通孔；42、连接杆；421、挡板；422、转轮。
具体实施方式
24.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。
25.实施例：参照图1和图5所示：一种增强型线性离子源，包括阴极外框1和阳极2，阳极2的外侧设置有屏蔽罩，且阳极2和屏蔽罩均位于阴极外框1内部，阳极2及屏蔽罩底端绝缘支柱穿过阴极外框1，且绝缘支柱上套置有调节器件4，调节器件4位于阴极外框1的下方，调节器件4同时与绝缘支柱和阴极外框1连接，调节器件4包括齿轮组41和多个连接杆42，多个连接杆42穿过齿轮组41且其顶端卡扣安装在环形槽12内，阴极外框1的下方设置有外壳3，调节器件4位于外壳3内部，本实用新型的设置便于提供一种新型的线性离子源，实现调节阳极2的功能，进而根据需要调整阳极2的高度，改变阳极2和阴极顶板的间距，以便为清理积累的镀膜碎片提供便利，且便于根据不同工作需求调整本实用新型的状态，调节器件4的设置便于通过自身的转动的调整阳极2及其屏蔽罩的高度，齿轮组41的设置便于通过链条连接，通过外力的作用带动齿轮组41的转动，进而调整阳极2及其屏蔽罩的高度，连接杆42的设置便于连接齿轮组41和阴极外框1，为齿轮组41的转动提供支撑，外壳3的设置便于隔离调节器件4，防止其外力作用影响阳极2及其屏蔽罩的调节效果，同时外壳3的设置便于为增强型线性离子源的冷却机构和进气结构提供安装空间。
26.参照图2所示：阴极外框1外底面均匀的开设有穿孔，穿孔内侧设置有橡胶环垫11，阴极外框1的外底面在穿孔的侧边开设有环形槽12，穿孔的设置便于为绝缘支柱的穿过提供必要通道，橡胶环垫11的设置便于密封连接橡胶环垫11和绝缘支柱，进而为气体介质提供密封空间，防止其泄露，环形槽12的设置便于为连接杆42的转轮422的安装和移动提供空间，以便为齿轮组41的转动提供稳定支撑。
27.参照图3所示：绝缘支柱的侧面设置有螺纹结构21，绝缘支柱穿过橡胶环垫11，螺纹结构21的设置便于实现绝缘支柱与齿轮组41的螺纹连接，进而通过齿轮组41的转动带动阳极2和屏蔽罩升降。
28.参照图4所示：外壳3靠近调节器件4的侧面的开设有安装槽31，且外壳3开设有多个凹槽，安装槽31的设置便于为调节器件4和链条的安装提供足够空间，凹槽的设置便于为增强型线性离子源的冷却机构和进气结构提供安装空间。
29.参照图6所示：齿轮组41的侧面的中部垂直开设有螺纹孔411，齿轮组41的侧面正对连接杆42的位置处垂直开设有通孔412，螺纹孔411的设置便于螺纹连接齿轮组41和绝缘支柱，进而通过齿轮组41的转动带动阳极2升降，通孔412的设置便于为连接杆42的穿过提供必要通道，进而将齿轮组41稳定安装在阴极外框1的下方，且不影响齿轮组41的转动。
30.参照图7所示：连接杆42的顶端活动连接有转轮422，连接杆42的侧面在齿轮组41
的上方固定连接有挡板421，转轮422的设置便于使连接杆42在齿轮组41的带动下在环形槽12内移动，进而为齿轮组41的转动提供便利，挡板421的设置便于通过螺帽将齿轮组41固定在连接杆42上时抵挡齿轮组41与阴极外框1保持间隙，防止因摩擦力较大影响其转动。
31.使用前，首先将连接杆42安装在环形槽12内，再将绝缘支柱表面设置螺纹结构21，再将阳极2和屏蔽罩安装在阴极外框1内且绝缘支柱穿过橡胶环垫11，在将齿轮组41套置在连接杆42上并固定，同时通过链条连接多个齿轮组41并与外接动力源相连，工作，根据需要调节阳极2的位置，启动动力源工作，带动齿轮组41转动，进而调节阳极2的位置。
32.以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。