一种半导体芯片退火炉的制作方法

1.本实用新型涉及半导体芯片技术领域，具体为一种半导体芯片退火炉。


背景技术：

2.半导体芯片，在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件。不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓(砷化镓有毒，所以一些劣质电路板不要好奇分解它)，锗等半导体材料。半导体也像汽车有潮流。二十世纪七十年代，因特尔等美国企业在动态随机存取内存市场占上风。但由于大型计算机的出现，需要高性能d
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ram的二十世纪八十年代，日本企业名列前茅。
3.目前市场上所使用的半导体芯片退火炉自动化程度较低，使得一般的半导体芯片退火炉在使用时，需要人工亲身进行操作，增加了一般半导体芯片退火炉的劳动力消耗，同时增加了一般半导体芯片退火炉的经济消耗，威胁了操作人员的生命健康，从而降低了一般半导体芯片退火炉的实用性。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体芯片退火炉，具备自动化程度较高等优点，解决了一般半导体芯片退火炉自动化程度较低的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述自动化程度较高的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体芯片退火炉，包括外壳，所述外壳的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的一侧固定连接有电机，所述电机的输出轴通过联轴器固定连接有固定齿轮，所述外壳的内壁固定连接有固定套筒，所述固定套筒的内壁活动连接有限位滑块，所述限位滑块的一侧固定连接有转杆，所述转杆的一端固定连接有风扇；
8.所述转杆的一端固定连接有从动齿轮，所述外壳的内部固定连接有加热装置，所述外壳的内壁活动连接有活动弹簧，所述活动弹簧的一端活动连接有活动卡板，所述活动卡板的一侧活动连接有隔离网，所述外壳的内壁固定连接有固定卡块，所述外壳的一侧活动连接有活动门，所述外壳的内壁固定连接有固定滑轨，所述固定滑轨的内壁活动连接有滑轮，所述滑轮的顶部固定连接有连接块，所述连接块的顶部固定连接有固定滑块，所述固定滑块的一侧活动连接有定位滑轨，所述定位滑轨的内壁活动连接有定位弹簧，所述定位滑轨的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧固定连接有拉杆，所述外壳的底部固定连接有支撑脚。
9.优选的，所述风扇的数量为三个，且关于固定齿轮的中心点环形分布，且风扇之间的风向相同，使得该装置的风向吹动均匀，降低了该装置的制作成本，提高了工作效率。
10.优选的，所述隔离网通过活动卡板与活动弹簧之间构成可拆卸结构，所述风扇通过转杆与固定套筒之间构成可拆卸结构，使得该装置能够便于工作人员的维修，提高了该
装置的耐久性。
11.优选的，所述支撑板的上表面固定连接有增加支撑板与物件摩擦力的防滑垫板，所述支撑板的一侧固定连接有限制支撑板移动的固定卡条，提高了该装置的防滑能力，避免了该装置的过度移动，减少了该装置的磨损。
12.优选的，所述定位弹簧的一端与固定滑块的一侧活动连接，所述定位滑轨的一端固定连接有限制固定滑块移动的限位卡块，提高了该装置的稳定性，使得该装置能够自动回弹，降低了该装置的劳动力消耗。
13.优选的，所述支撑脚的数量为四个，所述支撑脚的底部固定连接有橡胶垫板，增强了该装置的稳定性，避免了该装置出现倾倒的问题，提高了该装置的安全性。
14.优选的，所述滑轮设置有两组，且每组的数量为两个，所述固定滑轨的数量为两个，减少了该装置运行时发生的碰撞，提高了该装置的耐久性。
15.(三)有益效果
16.与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体芯片退火炉，具备以下有益效果：
17.1、该半导体芯片退火炉，通过设置的，拉杆、定位滑轨、连接块、支撑板、固定滑轨、定位弹簧、固定滑块和滑轮，使得该半导体芯片退火炉能够达到自动化程度较高的目的，解决了一般半导体芯片退火炉自动化程度较低的问题，使得该半导体芯片退火炉在使用时，避免了人工的亲身进行操作，减少了该半导体芯片退火炉的劳动力消耗，从而降低了该半导体芯片退火炉的经济消耗，保证了操作人员的生命健康，从而提升了该半导体芯片退火炉的实用性。
18.2、该半导体芯片退火炉，通过设置的隔离网、活动卡板、活动弹簧、外壳和固定卡块，使得该半导体芯片退火炉能够达到便于拆卸的目的，解决了一般半导体芯片退火炉不能便于拆卸的问题，使得该装置能够便于维修人员的维修，从而加快了使用者的工作进度，提高了使用者的经济效益，同时该半导体芯片退火炉能够便于清洗，从而提高了该半导体芯片退火炉的耐久性，延长了该装置的使用寿命，从而进一步提升了该半导体芯片退火炉的实用性。
19.3、该半导体芯片退火炉，通过设置的固定套筒、从动齿轮、转杆和风扇，使得该半导体芯片退火炉能够达到工作效率较高的效果，降低了该半导体芯片退火炉的加工时间，增加了该装置的经济效益，降低了该装置的制造成本。
附图说明
20.图1为本实用新型正剖图；
21.图2为本实用新型连接块和固定滑轨连接结构示意图；
22.图3为本实用新型固定套筒和转杆连接结构示意图；
23.图4为本实用新型图1中a处放大图。
24.图中：1、电机；2、支撑架；3、外壳；4、固定齿轮；5、加热装置；6、隔离网；7、活动卡板；8、活动门；9、活动弹簧；10、拉杆；11、定位滑轨；12、连接块；13、支撑脚；14、固定套筒；15、从动齿轮；16、转杆；17、风扇；18、支撑板；19、固定滑轨；20、定位弹簧；21、固定滑块；22、滑轮；23、限位滑块；24、固定卡块。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参阅图1
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4，一种半导体芯片退火炉，包括外壳3，外壳3的顶部固定连接有支撑架2，支撑架2的一侧固定连接有电机1，电机1的输出轴通过联轴器固定连接有固定齿轮4，外壳3的内壁固定连接有固定套筒14，固定套筒14的内壁活动连接有限位滑块23，限位滑块23的一侧固定连接有转杆16，转杆16的一端固定连接有风扇17；
27.转杆16的一端固定连接有从动齿轮15，外壳3的内部固定连接有加热装置5，外壳3的内壁活动连接有活动弹簧9，活动弹簧9的一端活动连接有活动卡板7，活动卡板7的一侧活动连接有隔离网6，外壳3的内壁固定连接有固定卡块24，外壳3的一侧活动连接有活动门8，外壳3的内壁固定连接有固定滑轨19，固定滑轨19的内壁活动连接有滑轮22，滑轮22的顶部固定连接有连接块12，连接块12的顶部固定连接有固定滑块21，固定滑块21的一侧活动连接有定位滑轨11，定位滑轨11的内壁活动连接有定位弹簧20，定位滑轨11的顶部固定连接有支撑板18，支撑板18的一侧固定连接有拉杆10，外壳3的底部固定连接有支撑脚13，风扇17的数量为三个，且关于固定齿轮4的中心点环形分布，且风扇17之间的风向相同，隔离网6通过活动卡板7与活动弹簧9之间构成可拆卸结构，通过设置的隔离网6、活动卡板7、活动弹簧9、外壳3和固定卡块24，使得该半导体芯片退火炉能够达到便于拆卸的目的，解决了一般半导体芯片退火炉不能便于拆卸的问题，使得该装置能够便于维修人员的维修，从而加快了使用者的工作进度，提高了使用者的经济效益，同时该半导体芯片退火炉能够便于清洗，从而提高了该半导体芯片退火炉的耐久性，延长了该装置的使用寿命，从而进一步提升了该半导体芯片退火炉的实用性，风扇17通过转杆16与固定套筒14之间构成可拆卸结构，支撑板18的上表面固定连接有增加支撑板18与物件摩擦力的防滑垫板，支撑板18的一侧固定连接有限制支撑板18移动的固定卡条，定位弹簧20的一端与固定滑块21的一侧活动连接，定位滑轨11的一端固定连接有限制固定滑块21移动的限位卡块，支撑脚13的数量为四个，支撑脚13的底部固定连接有橡胶垫板，滑轮22设置有两组，且每组的数量为两个，固定滑轨19的数量为两个，通过设置的，拉杆10、定位滑轨11、连接块12、支撑板18、固定滑轨19、定位弹簧20、固定滑块21和滑轮22，使得该半导体芯片退火炉能够达到自动化程度较高的目的，解决了一般半导体芯片退火炉自动化程度较低的问题，使得该半导体芯片退火炉在使用时，避免了人工的亲身进行操作，减少了该半导体芯片退火炉的劳动力消耗，从而降低了该半导体芯片退火炉的经济消耗，保证了操作人员的生命健康，从而提升了该半导体芯片退火炉的实用性，通过设置的固定套筒14、从动齿轮15、转杆16和风扇17，使得该半导体芯片退火炉能够达到工作效率较高的效果，降低了该半导体芯片退火炉的加工时间，增加了该装置的经济效益，降低了该装置的制造成本。
28.该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
29.在使用时，打开活动门8，拉动拉杆10，使得拉杆10带动支撑板18顺着固定滑轨19移动，使得连接块12移动到固定滑轨19的一端时，连接块12顶部的固定滑块21顺着定位滑
轨11移动，同时固定滑块21挤压定位弹簧20，从而将支撑板18抽出，讲物料放置在支撑板18上，松开拉杆10，使得定位弹簧20挤压固定滑块21移动，使得支撑板18顺着固定滑轨19回到原始位置，关闭活动门8，启动电机1，使得电机1带动固定齿轮4转动，固定齿轮4带动从动齿轮15转动，使得从动齿轮15带动转杆16转动，带动风扇17转动，启动加热装置5，从而对物料进行加工，按压活动卡板7，使得活动卡板7挤压活动弹簧9收缩，从而将隔离网6进行拆卸，对隔离网6进行维修和清理，同时对装置内部进行检修，从而使得该装置能够达到自动化程度较高的目的。
30.综上所述，该半导体芯片退火炉，能够达到自动化程度较高的目的，使得该装置操作简单使用便捷。
31.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。