一种新型硅片花篮的制作方法

1.本实用新型涉及硅片领域，特别涉及一种新型硅片花篮。


背景技术：

2.半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷，在对大块的硅片材料进行清洗时需要将硅片材料插接固定在硅片花篮内，这样操作可以提高硅片的清洗效果。
3.现有的硅片花篮多为一体成型，若其中一个插接杆出现损坏，则整个硅片花篮就无法再进行使用，造成资源浪费的同时还提高了使用成本。


技术实现要素：

4.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种新型硅片花篮，以解决背景技术中提到的问题。
5.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
6.一种新型硅片花篮，包括第一连接板与第二连接板，所述第一连接板与所述第二连接板之间插接有若干连接杆，所述连接杆上设置有若干用于插接硅片的插槽，所述第一连接板的端部固定连接有若干固定杆，所述固定杆的一端穿过所述第二连接板并螺纹连接有锁紧螺母；
7.所述第一连接板与所述第二连接板的底端均开设有卡接槽，所述第一连接板与所述第二连接板的顶部均固定连接有与所述卡接槽相适配的卡接块，所述第一连接板与所述第二连接板的内侧均固定连接有限位板。
8.本新型硅片花篮，通过固定杆与第二连接板可拆卸连接，且若干连接杆插接在第一连接板与第二连接板之间，可实现对连接杆进行快速更换的目的，解决了现有技术中硅片花篮无法单独更换损坏的插接杆，造成资源浪费与提高使用成本的问题；
9.本新型硅片花篮，通过卡接槽和卡接块的设置，可以方便将多个硅片花篮进行叠层放置，通过限位板的设置可以对两个叠层放置的硅片花篮进行限位，防止出现硅片花篮滑脱的现象。
10.较佳的，若干所述固定杆远离所述第一连接板的端部均固定连接有第一限位环，若干所述第一限位环的端面均处在同一垂直面；通过第一限位环的设置，可以对固定杆进行限位，使其与第二连接板紧密贴合固定。
11.较佳的，所述连接杆的两端均固定连接有限位部，所述第一连接板与所述第二连接板上均开设有供所述限位部插入的限位槽；通过限位部与限位槽的设置，可以对连接杆
进行有效限位，防止其发生晃动，进而确保了若干插槽之间的对称性。
12.较佳的，所述连接杆的两端均固定连接有第二限位环，若干所述第二限位环分别与所述第一连接板、所述第二连接板的端面接触连接；通过第二限位环的设置，可以对连接杆进行有效限位，防止其在第一连接板与第二连接板上过度滑移。
13.较佳的，所述第一连接板与所述第二连接板的中心处均开设有矩形开口；通过矩形开口的设置，可以减轻本硅片花篮的整体重量，降低制造成本。
14.较佳的，所述第一连接板与所述第二连接板的顶端均开设有腰型槽；通过腰型槽的设置可以方便拿取本硅片花篮。
15.较佳的，所述第一连接板的端面固定连接有两个倾斜导向板，两个所述倾斜导向板的另一端与所述第二连接板接触连接；通过两个倾斜导向板的设置可以方便硅片材料的插入，同时还不会妨碍连接杆的更换。
16.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
17.本新型硅片花篮，通过固定杆与第二连接板可拆卸连接，且若干连接杆插接在第一连接板与第二连接板之间，可实现对连接杆进行快速更换的目的，解决了现有技术中硅片花篮无法单独更换损坏的插接杆，造成资源浪费与提高使用成本的问题；
18.本新型硅片花篮，通过卡接槽和卡接块的设置，可以方便将多个硅片花篮进行叠层放置，通过限位板的设置可以对两个叠层放置的硅片花篮进行限位，防止出现硅片花篮滑脱的现象。
附图说明
19.图1为本实用新型的结构示意图之一；
20.图2为本实用新型的结构示意图之二；
21.图3为本实用新型的机构剖视图；
22.图4为本实用新型的叠层结构示意图。
23.附图标记：1、第一连接板；2、第二连接板；3、连接杆；4、插槽；5、固定杆；6、锁紧螺母；7、卡接槽；8、卡接块；9、限位板；10、第一限位环；11、限位部；12、限位槽；13、第二限位环；14、矩形开口；15、腰型槽；16、倾斜导向板。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.实施例
26.参考图1
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图4，一种新型硅片花篮，包括第一连接板1与第二连接板2，第一连接板1与第二连接板2之间插接有若干连接杆3，连接杆3上设置有若干用于插接硅片的插槽4，第一连接板1的端部固定连接有若干固定杆5，固定杆5的一端穿过第二连接板2并螺纹连接有锁紧螺母6；
27.第一连接板1与第二连接板2的底端均开设有卡接槽7，第一连接板1与第二连接板
2的顶部均固定连接有与卡接槽7相适配的卡接块8，第一连接板1与第二连接板2的内侧均固定连接有限位板9。
28.参考图2，若干固定杆5远离第一连接板1的端部均固定连接有第一限位环10，若干第一限位环10的端面均处在同一垂直面；通过第一限位环10的设置，可以对固定杆5进行限位，使其与第二连接板2紧密贴合固定。
29.参考图2，连接杆3的两端均固定连接有限位部11，第一连接板1与第二连接板2上均开设有供限位部11插入的限位槽12；通过限位部11与限位槽12的设置，可以对连接杆3进行有效限位，防止其发生晃动，进而确保了若干插槽4之间的对称性。
30.参考图2，连接杆3的两端均固定连接有第二限位环13，若干第二限位环13分别与第一连接板1、第二连接板2的端面接触连接；通过第二限位环13的设置，可以对连接杆3进行有效限位，防止其在第一连接板1与第二连接板2上过度滑移。
31.参考图2，第一连接板1与第二连接板2的中心处均开设有矩形开口14；通过矩形开口14的设置，可以减轻本硅片花篮的整体重量，降低制造成本。
32.参考图2，第一连接板1与第二连接板2的顶端均开设有腰型槽15；通过腰型槽15的设置可以方便拿取本硅片花篮。
33.参考图2，第一连接板1的端面固定连接有两个倾斜导向板16，两个倾斜导向板16的另一端与第二连接板2接触连接；通过两个倾斜导向板16的设置可以方便硅片材料的插入，同时还不会妨碍连接杆3的更换。
34.使用原理及优点：
35.本新型硅片花篮在使用时，当其中一个连接杆3出现损坏时，松动若干固定杆5一端的锁紧螺母6，使第二连接板2脱离若干固定杆5，即解除对若干连接杆3的限位，此时只需将损坏的连接杆3拔出并取下，再将完好的连接杆3插接在第一连接板1与第二连接板2之间，最后拧紧固定杆5端部的锁紧螺母6即可；在进行叠层放置时，将上方硅片花篮底端的卡接槽7插接在下方硅片花篮顶端的卡接块8上，此时上方硅片花篮的两个限位板9对下方硅片花篮的两个卡接块8进行限位，防止其发生移位。
36.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。