一种阻蒸大电流的浮动接触装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空设备技术领域，具体地说，是一种阻蒸大电流的浮动接触装置。


背景技术：

2.在现有的镀膜环境下有很多是需要热蒸发进行成膜的，传统的热蒸发方式有电子束蒸发及电阻蒸发，传统的（多位）电阻蒸发必须将电极引入真空室内进行接触，达到提供大电流的目的。电极一般有直接接触，还有浮动接触。缺点就是对腔体的基础加工平面要求高，如不平将会导致大电流发热，或烧毁电极等，还有对真空动密封一般采用橡胶密封，可靠性不是太好；使用频率低。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于设计一种阻蒸大电流的浮动接触装置，在使用时，即便上端接触位置平面度有问题，接触电极将会在伸缩气缸与接触电极关节连接处浮动以适应接触面，从而达到完全接触的效果。
4.本实用新型通过下述技术方案实现：一种阻蒸大电流的浮动接触装置，设置在真空腔体内，包括密封骨架，在密封骨架内设置有水冷大电流电极，在水冷大电流电极的一端同轴设置有波纹管，在波纹管的远水冷大电流电极端设置有接触电极，在水冷大电流电极与接触电极之间还设置有接触铜带，在接触电极上还作动配合有伸缩气缸。
5.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述接触铜带围设在波纹管的外侧。
6.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述伸缩气缸的活塞端通过杆件贯穿波纹管连接接触电极。
7.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述接触电极、波纹管和水冷大电流电极同轴设置。
8.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：在真空腔体上所述伸缩气缸位于大气侧，接触电极、接触铜带和波纹管位于真空侧。
9.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述波纹管焊接在接触电极和水冷大电流电极上。
10.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述接触铜带采用软铜带。
11.本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
12.本实用新型相较于传统的结构，该浮动接触装置真空可靠性很好，比传统的橡胶密封使用寿命高出几十倍，双软铜排电极的设计结构更紧凑。
13.本实用新型所设置的接触铜带可以适应不同的角度，波纹管可以提高真空的可靠性。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图。
15.其中，1-接触电极、2-接触铜带、3-波纹管、4-水冷大电流电极、5-真空腔体、6-密封骨架、7-伸缩气缸。
具体实施方式
16.下面结合实施例对本实用新型作进一步地详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
17.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。
18.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
19.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上， 除非另有明确具体的限定。
20.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“布设”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体，具体通过什么手段不限于螺接、过盈配合、铆接、螺纹辅助连接等各种常规机械连接方式。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
22.值得注意的是：在本技术中，某些需要应用到本领域的公知技术或常规技术手段时，申请人可能存在没有在文中具体的阐述该公知技术或/和常规技术手段是一种什么样的技术手段，但不能以文中没有具体公布该技术手段，而认为本技术不符合专利法第二十六条第三款的情况。
23.实施例：
24.如图1所示，一种阻蒸大电流的浮动接触装置，设置在真空腔体5内，包括密封骨架6，在密封骨架6内设置有水冷大电流电极4，在水冷大电流电极4的一端同轴设置有波纹管3，在波纹管3的远水冷大电流电极4端设置有接触电极1，在水冷大电流电极4与接触电极1之间还设置有接触铜带2，在接触电极1上还作动配合有伸缩气缸7。
25.作为优选的设置方案，接触铜带2围设在波纹管3的外侧，在设置时，两排接触铜带2对称的设置在波纹管3的两侧，并使得接触铜带2分别与接触电极1和水冷大电流电极4相连接。
26.作为优选的设置方案：伸缩气缸7的活塞端通过杆件贯穿波纹管3连接接触电极1。
27.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述接触电极1、波纹管3和水冷大电流电极4同轴设置。
28.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：在真空腔体5上所述伸缩气缸7位于大气侧，接触电极1、接触铜带2和波纹管3位于真空侧。
29.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述波纹管3焊接在接触电极1和水冷大电流电极4上。
30.进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述接触铜带2采用软铜带。
31.在密封骨架6上连接有电源。
32.其工作原理：
33.伸缩气缸7推动活塞杆将力传递给接触电极1，使接触电极1向上运动，接触电极1然后带动接触铜带2向上运动，在运动过程中接触铜带2和波纹管3将会产生形变，如上端接触位置平面度有问题，接触电极1将会在伸缩气缸7与接触电极1关节连接处浮动以适应接触面，而达到完全接触的效果。接触铜带2此处作用是保证将水冷大电流电极4的电流带入接触电极1。波纹管3在此处可以保证接触电极1很好的接触而不对密封产生影响，如本体温度很高，此处结构耐温可以达到很高。同时由于是金属材质导热很好可以将多余热量导出由水冷大电流电极4带出。
34.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均在本实用新型的保护范围之内。