光谱芯片和光谱分析装置的制作方法

文档序号:29656666发布日期:2022-04-14 20:11阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种光谱芯片,其特征在于,包括:传感单元,包括至少一物理像素;位于所述传感单元的感光路径上的滤光结构,所述滤光结构包括至少一滤光结构单元,其中,每一个所述滤光结构单元对应于至少一个所述物理像素形成一个像素单元;和形成于所述像素单元之间以用于防止相邻的所述像素单元之间发生串扰的栅格。2.根据权利要求1所述的光谱芯片,其特征在于,一个所述滤光结构单元对应于一个所述物理像素。3.根据权利要求1所述的光谱芯片,其特征在于,一个所述滤光结构单元对应于多个所述物理像素。4.根据权利要求1所述的光谱芯片,其特征在于,所述传感单元包括衬底层和形成于所述衬底层上的所述至少一物理像素。5.根据权利要求4所述的光谱芯片,其特征在于,所述栅格包绕地形成于每个所述像素单元的外周。6.根据权利要求5所述的光谱芯片,其特征在于,部分所述像素单元的整个外周被所述栅格所环绕,部分所述像素单元的外周的至少一部分被所述栅格所包绕。7.根据权利要求6所述的光谱芯片,其特征在于,所述栅格和所述滤光结构形成于所述传感单元的上表面,且所述栅格的高度大于等于所述滤光结构单元的厚度。8.根据权利要求6所述的光谱芯片,其特征在于,所述栅格形成于所述传感单元的上表面,所述光谱芯片进一步包括形成于所述栅格之间的填充层,所述滤光结构形成于所述填充层上。9.根据权利要求5所述的光谱芯片,其特征在于,所述栅格具有上小下大的结构,以通过包绕地形成于每个所述像素单元的外周的所述栅格形成上大下小的进光空间。10.根据权利要求9所述的光谱芯片,其特征在于,所述栅格具有自上而下倾斜地往里延伸的侧面。11.根据权利要求1所述的光谱芯片,其特征在于,每一所述滤光结构单元包括上下对应的第一滤光结构子单元和第二滤光结构子单元。12.根据权利要求11所述的光谱芯片,其特征在于,每个所述滤光结构单元进一步包括设置于所述第一滤光结构子单元和所述第二滤光结构子单元之间的连接层。13.根据权利要求7或8所述的光谱芯片,其特征在于,包括形成于所述滤光结构上的微透镜阵列。14.根据权利要求1所述的光谱芯片,其特征在于,所述至少一物理像素中至少部分物理像素没有与所述滤光结构单元相对应。15.根据权利要求14所述的光谱芯片,其特征在于,没有与所述滤光结构单元相对应的所述物理像素之间设置有栅格。16.一种光谱分析装置,其特征在于,包括:线路板;由如权利要求1至15任一所述的光谱芯片,所述光谱芯片电连接于所述线路板;以及被保持于所述光谱芯片的感光路径上的光学系统。

技术总结
本申请涉及一种光谱芯片和光谱分析装置,其中,所述光谱芯片包括:包括至少一物理像素的传感单元;位于所述传感单元的感光路径上的滤光结构,所述滤光结构包括至少一滤光结构单元,其中,每一个所述滤光结构单元对应于至少一个所述物理像素以通过相互匹配的一个所述滤光结构单元和至少一个所述物理像素形成一个像素单元;以及,形成于所述像素单元之间以用于防止相邻的所述像素单元之间发生串扰的栅格。这样,所述光谱芯片通过所述栅格来避免进入像素单元之间的入射光之间发生串扰。进入像素单元之间的入射光之间发生串扰。进入像素单元之间的入射光之间发生串扰。


技术研发人员:覃秋军 丛培沛 黄志雷 王宇
受保护的技术使用者:北京与光科技有限公司
技术研发日:2021.08.27
技术公布日:2022/4/13
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