用于氧化工艺的点火注入装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体工艺中的辅助装置技术领域，具体涉及用于氧化工艺的点火注入装置。


背景技术：

2.在半导体器件制造中，常用到湿氧工艺，即用氧气携带高温水蒸气在硅衬底上生长二氧化硅膜，湿氧工艺中，高温水蒸气的纯度对于工艺质量具有重要影响，水蒸汽的纯度不高会导致二氧化硅膜杂质含量高、膜品质不佳。为提高水的纯度，常采用高纯氢气与高纯氧气燃烧(氢氧合成)的方式产生高纯度的水。氢氧合成是在石英管尾部，高纯氢气高纯与氧气燃烧产生高温水汽，高温水汽与氧气混合进入石英反应筒完成湿氧工艺。氢氧合成装置对于氢氧合成工艺具有关键作用，炉管与反应筒连接处石英球碗与石英球头或石英球碗与碳化硅球头在氢氧合成点火工艺中由于氢氧合成时的冲击力较大，石英材质球碗强度较差容易造成不易发现的裂纹，造成批量异常报废，严重影响生产效率。


技术实现要素：

3.针对上述现有技术的不足，本实用新型提供了用于氧化工艺的点火注入装置，目的是为了解决炉管与反应筒连接处石英球碗与石英球头或石英球碗与碳化硅球头在氢氧合成点火工艺中由于氢氧合成时的冲击力较大，石英材质球碗强度较差容易造成不易发现的裂纹，造成批量异常报废，严重影响生产效率的技术问题。
4.本实用新型提供的用于氧化工艺的点火注入装置，具体技术方案如下：
5.用于氧化工艺的点火注入装置，包括反应筒和点火炉，所述反应筒和所述点火炉通过碳化硅连接管连接。
6.在某些实施方式中，所述碳化硅连接管一体成型且两端口为碗状设置。
7.进一步，所述反应筒的筒口一体延长设有连接管，所述连接管的端口配合所述碳化硅连接管的端口为球头状设置，所述点火炉的炉口一体延伸有炉管，所述炉管的端口配合所述碳化硅连接管的端口为球头状设置。
8.进一步，所述碳化硅连接管两端口的口径大于所述碳化硅连接管中段的直径。
9.本实用新型具有以下有益效果：本实用新型提供的用于氧化工艺的点火注入装置，通过碳化硅连接管替代原先炉管与反应筒连接处石英球碗与石英球头(或碳化硅球头)，避免在氢氧合成点火工艺中由于氢氧合成时的冲击力较大，石英材质球碗出现的裂纹，从而缓解了批量报废的情况，提升生产效率。
附图说明
10.图1是本实用新型实施例1中碳化硅连接管的立体结构示意图；
11.图2是本实用新型实施例1中碳化硅连接管的剖视图；
12.图3是本实用新型实施例1中点火炉的剖视图；
13.图4是本实用新型实施例1中反应筒的剖视图。
具体实施方式
14.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图1-4，对本实用新型进一步详细说明。
15.实施例1
16.本实用新型提供的用于氧化工艺的点火注入装置，具体技术方案如下：
17.用于氧化工艺的点火注入装置，包括反应筒2和点火炉1，反应筒2和点火炉1通过碳化硅连接管3连接。如此反应筒2和点火炉1不是直接的硬性连接，中间通过设置碳化硅连接管3从而避免两个石英材质的物体相互碰撞或应力引起的裂纹。
18.具体地，碳化硅连接管一体成型且两端口为碗状设置。两端口碗状设置的碳化硅连接管更便于套接在反应筒2和点火炉1上。
19.具体地，反应筒2的筒口一体延长球头设有连接管21，连接管21的端口配合碳化硅连接管3的端口为球头状设置，点火炉1的炉口一体延伸有炉管11，炉管11的端口配合碳化硅连接管3的端口为球头状设置。连接管21的端口和炉管11的端口均为球头状设置，一方面用于配合碳化硅连接管3两端的球碗，另一个方面，球头状设置使连接处的管壁较厚，从而保证了强度，进一步防止炸裂。
20.具体地，碳化硅连接管3两端口的口径大于碳化硅连接管3中段的直径。如此，相比于直径一致的管体，更容易套在球头状设置的连接管21的端口和炉管11的端口。
21.上述仅本实用新型较佳可行实施例，并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不限于上述举例，本技术领域的技术人员，在本实用新型的实质范围内，所作出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.用于氧化工艺的点火注入装置，其特征在于，包括反应筒和点火炉，所述反应筒和所述点火炉通过碳化硅连接管连接。2.根据权利要求1所述的用于氧化工艺的点火注入装置，其特征在于，所述碳化硅连接管一体成型且两端口为碗状设置。3.根据权利要求2所述的用于氧化工艺的点火注入装置，其特征在于，所述反应筒的筒口一体延长设有连接管，所述连接管的端口配合所述碳化硅连接管的端口为球头状设置，所述点火炉的炉口一体延伸有炉管，所述炉管的端口配合所述碳化硅连接管的端口为球头状设置。4.根据权利要求2所述的用于氧化工艺的点火注入装置，其特征在于，所述碳化硅连接管两端口的口径大于所述碳化硅连接管中段的直径。

技术总结
本实用新型属于半导体工艺中的辅助装置技术领域，具体涉及用于氧化工艺的点火注入装置，包括反应筒和点火炉，所述反应筒和所述点火炉通过碳化硅连接管连接。本实用新型提供的用于氧化工艺的点火注入装置，通过碳化硅连接管替代原先炉管与反应筒连接处石英球碗与石英球头，避免在氢氧合成点火工艺中由于氢氧合成时的冲击力较大，石英材质球碗出现的裂纹，从而缓解了批量报废的情况，提升生产效率。提升生产效率。提升生产效率。


技术研发人员：邓南翔
受保护的技术使用者：无锡沃尼克半导体科技有限公司
技术研发日：2021.09.15
技术公布日：2022/2/22