一种智能机台及搬运系统的制作方法

1.本实用新型属于半导体搬运技术领域，更确切的说涉及晶圆传送盒搬运领域，尤其涉及一种智能机台及搬运系统。


背景技术：

2.现阶段生产过程中晶圆传送盒(foup)的经停位置主要有存储格位、量测机台、加工机台等，分别用于foup盒的存储、晶圆量测和晶圆加工等，而当天车在运行中对于晶圆传送盒中晶圆，或者晶圆传送盒本体在特殊情况需要暂时隔离出来时，没有专门暂存设备对晶圆传送盒进行接收，和/或并在需要时重新传输到天车上。
3.基于以上本技术提供了解决以上技术问题的技术方案。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的是克服现有技术缺陷，提供一种智能机台及搬运系统，解决了现有技术方案中没有专用的暂存设备对存在状态异常的晶圆传送盒，以及进行接收并在需要时重新传输到天车的技术问题。
5.本实用新型提供的技术方案如下：一种智能机台，包括：机台本体、操作平台和电控箱；在机台本体上设置有至少一个用于放置晶圆传送盒的操作工位；每个操作工位下均对应设置有一个操作平台，操作平台上设置有操作面板；电控箱设置在机台本体的下方，在电控箱内设置有控制组件，控制组件与操作面板电连接，控制组件能够与天车进行通讯，以控制天车将状态异常的晶圆传送盒放置在操作工位或者将处理后的晶圆传送盒由操作工位取出。
6.进一步地，每个操作工位均包括左侧板、右侧板、后侧板以及托盘，左侧板和右侧板平行相对设置，后侧板两侧分别连接左侧板和右侧板，托盘上表面与左侧板、右侧板和后侧板的下端均抵接。
7.进一步地，托盘的上表面上设置有至少两个开关，每个开关均与控制组件电连接。
8.进一步地，托盘的上表面设置有定位部，操作工位上的晶圆传送盒对应设置有定位配合部，定位配合部能够与定位部配合连接。
9.进一步地，定位部为设置在托盘的上表面的多个定位销，多个定位销沿托盘的上表面间隔设置，定位配合部为设置在晶圆传送盒底壁上的多个定位配合孔，多个定位销与多个定位配合孔一一对应配合。
10.进一步地，托盘的上表面上还设置有用于检测晶圆传送盒位置信息的距离设定型光电开关，距离设定型光电开关与控制组件电连接。
11.进一步地，托盘的上表面上还设置有用于识别晶圆传送盒id信息的识别装置，识别装置与控制组件电连接。
12.进一步地，电控箱包括：箱体本体，设置在操作平台下方并具有内腔，控制组件设置在内腔中；工控触摸一体机，设置在箱体本体的一侧壁面上，且工控触摸一体机与控制组
件电连接。
13.进一步地，控制组件包括：集成电路板，固定在内腔中并与操作平台上的功能区以及工控触摸一体机电连接；e84控制器，固定在内腔中并与集成电路板连接，e84控制器能够与天车进行通讯；电源开关，固定在内腔中并与集成电路板、e84控制器和工控触摸一体机电连接。
14.本实用新型还提供了一种搬运系统，包括智能机台和天车，智能机台上述的智能机台，天车能够将状态异常的晶圆传送盒放置在操作工位或者将处理后的晶圆传送盒由操作工位取出。
15.通过本实用新型提供的一种智能机台及搬运系统，能够带来以下至少一种有益效果：通过设置本实施例的智能机台，可以对存在特殊情况需要暂时隔离出来晶圆传送盒进行操作，即通过控制组件与天车进行通讯，将状态异常的晶圆传送盒放置在操作工位或者将处理后的晶圆传送盒由操作工位取出，从而解决了现有技术方案中没有专用的暂存设备对存在状态异常的晶圆传送盒进行接收，并在需要时重新传输到天车的技术问题。
附图说明
16.下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
17.图1为本实用新型实施例的主视结构示意图；
18.图2为本实用新型实施例的俯视结构示意图；
19.图3为本实用新型实施例中电控箱的结构示意图。
20.图中附图标记：1、机台本体；3、操作平台；4、电控箱；5、四色灯；6、晶圆传送盒；11、左侧板；12、托盘；13、右侧板；14、后侧板；21、开关； 22、定位销；23、距离设定型光电开关；24、识别装置；31、lcd面板显示器；32、指示灯按钮；33、急停开关；41、工控触摸一体机；42、集成电路板； 43、电源开关；44、e84控制器。
具体实施方式
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
22.如图1至图3所示，本实用新型实施例提供了一种智能机台，包括：机台本体1、操作平台3和电控箱4。在机台本体1上设置有至少一个用于放置晶圆传送盒6的操作工位；每个操作工位下均对应设置有一个操作平台3，操作平台3上设置有操作面板；电控箱4设置在机台本体1的下方，在电控箱4 内设置有控制组件，控制组件与操作面板电连接，控制组件能够与天车进行通讯，以控制天车将状态异常的晶圆传送盒6放置在操作工位或者将处理后的晶圆传送盒6由操作工位取出。
23.通过设置本实施例的智能机台，可以对存在特殊情况需要暂时隔离出来晶圆传送盒6进行操作，即通过控制组件与天车进行通讯，将状态异常的晶圆传送盒6放置在操作工位或者将处理后的晶圆传送盒6由操作工位取出，从而解决了现有技术方案中没有专用的
暂存设备对存在状态异常的晶圆传送盒6进行接收，并在需要时重新传输到天车的技术问题。
24.本实施例中操作工位以两个进行说明，沿水平方向依次设置，且两个操作工位的开口朝向均相同。具体的根据使用环境的需求适当调整，工位数量不做限制。
25.每个操作工位均包括左侧板11、右侧板13、后侧板14以及托盘12，左侧板11和右侧板13平行相对设置，后侧板14两侧分别连接左侧板11和右侧板13，托盘12上表面与左侧板11、右侧板13和后侧板14的下端均抵接。
26.本实施例中左侧板11、右侧板13、后侧板14以及托盘12形成两面开口的箱体结构，从而可以便于天车进行搬运晶圆传送盒6，当根据不同需要，可以考虑将相邻的两操作工位连接处仅设置有一块中间连接板以取代图2所示的左侧板11和右侧板13互相抵接的安装方式，从而达到节约成本的目的。
27.需要说明的是，本实施例中左侧板11、右侧板13和后侧板14均采用pc 板制成，以达到减少静电及尘雾的目的。本实施例中左侧板11、右侧板13和后侧板14的材质并不限于上述材质，可以根据不同的工况进行调整，以实现最优效果。
28.托盘12的上表面上设置有至少两个开关21，每个开关21均与控制组件电连接。具体地，本实施例中开关21为两个非直线位置的按钮型光电开关，在晶圆传送盒6放置在托盘12上表面上时，将两个非直线位置的按钮型光电开关均触发才可发送对应的感应信号至控制组件，从而起到防误触的目的。
29.上述按钮型光电开关也可以采用感应开关，通过设置感应开关可以感应晶圆传送盒6的具体位置，从而对应发送感应信号至控制组件，以完成后续操作。需要注意的是，感应开关的设置也应满足错位多点设置，即当触发至少两组感应开关时才可以发送感应信号至控制组件，以实现双重确认防止误触的目的。
30.如图2所示，本实施例中托盘12的上表面设置有定位部，操作工位上的晶圆传送盒6对应设置有定位配合部，定位配合部能够与定位部配合连接。
31.通过设置上述定位部和定位配合部，可以实现晶圆传送盒6的定位，使晶圆传送盒6的按照设定的方向和位置放置在操作工位上，以便于后续的取放操作。
32.具体地，定位部为设置在托盘12的上表面的多个定位销22，多个定位销 22沿托盘12的上表面间隔设置，定位配合部为设置在晶圆传送盒6底壁上的多个定位配合孔，多个定位销22与多个定位配合孔一一对应配合。
33.本实施例中上述定位销22为三个，呈三角形结构布置，对应的上述定位配合孔也应为三个，与上述定位销22的位置对应，且能够与上述三个定位销 22一一对应插接配合。
34.本实施例中，定位销22的数量还可以为四个、五个甚至更多，定位销22 的设置位置应不干涉其他部件正常运行。
35.根据不同工况需要，还可以考虑在左侧板11、右侧板13或者后侧板14 上设置定位销22，在晶圆传送盒6对应侧壁上设置定位配合孔。
36.本实施例中，托盘12的上表面上还设置有用于检测晶圆传送盒6位置信息的距离设定型光电开关23，距离设定型光电开关23与控制组件电连接。距离设定型光电开关23能够检测晶圆传送盒6位置信息并将含有该位置信息的信号发送至控制组件，以为控制组件提供晶圆传送盒6具体位置(例如当前工序、位置、是否回归天车队列等信息)，便于控制组
件进行计算分析，以执行后续操作。
37.进一步地，托盘12的上表面上还设置有用于识别晶圆传送盒6的id信息的识别装置24，识别装置24与控制组件电连接。本实施例中识别装置24可以为无线射频识别组件或者条码识别组件等等，凡是可以识别晶圆传送盒6 的id信息的识别装置24均应该在本技术的保护范围内。id信息的识别装置24不限于图像识别装置、感应识别装置等。
38.本实施例中射频识别组件设置在托盘12上，当然根据不同需要也可以设置在其他位置，例如在左侧板11、右侧板13或者后侧板14上。
39.如图2所示，本实施例中操作平台3上设置有lcd面板显示器31、指示灯按钮32和急停开关33，lcd面板显示器31能够显示当前的操作状态，上述指示灯按钮32包括上位指示灯按钮和下位指示灯按钮。上位指示灯为人工触发按钮，用于与本实施例中控制组件进行交互，以发送对应的交互信号至控制组件，实现下一步骤的延时执行。下位指示灯为电源指示灯，当下位指示灯亮时表示上电成功，并且可以在故障排查时来区分供电回路故障和通信回路故障。急停开关33能够控制本实施例停止，以应对突发状况的发生。
40.如图3所示，电控箱4包括箱体本体和工控触摸一体机41。箱体本体设置在操作平台3下方并具有内腔，控制组件设置在内腔中；工控触摸一体机 41，设置在箱体本体的一侧壁面上，且工控触摸一体机41与控制组件电连接。
41.工控触摸一体机41可以在整机初始设置、复位等情况时实现人机交互，便于操作员进行操作。
42.工控触摸一体机41可以选择设置在位于外侧的左侧板11或者右侧板13 上，便于工作人员在操作的同时对晶圆传送盒进行观察，可以防止夹持不稳等突发事件发生。
43.进一步地，控制组件包括集成电路板42、电源开关43和e84控制器44。集成电路板42固定在内腔中并与操作平台3上的功能区以及工控触摸一体机 41电连接；e84控制器44固定在内腔中并与集成电路板42连接，e84控制器 44能够与天车进行通讯；电源开关43固定在内腔中并与集成电路板42、e84 控制器44和工控触摸一体机41电连接。e84控制器44能够与天车进行实时通讯。集成电路板42能能够接收并处理e84控制器44、操作平台3以及各开关组件传输来的信号，以处理分析当前晶圆传送盒的状态并对应执行的后续操作。
44.需要说明的是，e84控制器44是半导体semiⅱ的通讯控制标准，也是具有握手协议功能的软硬件，e84控制器44能让不同的设备之间进行交互。
45.本实用新型实施例还提供了一种搬运系统，包括智能机台和天车，智能机台为上述的智能机台，天车能够将状态异常的晶圆传送盒6放置在操作工位或者将处理后的晶圆传送盒6由操作工位取出。
46.通过设置智能机台可以将状态异常的晶圆传送盒6放置在操作工位或者将处理后的晶圆传送盒6由操作工位取出，从而解决了现有技术方案中没有专用的机台对存在状态异常的晶圆传送盒6进行接收并在需要时重新传输到天车的技术问题。
47.图1至图3提供了应用本实用新型实施例的具体实施方式如下：
48.左侧操作工位：人工将晶圆传送盒6按照定位销22限定位置放在托盘12 上，同时触发两个按钮型光电开关，按钮型光电开关发送对应的感应信号至集成电路板42，同时距离设定型光电开关23监测晶圆传送盒6当前位置情况发含有该位置信息的信号给集成电路板42，集成电路板42接受上述信号并处理后发送命令使识别装置24读取晶圆传送盒6的id
信息并处理。工作人员按上位指示灯按钮使e84控制器44与天车通讯并取走晶圆传送盒6，从而完成取出操作。需要说明的是，在整体线路正常状态时下位指示灯按钮常亮。
49.右侧操作工位：当天车上有状态异常的晶圆传送盒6需要放置到操作工位时，天车首先与地面上的智能机台通过e84控制器44通讯，然后将晶圆传送盒6从天车对接到托盘12上，并按照定位销22进行定位。当晶圆传送盒6 放置在托盘12上时，会触发按钮型光电开关传递对应的感应信号至集成电路板42，同时距离设定型光电开关23监测晶圆传送盒6当前位置情况发含有该位置信息的信号给集成电路板42，集成电路板42接受上述信号并处理后发送命令使识别装置24读取晶圆传送盒6的id信息并处理。按上位指示灯按钮后工作人员取走需要特殊处理的晶圆传送盒6进行干预处理工作。需要说明的是，在整体线路正常状态时下位指示灯按钮常亮。
50.在紧急情况时，设置在机台本体1上方的四色灯5闪烁并发出蜂鸣警示，工作人员可以按急停开关33进行干预处理。
51.应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。