技术特征：
1.一种perc电池背面多层膜结构，其特征在于，包括由内向外依次设置在硅片背面的第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层及氮化硅层，所述硅片为p型硅。2.根据权利要求1所述的一种perc电池背面多层膜结构，其特征在于，所述氧化铝层与所述氮化硅层之间设置有第二富氢层。3.根据权利要求2所述的一种perc电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第二富氢层与所述氮化硅层之间设置有第二氧化硅层和/或氮氧化硅层。4.根据权利要求3所述的一种perc电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层、第二富氢层、第二氧化硅层、氮氧化硅层及氮化硅层为单层或多层结构。5.根据权利要求4所述的一种perc电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层、第二富氢层、第二氧化硅层、氮氧化硅层均为单层结构，所述氮化硅层为多层结构。6.根据权利要求5所述的一种perc电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一氧化硅层的厚度范围为1-2nm，所述氧化铝层的厚度范围为5-15nm，所述第二氧化硅层的厚度范围为3-8nm，所述氮氧化硅层的厚度范围为15-25nm，所述氮化硅层的总厚度范围为50-80nm。
技术总结
本实用新型公开了一种PERC电池背面多层膜结构，包括由内向外依次设置在硅片背面的第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层及氮化硅层，所述硅片为p型硅。本实用新型的一种PERC电池背面多层膜，通过在硅片背面设置第一富氢层以提升电池的体钝化效应，并在第一富氢层之后设置第一氧化硅层，用于减少硅片背面由于等离子体的轰击导致的缺陷密度，增加硅片背面的化学钝化的效果，从而提高电池开路电压和短路电流，最终实现PERC太阳能电池的转换效率的提升。升。升。
技术研发人员：戴燕华 沈柔泰 赵福祥
受保护的技术使用者：韩华新能源（启东）有限公司
技术研发日：2021.09.18
技术公布日：2022/2/11