一种真空吸笔防护罩的制作方法

1.本实用新型涉及防护装置的技术领域，具体涉及一种真空吸笔防护罩。


背景技术：

2.在现有的半导体制造过程中，由机械手或者人取放硅片是一个必须的过程，一般都是用真空吸笔来完成对硅片的取放，因此真空吸笔作为转移晶圆的必备工具，已经被广泛的应用于半导体制造领域，因为在晶圆生产、转移以及包装过程中，由于晶圆表面很光滑而且很薄，如果用手或者粗糙的机械工具去直接接触晶圆，极易使晶圆表面划伤，造成晶圆性能受损，所以，需要借助真空吸笔来完成晶圆的抓取，在最大程度上保证晶圆的完好无损，同时随着社会越来越认识到环保的重要性，太阳能光伏产业都将迎来一个极大的发展，因此真空吸笔的使用将越来越广泛。
3.然而在真空吸笔的使用过程中，通常会将真空吸笔临时平放在工作台上或者悬挂在对应的支座上，以方便下一次使用，支座通常粘接在工作台上或者墙壁上，由于在真空吸笔的外部未设有任何保护或防护措施，一方面使得真空吸笔表面容易附着环境中的微小颗粒，这些微小颗粒会在取放产品时附着在产品的表面，对产品造成污染，间接影响产品质量；另一方面，由于没有防护措施，真空吸笔容易被磕碰或者意外掉落，这样极易对真空吸笔造成损伤，直接影响真空吸笔的使用，间接增加生产成本。因此，现亟需研发一种用于防护真空吸笔的结构。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于防护真空吸笔的清洁度和安全性且使用方便灵活的防护罩。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空吸笔防护罩，包括：
6.背板，所述背板具有安装附属部件的第一安装面以及用于固定其自身的第二安装面；
7.支座，所述支座安装在所述背板的第一安装面上，所述支座用于悬挂真空吸笔；
8.防护罩，所述防护罩可活动地扣合在所述背板上，该防护罩具有一面敞开的半封闭腔，当所述防护罩通过其敞开面扣合在所述背板上时，所述支座被容置在所述防护罩的腔体内，使得支座上悬挂的真空吸笔的工作端被完全容置在所述防护罩的内部。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述背板为长条状的板体，且所述背板竖直设置，所述背板的第一安装面上设有用于安装所述支座的定位结构。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述支座包括安装在所述定位结构上的底板和固定在底板正面上的座体，所述座体上设有用于匹配悬挂所述真空吸笔的卡槽。作为本实用新型的进一步改进，所述定位结构包括两组上下对称设置的卡扣和两根左右对称设置的定位凸条，每组卡扣中卡扣的数量为多个，所述底板的上、下两端分别卡嵌在两组对应的卡扣上，所述卡扣通过其定位部将所述底板夹紧在所述背板上，所述支座的两侧分别抵接在两
根对应的定位凸条上，所述底板的背面与背板的第一安装面贴合，且所述底板的背面面积小于所述背板的第二安装面面积。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述防护罩为透明结构且其一端通过转轴铰接在背板第一安装面的上端。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述转轴上套装有多个扭簧，所述扭簧的两个支撑脚分别支撑在防护罩和背板上，所述扭簧的弹力驱动所述防护罩绕所述转轴向上摆动。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述防护罩的自由端设有闭合部，所述背板的第一安装面上设有与所述闭合部对应的支撑部，当所述防护罩扣合在背板上时，所述真空吸笔的主体被夹紧在所述闭合部和所述支撑部之间。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述闭合部上设有与所述真空吸笔的主体轮廓匹配的第一定位槽，当所述防护罩扣合在背板上时，所述真空吸笔的主体贯穿所述第一定位槽。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述支撑部上设有与所述真空吸笔的主体轮廓匹配的第二定位槽，当所述防护罩扣合在背板上时，所述真空吸笔的主体被夹紧在第一定位槽和第二定位槽之间。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述闭合部上镶嵌固定有多个第一磁铁，所述支撑部上镶嵌固定有多个与所述第一磁铁一一对应的第二磁铁，当所述防护罩扣合在背板上时，所述第一磁铁与所述第二磁铁之间通过磁力吸附使两者连接。
17.本实用新型的有益效果：
18.本实用新型是一种真空吸笔防护罩，首先，本实用新型通过防护罩将临时悬挂在支座上的真空吸笔罩住，能够很好地保护真空吸笔的工作端以减少空气中微颗粒的污染和意外的损伤，能够很好地保证真空吸笔的使用性能；其次，本实用新型的支座为现有技术中常用的支座，采用现有技术中的支座直接安装在背板上，无需在背板上重新设置用于悬挂真空吸笔的结构，节约成本的同时也能够提高防护罩的适用范围；再者，本实用新型背板的安装面比支座的安装面更大，相对来说，背板粘接在墙壁或者现场设备上的粘接面积更大使其安装的牢固程度就更好，间接提高支座安装的牢固性和稳定性，以保证真空吸笔的安全，避免意外摔伤；同时，防护罩的铰接处支撑有扭簧，在取放真空吸笔的过程中，打开防护罩后，在扭簧的弹力作用下，防护罩能自动向上翻转至最高处并始终保持打开状态，减少对取放真空吸笔过程的影响，无需手动使其保持打开状态，使用更方便；最后，在将防护罩扣合关闭后，防护罩的自由端通过磁铁的磁力吸附在背板上，使得防护罩能够始终保持关闭状态，关闭过程简单快速，并且防护罩关闭后，对应的闭合部和支撑部分别通过第一定位槽和第二定位槽将真空吸笔的主体夹住，提高防护罩对真空吸笔的密封性的同时，也能够提高真空吸笔悬挂在支座上的稳定性和可靠性，使得真空吸笔不会轻易地从支座上脱落，整个使用过程更加安全可靠。
附图说明
19.图1为一种真空吸笔防护罩(防护罩处于打开状态)的立体结构示意图；
20.图2为一种真空吸笔防护罩(防护罩处于打开状态)去除支座后的立体结构示意图；
21.图3为一种真空吸笔防护罩(防护罩处于闭合状态)的主视图；
22.图4为图3中a-a方向的剖视图；
23.图5为图4中b-b方向的剖视图；
24.图6为支座的立体结构示意图；
25.图中标号说明：
26.11、背板；111、第一安装面；112、第二安装面；12、支座；121、座体；122、卡槽；123、底板；13、防护罩；14、真空吸笔；16、卡扣；161、定位部；17、定位凸条；18、转轴；19、扭簧；20、支撑脚；21、闭合部；22、第一定位槽；23、第一磁铁；24、支撑部；25、第二定位槽；26、第二磁铁。
具体实施方式
27.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
28.参照图1-图6所示，本实用新型一种真空吸笔防护罩的一实施例；
29.一种真空吸笔防护罩，包括：背板11，所述背板11具有安装附属部件的第一安装面111以及用于固定其自身的第二安装面112；附属部件可以理解为固定在背板11上的其他部件，通常背板11通过第二安装面112将其粘接固定在现场设备或者墙壁上，也可以采用其他合适的安装方式，方便使用过程中临时取放真空吸笔14。
30.支座12，所述支座12安装在所述背板11的第一安装面111上，所述支座12用于悬挂真空吸笔14，且真空吸笔14的工作端朝上；本实用新型的支座12为现有技术中常用的支座12，采用现有技术中的支座12直接安装在背板11上，无需在背板11上重新设置用于悬挂真空吸笔14的结构，并且现有技术中的支座12还能够继续使用，节约成本的同时也能够提高防护罩13的适用范围。
31.防护罩13，所述防护罩13可活动地扣合在所述背板11上，该防护罩13具有一面敞开的半封闭腔，当所述防护罩13通过其敞开面扣合在所述背板11上时，所述支座12被容置在所述防护罩13的腔体内，使得支座12上悬挂的真空吸笔14的工作端被完全容置在所述防护罩13的内部。本实用新型通过防护罩13将临时悬挂在支座12上的真空吸笔14罩住，能够很好地保护真空吸笔14的工作端以减少空气中微颗粒的污染和意外的损伤，能够很好地保证真空吸笔14的使用性能，进而解决背景技术中的技术问题。
32.在本实用新型的一具体实施例中，所述背板11为长条状的板体，且所述背板11竖直设置，与长条状的真空吸笔14的形态相匹配，所述背板11的第一安装面111上设有用于安装所述支座12的定位结构。本实用新型背板11的第二安装面112比支座12的安装面更大，相对来说，背板11粘接在墙壁或者现场设备上的粘接面积更大使其安装的牢固程度就更好，间接提高支座12安装的牢固性和稳定性，以保证真空吸笔14的安全，避免意外摔伤。
33.所述支座12包括安装在所述定位结构上的底板123和固定在底板123正面上的座体121，所述座体121上设有用于匹配悬挂所述真空吸笔14的卡槽122。
34.所述定位结构包括两组上下对称设置的卡扣16和两根左右对称设置的定位凸条17，每组卡扣16中卡扣16的数量为多个，所述底板123的上、下两端分别卡嵌在两组对应的卡扣16上，所述卡扣16通过其定位部161将所述底板123夹紧在所述背板11上，所述支座12
的两侧分别抵接在两根对应的定位凸条17上，所述底板123的背面与背板11的第一安装面111贴合，且所述底板123的背面面积小于所述背板11的第二安装面112面积。所述卡扣16和定位凸条17的对应侧面均设有方便支座12安装的斜面，通过对应的斜面使得支座12的底板123能够快速滑入并卡嵌在定位结构15内，安装方便，在取下支座12时，手动扳动卡扣16使其与支座12的底板123脱离，即可将支座12取下。
35.所述防护罩13为透明结构且其一端通过转轴18铰接在背板11第一安装面111的上端。防护罩13通常采用透明的树脂材料制成，且防护罩13的铰接端设有斜坡面，使得防护罩13能够向上摆动更大的角度，方便取放真空吸笔14。
36.所述转轴18上套装有多个扭簧19，扭簧19的型号和安装位置均相同，所述扭簧19的两个支撑脚20分别支撑在防护罩13和背板11上，所述扭簧19的弹力驱动所述防护罩13绕所述转轴18向上摆动。在取放真空吸笔14的过程中，打开防护罩13后，扭簧19的弹力能够克服防护罩13的重力及相关的摩擦力，使得防护罩13能自动向上翻转至最高处并始终保持打开状态，减少对取放真空吸笔14过程的影响，无需手动使其保持打开状态，使用更方便。
37.所述防护罩13的自由端设有闭合部21，所述背板11的第一安装面111上设有与所述闭合部21对应的支撑部24，当所述防护罩13扣合在背板11上时，所述真空吸笔14的主体被夹紧在所述闭合部21和所述支撑部24之间。由于真空吸笔14的整体长度较长，且防护罩13的整体尺寸不易做的太大，所以使得真空吸笔14的尾部伸出防护罩13的外部，通过闭合部21和支撑部24将防护罩13进行封闭。
38.所述闭合部21上设有与所述真空吸笔14的主体轮廓匹配的第一定位槽22，当所述防护罩13扣合在背板11上时，所述真空吸笔14的主体贯穿所述第一定位槽22，所述支撑部24上设有与所述真空吸笔14的主体轮廓匹配的第二定位槽25，当所述防护罩13扣合在背板11上时，所述真空吸笔14的主体被夹紧在第一定位槽22和第二定位槽25之间。防护罩13关闭后，对应的闭合部21和支撑部24分别通过第一定位槽22和第二定位槽25将真空吸笔14的主体夹住，提高防护罩13对真空吸笔14的密封性的同时，也能够提高真空吸笔14悬挂在支座12上的稳定性和可靠性，使得真空吸笔14不会轻易地从支座12上脱落，整个使用过程更加安全可靠。
39.所述闭合部21上镶嵌固定有多个第一磁铁23，所述支撑部24上镶嵌固定有多个与所述第一磁铁23一一对应的第二磁铁26，当所述防护罩13扣合在背板11上时，所述第一磁铁23与所述第二磁铁26之间通过磁力吸附使两者连接。在将防护罩13扣合关闭后，防护罩13的自由端通过磁铁的磁力吸附在背板11上，磁铁的磁性吸附力能够克服扭簧19的弹力使得防护罩13能够始终保持关闭状态，关闭过程简单快速，在打开防护罩13时，只需手动克服磁铁之间的吸附力后，在扭簧19的作用下，能够自动将防护罩13打开，使用方便，操作简单，有利于提高工作人员的使用意愿。
40.以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。