硅片生产系统及石英舟转运工装的制作方法

1.本实用新型涉及硅片生产技术领域，特别是涉及一种硅片生产系统及石英舟转运工装。


背景技术：

2.扩散工序在硅片的生产过程中起着十分关键的作用，扩散后的硅片不能在本工序中停留超过时间界限，否则会导致生产出来的硅片存在脏污或麻点等问题，影响产品合格率。因此，需要对满载硅片的石英舟进行及时的转运。传统的转运方式为采用人工抬石英舟的方式，易造成石英舟和硅片的损坏。


技术实现要素：

3.基于此，有必要针对易造成石英舟和硅片的损坏的问题，提供一种硅片生产系统及石英舟转运工装。
4.其技术方案如下：
5.一方面，提供了一种石英舟转运工装，包括转运本体，所述转运本体设有用于容纳石英舟的容纳腔，所述容纳腔的底壁设有承托部，所述承托部的外侧壁的轮廓与所述石英舟的底部空腔的轮廓相匹配，且所述承托部的外侧壁设有第一防护层。
6.下面进一步对技术方案进行说明：
7.在其中一个实施例中，所述容纳腔的底壁还设有限位件，所述限位件设置于所述承托部的两端，所述限位件能够与所述石英舟的端部限位配合。
8.在其中一个实施例中，所述限位件与所述容纳腔的底壁移动配合，使所述限位件能够沿所述承托部的延伸方向靠近或远离所述承托部移动。
9.在其中一个实施例中，所述转运本体包括底板、两个分别安装于所述承托部两侧的第一侧板、及设置于所述承托部一端的第二侧板，所述底板设有所述承托部，所述第二侧板及两个所述第一侧板与所述底板均转动连接，所述石英舟转运工装还包括第一锁止件，所述第一锁止件用于在所述第一侧板及所述第二侧板相对所述底板转动后将所述第一侧板及所述第二侧板均与所述底板锁止配合。
10.在其中一个实施例中，所述底板、所述第一侧板及所述第二侧板均设有所述第一防护层。
11.在其中一个实施例中，所述石英舟转运工装还包括把手，所述把手与所述转运本体连接，且所述把手设置于所述转运本体的一端。
12.在其中一个实施例中，所述把手与所述转运本体转动连接，所述石英舟转运工装还包括第二锁止件，所述第二锁止件用于在所述把手相对所述转运工装转动后将所述把手与所述转运工装锁止配合。
13.在其中一个实施例中，所述转运本体的底部设有移动轮。
14.在其中一个实施例中，所述承托部的顶部设有卡槽，所述石英舟的底部设有凸起，
所述凸起能够与所述卡槽卡接配合。
15.另一方面，提供了一种硅片生产系统，包括上述任一项所述的石英舟转运工装。
16.上述实施例的硅片生产系统及石英舟转运工装，进行硅片生产过程中，将载有硅片的石英舟放入转运本体的容纳腔内，使得容纳腔的底壁上的承托部插入石英舟的底部空腔内。由于承托部的外侧壁的轮廓与石英舟的底部空腔的轮廓相互匹配，从而保证石英舟能够稳定、可靠的得到承托，不会发生晃动或摆动，能够避免石英舟和硅片在运输过程中因碰撞而发生损坏。另外，利用承托部的外侧壁上的第一防护层能够有效的避免对石英舟和硅片造成污染；而且，在转运过程中，利用第一防护层对石英舟和硅片受到的冲击力进行缓冲与吸收，能够有效的避免石英舟和硅片发生破损，保证产品良率。
附图说明
17.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为一个实施例的石英舟转运工装的结构示意图；
20.图2为图1的石英舟转运工装的左视图；
21.图3为石英舟的结构示意图。
22.附图标记说明：
23.10、石英舟转运工装；100、转运本体；110、容纳腔；120、承托部；130、限位件；140、底板；150、第一侧板；160、第二侧板；170、把手；180、移动轮；20、石英舟；21、底部空腔；22、凸起。
具体实施方式
24.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
25.如图1至图3所示，在一个实施例中，提供了一种石英舟转运工装10，能够对载有硅片的石英舟20进行转运，避免硅片在各个工序中停留时间超过时间界限。
26.具体地，石英舟转运工装10包括转运本体100。
27.具体地，转运本体100设有用于容纳石英舟20的容纳腔110，容纳腔110 的底壁设有承托部120，承托部120的外侧壁的轮廓与石英舟20的底部空腔21 的轮廓相匹配。并且，承托部120的外侧壁设有第一防护层(未图示)。
28.上述实施例的石英舟转运工装10，使用时，将载有硅片的石英舟20放入转运本体100的容纳腔110内，使得容纳腔110的底壁上的承托部120插入石英舟20的底部空腔21内。
由于承托部120的外侧壁的轮廓与石英舟20的底部空腔21的轮廓相互匹配，从而保证石英舟20能够稳定、可靠的得到承托，不会发生晃动或摆动，能够避免石英舟20和硅片在运输过程中因碰撞而发生损坏。另外，利用承托部120的外侧壁上的第一防护层能够有效的避免对石英舟20和硅片造成污染；而且，在转运过程中，利用第一防护层对石英舟20和硅片受到的冲击力进行缓冲与吸收，能够有效的避免石英舟20和硅片发生破损，保证产品良率。
29.同时，由于石英舟20满载硅片时可达1200片硅片，人工搬运效率低且风险较大，易造成较大的经济损失，利用上述实施例的石英舟转运工装10能够对满载硅片的石英舟20进行快速转运，转运效率高，避免因人工抬舟产生的损坏问题，经济效益高。
30.其中，承托部120可以为承托台或承托架，只需满足能够伸入石英舟20的底部空腔21并与底部空腔21的轮廓相匹配而保证石英舟20在转运过程中不会发生晃动或摆动即可。承托部120的外侧壁的轮廓与石英舟20的底部空腔21 的轮廓相匹配，是指承托部120能够填充至底部空腔21内，例如，底部空腔21 呈梯形槽时，承托部120呈梯形凸台。
31.其中，第一防护层可以采用橡胶、硅胶等弹性材质，可以采取粘结、包覆等方式固设在承托部120的外侧壁上，使得石英舟20与承托部120的接触部位均能得到有效的缓冲防护。
32.为了保证石英舟20能够准确的放置在承托部120上。如图1及图2所示，可选地，容纳腔110的底壁还设有限位件130。其中，限位件130可以与转运本体100一体成型，也可以与转运本体100分开成型后通过卡接、螺接等方式进行装配连接。
33.具体地，限位件130设置于承托部120的两端，限位件130能够与石英舟 20的端部限位配合。如此，两个相对间隔设置的限位件130分别位于承托部120 的两端，也使得两个相对间隔设置的限位件130分别对应石英舟20两端，从而能够对石英舟20放置在承托部120上进行导向与限位，保证承托部120能够准确的插入石英舟20的底部空腔21内。
34.其中，限位件130可以为限位台、限位凸起22或限位架的形式，只需满足能够对石英舟20放置在承托部120上进行导向与限位即可。
35.可选地，限位件130设置为限位凸台，限位凸台的顶部设有导向斜面，两个相对间隔设置的限位凸台的导向斜面相对设置，从而能够对石英舟20放置在承托部120上进行导向与限位。
36.进一步地，限位件130与容纳腔110的底壁移动配合，使限位件130能够沿承托部120的延伸方向(如图1的a方向所示)靠近或远离承托部120移动。如此，可以灵活的调整两个限位件130之间的间距，从而能够适应不同长度的石英舟20在承托部120上的安装需要，通用性更强。
37.其中，限位件130与容纳腔110的底壁的移动配合，可以通过滑槽与滑块的滑动配合实现，也可以通过丝杆螺母结构的驱动实现，只需满足使得两个限位件130能够沿承托部120的延伸方向相对靠近或远离即可。另外，为了保证限位件130移动后位置的稳定性，还可以加设锁销等锁止元件将限位件130与转运本体100进行锁紧。
38.可选地，转运本体100可以呈车厢结构，可以采用钢、铁、不锈钢等材质制得。转运本体100的具体尺寸可以根据实际使用需要进行灵活的设计或调整，例如，转运本体100的长度可以设计为1800mm，高度可以设计为327mm，宽度可以设计为450mm，只需满足石英舟20的装载即可。
39.如图1及图2所示，具体地，转运本体100包括底板140、两个分别安装于承托部120两侧的第一侧板150、及设置于承托部120一端的第二侧板160。如此，利用底板140、两个设置于底板140两侧的第一侧板150、及设置于底板140 一端的第二侧板160围设成容纳腔110，使得转运本体100呈三边封闭一端开口的箱体结构。并且，底板140上设有承托部120，第二侧板160及两个第一侧板 150与底板140均采取铰接或转轴连接等方式实现转动连接。石英舟转运工装 10还包括第一锁止件(未图示)，第一锁止件用于在两个第一侧板150及第二侧板160相对底板140转动后将第一侧板150及第二侧板160与底板140锁止配合。如此，进行石英舟20的转运时，可以先将两个第一侧板150和一个第二侧板160均相对底板140转动至放平状态，能够避免在放料过程中发生干涉或磕碰，放料更加安全与便利，再将石英舟20放置在承托部120上，接着将两个第一侧板150和一个第二侧板160均相对底板140转动至竖直状态，最后利用第一锁止件将两个第一侧板150及一个第二侧板160均与底板140进行锁止，能够利用两个第一侧板150和一个第二侧板160对石英舟20的侧边进行保护。
40.其中，第一锁止件可以为锁销、弹簧插销等元件，只需满足能够在第一侧板150和第二侧板160相对底板140转动至竖直状态后能够将底板140与第一侧板150和第二侧板160锁止为一体即可。
41.进一步地，底板140、第一侧板150及第二侧板160均设有第一防护层。如此，使得整个容纳腔110的内侧壁均设有第一防护层，能够有效的避免对石英舟20和硅片造成污染；而且，在转运过程中，有效的利用第一防护层对石英舟 20和硅片受到的冲击力进行缓冲与吸收，能够有效的避免石英舟20和硅片发生破损，保证产品良率。
42.为了便于对转运本体100进行转运。如图1及图2所示，可选地，石英舟转运工装10还包括把手170。把手170与转运本体100连接。如此，利用把手 170能够便于对转运本体100进行拖动或拉动，更加省力，降低了劳动强度，也提升了转运效率。并且，把手170设置于转运本体100的一端。如此，将把手 170设置在转运本体100的两端，便于施力。
43.其中，把手170与转运本体100的连接，可以采取螺接、焊接等固定方式，也可以采取铰接等活动连接方式。如图1所示，把手170可以与第二侧板160 相对间隔设置。
44.可选地，把手170与转运本体100转动连接；具体地，把手170的一端与底板140采取铰接或转轴连接等方式实现转动连接。并且，石英舟转运工装10 还包括第二锁止件(未图示)，第二锁止件用于在把手170相对转运工装转动后将把手170与转运工装锁止配合。如此，进行石英舟20的转运时，可以先将把手170相对转运本体100的底板140转动至放平状态，能够避免在放料过程中发生干涉或磕碰，放料更加安全与便利，再将石英舟20放置在承托部120上，接着将把手170相对底板140转动至合适的拉动角度，最后利用第二锁止件将把手170与底板140进行锁止，从而能够拉动把手170以拖动转运本体100，方便、省力。
45.其中，第二锁止件可以为锁销、弹簧插销等元件，只需满足能够在把手170 相对底板140转动至适于拉动的角度后能够将底板140与把手170锁止为一体即可。
46.如图1及图2所示，此外，为了便于转运本体100的移动。可选地，转运本体100的底部设有移动轮180。如此，借助移动轮180的转动，使得转运本体 100的移动更加方便、省力。结合把手170的拖动，提高了转运效率。
47.其中，移动轮180可以是定向轮、万向轮和刹车轮的组合，能够满足不同使用需求，使用更加灵活。
48.另外，为了保证石英舟20能够稳定、可靠的放置在承托部120上。可选地，承托部120的顶部设有卡槽(未图示)，石英舟20的底部设有凸起22，凸起22能够与卡槽卡接配合。如此，将石英舟20放置在承托部120上时，使得凸起 22卡入卡槽内，不仅能够为石英舟20的放置进行定位与导向，还能保证石英舟 20放置在承托部120上后不会发生摇晃或偏移，保证硅片不会发生碰撞。再结合承托部120与底部空腔21的插接配合，及第一防护层的防护效果，保证石英舟20及硅片不会发生损坏。
49.在一个实施例中，还提供了一种硅片生产系统，包括上述任一实施例的石英舟转运工装10。
50.上述实施例的硅片生产系统，进行硅片生产过程中，将载有硅片的石英舟 20放入转运本体100的容纳腔110内，使得容纳腔110的底壁上的承托部120 插入石英舟20的底部空腔21内。由于承托部120的外侧壁的轮廓与石英舟20 的底部空腔21的轮廓相互匹配，从而保证石英舟20能够稳定、可靠的得到承托，不会发生晃动或摆动，能够避免石英舟20和硅片在运输过程中因碰撞而发生损坏。另外，利用承托部120的外侧壁上的第一防护层能够有效的避免对石英舟20和硅片造成污染；而且，在转运过程中，利用第一防护层对石英舟20 和硅片受到的冲击力进行缓冲与吸收，能够有效的避免石英舟20和硅片发生破损，保证产品良率。
51.需要说明的是，“某体”、“某部”可以为对应“构件”的一部分，即“某体”、“某部”与该“构件的其他部分”一体成型制造；也可以与“构件的其他部分”可分离的一个独立的构件，即“某体”、“某部”可以独立制造，再与“构件的其他部分”组合成一个整体。本技术对上述“某体”、“某部”的表达，仅是其中一个实施例，为了方便阅读，而不是对本技术的保护的范围的限制，只要包含了上述特征且作用相同应当理解为是本技术等同的技术方案。
52.需要说明的是，本技术“单元”、“组件”、“机构”、“装置”所包含的构件亦可灵活进行组合，即可根据实际需要进行模块化生产，以方便进行模块化组装。本技术对上述构件的划分，仅是其中一个实施例，为了方便阅读，而不是对本技术的保护的范围的限制，只要包含了上述构件且作用相同应当理解是本技术等同的技术方案。
53.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。本实用新型中使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
54.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
55.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个
元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
56.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
57.需要说明的是，当元件被称为“固定于”、“设置于”、“固设于”或“安设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。进一步地，当一个元件被认为是“固定传动连接”另一个元件，二者可以是可拆卸连接方式的固定，也可以不可拆卸连接的固定，能够实现动力传递即可，如套接、卡接、一体成型固定、焊接等，在现有技术中可以实现，在此不再累赘。当元件与另一个元件相互垂直或近似垂直是指二者的理想状态是垂直，但是因制造及装配的影响，可以存在一定的垂直误差。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。本文所使用的术语“和/ 或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
58.还应当理解的是，在解释元件的连接关系或位置关系时，尽管没有明确描述，但连接关系和位置关系解释为包括误差范围，该误差范围应当由本领域技术人员所确定的特定值可接受的偏差范围内。例如，“大约”、“近似”或“基本上”可以意味着一个或多个标准偏差内，在此不作限定。
59.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
60.以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。