一种新型便于清洗晶圆表面颗粒的装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其是涉及一种新型便于清洗晶圆表面颗粒的装置。


背景技术：

2.在半导体器件制造的过程中，需要对晶圆进行清洗，防止晶圆的表面残留颗粒杂质，从而最大限度的避免影响到半导体器件的质量，为了清除晶圆表面的颗粒杂质，需要在晶圆的表面喷淋一定流量的清洗药液，实现对晶圆表面进行清洗。
3.但是，随着半导体集成电路的高速发展，晶圆的体积非常小，尤其是对于图形晶圆而言，清洗药液清洗时会对晶圆造成损坏，市面上使用雾化器来减小清洗药液的流量，但是清洗设备的喷嘴和晶圆之间的距离无法精确调节，而且喷嘴的出口尺寸无法调节，导致需要根据晶圆来定制清洗设备，适用性低。


技术实现要素：

4.本实用新型为克服上述情况不足，提供了一种能解决上述问题的技术方案。
5.一种新型便于清洗晶圆表面颗粒的装置，包括机架，机架的上侧固定安装有若干个定位杆，机架的上方设置有喷嘴组件和升降机构，喷嘴组件的外侧成型有定位边，定位边上成型有若干个通孔，定位杆一一对应间隙配合插入通孔设置，升降机构带动喷嘴组件升降运动，喷嘴组件内成型有雾化腔，喷嘴组件的侧边成型有气孔和药液孔，雾化腔内成型有沉头槽，沉头槽设置在药液孔的内侧，沉头槽内固定安装有雾化器，雾化器覆盖住药液孔设置，喷嘴组件的下侧成型有喷嘴出口，喷嘴出口的上端通入雾化腔设置，喷嘴出口呈上宽下窄的锥形结构，雾化腔内间隙配合设置有调压杆，调压杆下端的外侧成型有上宽下窄的锥形圆柱，锥形圆柱设置在喷嘴出口的内侧，调压杆的上端通出喷嘴组件设置。
6.作为本实用新型进一步的方案：升降机构包括蜗杆和齿条，其中一个定位杆的外侧固定安装有两个定位环，蜗杆的中部成型有圆孔，定位杆间隙配合设置在圆孔内，蜗杆位于两个定位环之间，齿条固定安装在喷嘴组件的外侧，齿条竖向设置，蜗杆啮合安装在齿条上。
7.作为本实用新型进一步的方案：蜗杆的下端成型有延长柱。
8.作为本实用新型进一步的方案：延长柱的外侧套设安装有第一防滑层。
9.作为本实用新型进一步的方案：调压杆上端的外侧成型有外螺纹，喷嘴组件上侧的中部成型有螺纹孔，外螺纹螺旋配合安装在螺纹孔内。
10.作为本实用新型进一步的方案：调压杆的上端固定安装有圆柱把手。
11.作为本实用新型进一步的方案：圆柱把手的外侧套设安装有第二防滑层。
12.作为本实用新型进一步的方案：机架内固定安装有电机，电机的转子穿过机架的上侧边沿设置，电机的转子处固定安装有转盘，转盘设置在喷嘴出口的下方。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将晶圆放置到机架上，晶圆位于喷嘴
组件的下方，在气孔处接入气管，在药液孔处接入清洗药液，清洗药液能够通过雾化器进行雾化，雾化后的清洗药液暂存在雾化腔内，气管通过气孔给雾化腔加压，从而让雾化的清洗药从喷嘴出口处喷出，喷嘴出口将药液喷淋在晶圆上实现清洗，可以手动调节调压杆的高度，从而控制锥形圆柱在喷嘴出口内的位置，实现调节喷嘴出口的出口尺寸，升降机构能够带动喷嘴组件上升或下降，从而调节喷嘴出口和晶圆之间的距离，适用性高。
14.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1是本实用新型的结构示意图。
17.图中所示：1、机架；2、定位杆；3、喷嘴组件；4、升降机构；41、蜗杆；42、齿条；5、定位边；6、通孔；7、雾化腔；8、气孔；9、药液孔；10、沉头槽；11、雾化器；12、喷嘴出口；13、调压杆；14、锥形圆柱；15、定位环；16、圆孔；17、延长柱；18、第一防滑层；19、外螺纹；20、螺纹孔；21、圆柱把手；22、第二防滑层；23、电机；24、转盘。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1，一种新型便于清洗晶圆表面颗粒的装置，包括机架1，机架1的上侧固定安装有若干个定位杆2，机架1的上方设置有喷嘴组件3和升降机构4，喷嘴组件3的外侧成型有定位边5，定位边5上成型有若干个通孔6，定位杆2一一对应间隙配合插入通孔6设置，升降机构4带动喷嘴组件3升降运动，喷嘴组件3内成型有雾化腔7，喷嘴组件3的侧边成型有气孔8和药液孔9，雾化腔7内成型有沉头槽10，沉头槽10设置在药液孔9的内侧，沉头槽10内固定安装有雾化器11，雾化器11覆盖住药液孔9设置，喷嘴组件3的下侧成型有喷嘴出口12，喷嘴出口12的上端通入雾化腔7设置，喷嘴出口12呈上宽下窄的锥形结构，雾化腔7内间隙配合设置有调压杆13，调压杆13下端的外侧成型有上宽下窄的锥形圆柱14，锥形圆柱14设置在喷嘴出口12的内侧，调压杆13的上端通出喷嘴组件3设置；
20.其原理是：将晶圆放置到机架1上，晶圆位于喷嘴组件3的下方，在气孔8处接入气管，在药液孔9处接入清洗药液，清洗药液能够通过雾化器11进行雾化，雾化后的清洗药液暂存在雾化腔7内，气管通过气孔8给雾化腔7加压，从而让雾化的清洗药从喷嘴出口12处喷出，喷嘴出口12将药液喷淋在晶圆上实现清洗，可以手动调节调压杆13的高度，从而控制锥形圆柱14在喷嘴出口12内的位置，实现调节喷嘴出口12的出口尺寸，升降机构4能够带动喷嘴组件3上升或下降，从而调节喷嘴出口12和晶圆之间的距离，适用性高。
21.作为本实用新型进一步的方案：升降机构4包括蜗杆41和齿条42，其中一个定位杆2的外侧固定安装有两个定位环15，蜗杆41的中部成型有圆孔16，定位杆2间隙配合设置在圆孔16内，蜗杆41位于两个定位环15之间，齿条42固定安装在喷嘴组件3的外侧，齿条42竖向设置，蜗杆41啮合安装在齿条42上；蜗杆41旋转时能够带动齿条42上升或下降，从而便于喷嘴组件3的升降调节，蜗杆41不转动时能够卡住齿条42，便于喷嘴组件3高度的定位。
22.作为本实用新型进一步的方案：蜗杆41的下端成型有延长柱17；能够转动延长柱17来控制螺杆41进行旋转，从而便于螺杆41旋转的手动控制。
23.作为本实用新型进一步的方案：延长柱17的外侧套设安装有第一防滑层18；能够起到防滑的作用，便于高度调节操作。
24.作为本实用新型进一步的方案：调压杆13上端的外侧成型有外螺纹19，喷嘴组件3上侧的中部成型有螺纹孔20，外螺纹19螺旋配合安装在螺纹孔20内；能够通过转动调压杆13的方式控制锥形圆柱14在雾化腔7内升降，从而便于调节喷嘴出口12的出口尺寸。
25.作为本实用新型进一步的方案：调压杆13的上端固定安装有圆柱把手21；便于手动控制调节杆13进行旋转。
26.作为本实用新型进一步的方案：圆柱把手21的外侧套设安装有第二防滑层22；能够起到防滑的作用，便于圆柱把手21的旋转。
27.作为本实用新型进一步的方案：机架1内固定安装有电机23，电机23的转子穿过机架1的上侧边沿设置，电机23的转子处固定安装有转盘24，转盘24设置在喷嘴出口12的下方；晶圆能够放置在转盘24上，电机23带动转盘24旋转，喷嘴出口12能够将雾化的清洗药液蓬莱在旋转中的晶圆上，便于晶圆的全方位清洗。
28.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。