热制程承载具及热制程设备的制作方法

1.本实用新型涉及一种热制程承载具及热制程设备，更特别地涉及一种可用于曲面片状物的热制程承载具及热制程设备。


背景技术：

2.热制程承载具是用来在热制程中承托承载件(例如玻璃、晶圆等片状物)。承载具需要耐高温、与承载件尽量少的接触、且承载具的接触点需要有耐磨耗的性质。因此，传统的热制程承载具其形状与构造设计很大程度受限于要承载的承载件之尺寸、形状。且市面上并不具有适合承托曲面片状物的承载具。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于解决现有热制程承载具的多种问题，提出一种热制程承载具及热制程设备。
4.为达上述目的及其他目的，本实用新型提出一种热制程承载具，包括：框架，具有容置空间；以及多个立架，彼此相隔一定距离地设置于该容置空间的同一侧，每一个该立架包括固定杆、可动杆及至少一个支撑杆，该固定杆连接该框架的两端，该可动杆可沿该固定杆移动地设置，该支撑杆的一端连接该可动杆。
5.可选地，该支撑杆包括杆体及多个接触件，该多个接触件分布于该杆体。
6.可选地，该多个接触件的上表面具有多个锯齿结构。
7.可选地，该多个接触件为套设于该杆体的套环。
8.可选地，该多个接触件为半环，设置于该杆体。
9.可选地，该多个接触件为可滑移地设置于该杆体。
10.可选地，该可动杆具有高度调整固定件以调整该可动杆与该固定杆的相对位置。
11.可选地，该固定杆具有多个高度调整孔，该可动杆具有至少一个定位孔。
12.可选地，该框架具有至少一个滑槽，该固定杆可沿该滑槽移动。
13.可选地，还包含角度调整件，该角度调整件设置于该支撑杆的连接于该可动杆的一端。
14.可选地，还包含至少两个侧架，该至少两个侧架连接该框架的两端。
15.可选地，该支撑杆还包括止挡件，分别设置于该支撑杆的另一端。
16.本实用新型又提出一种热制程设备，其包含：箱体；如前述的热制程承载具，设置于该箱体中；以及至少一个热源，朝向该热制程承载具。
17.借此，本实用新型的热制程承载具及热制程设备可兼容曲面的片状物及平面的片状物，并且可根据需要调整可动杆以匹配不同曲率和形状的片状物。
18.为能够更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关实用新型的详细说明与附图，但是此说明与附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的权利范围作任何的限制。
附图说明
19.图1a为本实用新型第一实施例的热制程承载具的立体示意图；
20.图1b为本实用新型第一实施例的热制程承载具的前视示意图；
21.图2为本实用新型第二实施例的接触件的示意图；
22.图3为本实用新型第三实施例的接触件的示意图；
23.图4为本实用新型第一实施例的接触件及高度调整固定件的立体示意图；
24.图5为本实用新型第四实施例的立架的示意图；
25.图6为本实用新型第五实施例的框架的示意图；
26.图7为本实用新型实施例的热制程设备的示意图。
27.附图标记
28.100 热制程承载具
29.200 热制程设备
30.1 框架
31.11 滑槽
32.12 滑槽
33.2 立架
34.21 固定杆
35.211c 高度调整孔
36.21c 固定杆
37.22 可动杆
38.221 高度调整固定件
39.221c 定位孔
40.22c 可动杆
41.23 支撑杆
42.231 杆体
43.231a 杆体
44.231b 杆体
45.232 接触件
46.232a 接触件
47.232b 接触件
48.23b 支撑杆
49.4 角度调整件
50.5 侧架
51.7 止挡件
52.8 箱体
53.9 热源
54.s 容置空间
55.t 片状物
具体实施方式
56.为了充分了解本实用新型，通过下述具体的实施例，并配合附图，对本实用新型做详细说明。本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本实用新型的目的、特征及效果。须注意的是，本实用新型可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型的实用新型点下进行各种修饰与变更。另外，本实用新型的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘。以下的实施方式将进一步详细说明本实用新型的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本实用新型的权利要求。说明如下：
57.如图1a及图1b所示，本实用新型实施例的热制程承载具100，其包含：框架1及多个立架2。
58.框架1具有容置空间s，用以容置至少一个片状物。
59.多个立架2彼此相隔一定距离地设置于容置空间s的同一侧，这些立架2彼此可以为等距或非等距。每一个立架2包括固定杆21、可动杆22及至少一个支撑杆23。固定杆21连接框架1的两端，可动杆22可沿固定杆21移动地设置，支撑杆23的一端连接可动杆22。支撑杆23朝向容置空间s凸伸，并较佳地垂直于固定杆21及可动杆22。
60.换句话说，每一个立架2至少设置有支撑杆23，通过横向排列(图1中x方向)的多个支撑杆23，可用于以最小的接触面积支撑片状物。当每一个立架2设有多个支撑杆23，支撑杆23沿可动杆22的轴向排列(即图1中z方向)，即可在热制程承载具100中同时承载多个片状物。
61.如图1b所示，当热制程承载具100需要置放曲面的片状物t时，可调整可动杆22沿固定杆21的轴向移动，使各立架2所属的支撑杆23的高度不同，以匹配不同的片状物t的曲率和形状。当不需要承载曲面的片状物t时，又可将各固定杆21调回统一的水平高度以承载平面的片状物。综上所述，本实用新型的热制程承载具可兼容曲面的片状物及平面的片状物，并且可根据需要调整可动杆23以匹配不同曲率和形状的片状物t。
62.进一步地，如图4所示，在本实施例中，支撑杆23还可进一步包括杆体231及多个接触件232，这些接触件232分布于杆体231。接触件232凸起于杆体231，用于缩减支撑杆23与片状物t的实际接触面积。
63.在本实用新型第一实施例中，如图4所示，多个接触件232为套设于杆体231的套环。任何曲率的曲面片状物与套环形式的接触件232的接触面积都只有一个点，更适宜承载曲面系列的片状物。然而本实用新型不限于此，接触件232可为其它的形状。
64.例如在本实用新型第二实施例中，如图2所示，杆体231a为方柱，套设于杆体231a的多个接触件232a更接近矩形，其上表面具有多个锯齿结构。此类型的接触件232a更适宜用在平面的片状物。然而由于多个接触件232、232a可拆换，且整支支撑杆23也可拆换，所以在本实施例中，也可通过更换部分零件而兼容承载曲面的片状物及平面的片状物。
65.在本实用新型第三实施例中，如图3所示，多个接触件232b为半环，设置于杆体231b。本实施例为对第一实施例的套环形式的接触件232加以改良，由于支撑杆23只能以上半部承载片状物，故实际上仅需要半环即可达成与曲面片状物最小的接触面积。半环形式的接触件232b更容易针对特定接触件232b单独拆换，而不需要取下前侧的接触件232b。
66.从另一方面来说，第一实施例的接触件232及第二实施例的接触件232a相对第三
实施例的接触件232b仍有优点。前二者可以滑移地设置于杆体231、231a。因此调整接触件232、232a在y方向上的位置更为容易。相对地，第三实施例的半环形式的接触件232b就必须固定于杆体231b，可为锁附或黏合等方式。而接触件232、232a可为移动式地套于杆体231、231a，也可选择固定地连接杆体231、231a。
67.进一步地，可动杆22可沿固定杆21移动地设置有许多种实施方式，且本实用新型不限于任何一种。如图4所示，在本实用新型第一实施例中，可动杆22有高度调整固定件221以调整可动杆22与固定杆21的相对位置。高度调整固定件221例如是锁附螺丝，以栓紧的方式调节可动杆22的高度。
68.在本实用新型第四实施例中，如图5所示，固定杆21c具有多个高度调整孔211c，可动杆22c具有至少一个定位孔221c。通过手动或其他方式让可动杆22c沿固定杆21c滑移，再使用插梢依序穿过定位孔221c及选择的高度调整孔211c，即可使可动杆22c固定于目标高度。
69.进一步地，如图1所示，框架1具有至少一个滑槽11，固定杆21可沿滑槽11移动。在本实施例中，滑槽11为横向(x轴方向)，使得各立架之间的距离为可调。然而本实用新型不限于此，滑槽的形式未必为横向，可改为其他在xy平面上的方向。例如如图6所示，在本实用新型第五实施例中，框架1的滑槽12为前后向(y轴方向)，固定杆21可沿滑槽12移动。
70.进一步地，如图3所示，在本实施例中还包含角度调整件4，角度调整件4设置于支撑杆23b的连接于可动杆22的一端。在本实施例中，角度调整件4用于调整杆体231b的角度，角度调整件4可为迫紧螺丝或其他机构，且本实用新型不限于此。
71.进一步地，如图3所示，在本实施例中支撑杆23b还包括止挡件7，分别设置于支撑杆23b的另一端。若支撑杆23b的另一端无可避免地轻微向下倾斜，止挡件7可阻止片状物沿着y方向向外滑落。
72.进一步地，如图1所示，在本实施例中还包含至少两个侧架5，至少两个侧架5连接框架1的两端，用于限定片状物的外侧。
73.如图7所示，本实用新型又提出一种热制程设备200，包含箱体8、如前述的热制程承载具100及至少一个热源9。
74.热制程承载具100设置于箱体8中，至少一个热源9朝向热制程承载具100。
75.本实用新型在上文中已以较佳实施例公开，然而本领域技术人员应理解的是，所述实施例仅用于描绘本实用新型，而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是，凡是与所述实施例等效的变化与置换，均应设定为涵盖在本实用新型的范围内。因此，本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的内容范围为准。