穿刺机构的制作方法

1.本技术属于固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种穿刺机构。


背景技术：

2.固晶机在固晶时，需要将晶圆上的晶片取出，以固定在基板上。由于晶圆上存在大量晶片，而这些晶片是贴于蓝膜上，并且相邻晶片之间存在相连部位，这就需要将蓝膜上的晶片分离，以取出固晶使用。当前一般使用顶针顶动蓝膜，使蓝膜扩张，而使蓝膜上相邻晶片分离开，再通过吸嘴吸取使用。然而这种结构，为了保护晶片，吸嘴的吸力往往较小，且由于蓝膜的吸附作用，取晶时，吸嘴有时会吸取不到晶片，即取晶失败，而影响固晶效率。


技术实现要素：

3.本技术实施例的目的在于提供一种穿刺机构，以解决现有技术中存在的在吸取蓝膜上晶片，有时会取晶失败，而影响固晶效率的问题。
4.为实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：提供一种穿刺机构，包括：
5.顶针，用于刺破蓝膜，以顶出所述蓝膜上的晶片；
6.针座，用于支撑所述顶针；
7.升降器，用于驱动所述针座升降移动，以带动所述顶针升降；以及
8.支座；
9.所述升降器安装于所述支座上。
10.在一个可选实施例中，所述穿刺机构还包括用于调整所述顶针水平方向位置的平面移动模块，所述支座安装于所述平面移动模块上。
11.在一个可选实施例中，所述平面移动模块包括用于调整所述顶针横向位置的横向移动模组和用于调整所述顶针纵向位置的纵向移动模组，所述支座安装于所述横向移动模组上，所述横向移动模组安装于所述纵向移动模组上。
12.在一个可选实施例中，所述横向移动模组包括沿横向滑动安装于所述纵向移动模组上的横向滑座、与所述横向滑座相连的横向连杆和带动所述横向连杆横向移动的横移组件，所述支座安装于所述横向滑座上；所述纵向移动模组包括支板、沿纵向滑动安装于所述支板上的纵向滑座、与所述纵向滑座相连的纵向连杆和带动所述纵向连杆纵向移动的纵移组件，所述横向滑座沿横向滑动安装于所述纵向滑座上，所述横移组件安装于所述纵向滑座上。
13.在一个可选实施例中，所述横向连杆上开设有第一竖向槽，所述横移组件包括配合置于所述第一竖向槽中的第一偏心轮和驱动所述第一偏心轮转动的横移驱动电机，所述横移驱动电机与所述纵向滑座相连。
14.在一个可选实施例中，所述纵向连杆上开设有第二竖向槽，所述纵移组件包括配合置于所述第二竖向槽中的第二偏心轮和驱动所述第二偏心轮转动的纵移驱动电机，所述纵移驱动电机与所述支板相连。
15.在一个可选实施例中，所述穿刺机构还包括用于调整所述顶针高度位置的升降模块，所述平面移动模块安装于所述升降模块上。
16.在一个可选实施例中，所述穿刺机构还包括支撑臂，所述针座安装于所述支撑臂上，所述支撑臂与所述升降器相连。
17.在一个可选实施例中，所述支座上安装有滑轨，所述滑轨竖直设置，所述滑轨上滑动安装有滑动座，所述针座支撑于所述滑动座上，所述升降器与所述滑动座相连。
18.在一个可选实施例中，所述升降器为音圈电机，所述穿刺机构还包括弹性拉动所述滑动座的弹性件，所述弹性件的一端与所述滑动座相连，所述弹性件的另一端与所述支座相连。
19.本技术实施例提供的穿刺机构的有益效果在于：与现有技术相比，本技术实施例的穿刺机构，通过设置顶针和升降器，升降器驱动针座升降移动，以带动顶针升降，进而使顶针靠近晶圆，并刺破蓝膜，以将晶片从蓝膜上剥离，以便吸嘴吸取晶片，无需较大的吸力，从而避免吸取晶片失败。
附图说明
20.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为本技术实施例提供的穿刺机构的结构示意图一；
22.图2为本技术实施例提供的穿刺机构的结构示意图二；
23.图3为本技术实施例提供的穿刺机构的爆炸结构示意图；
24.图4为本技术实施例提供的平面移动模块的结构示意图一；
25.图5为本技术实施例提供的平面移动模块的结构示意图二；
26.图6为本技术实施例提供的穿刺机构中部分结构的结构示意图。
27.其中，图中各附图主要标记：
28.100-穿刺机构；
29.111-顶针；112-针座；113-支撑臂；1131-减重孔；114-升降器；115-支座；116-滑轨；117-滑动座；118-弹性件；
30.120-平面移动模块；121-横向移动模组；1211-横向滑座；1212-横向连杆；12121-第一竖向槽；1213-横向导轨；1214-横移组件；12141-横移驱动电机；12142-第一偏心轮；122-纵向移动模组；1221-支板；1222-纵向滑座；1223-纵向导轨；1224-纵向连杆；12241-第二竖向槽；1225-纵移组件；12251-纵移驱动电机；12252-第二偏心轮；
31.130-升降模块；131-调节座；132-安装座；133-直线驱动器。
具体实施方式
32.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
33.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
34.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
35.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
36.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
37.在本技术说明书中描述的参考“一个实施例”、“一些实施例”或“实施例”意味着在本技术的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征、结构或特性。
38.请参阅图1至图3，现对本技术提供的穿刺机构100进行说明。所述穿刺机构100，包括顶针111、针座112、升降器114和支座115，其中：
39.顶针111安装在针座112上，通过针座112来支撑住顶针111，以便安装顶针111。针座112与升降器114相连，以通过升降器114驱动针座112升降移动，进而带动顶针111升降移动。
40.顶针111用于刺破蓝膜以顶出蓝膜上的晶片，也就是说，升降器114驱动针座112升降，以带动顶针111升降移动，进而可以带动顶针111靠近晶圆，以刺破蓝膜，从而将蓝膜上的晶片顶出，使顶出的晶片与蓝膜分离，以将对应的晶片从蓝膜上剥离，以便吸嘴吸取，这样由于晶片是被顶针111顶出，以从蓝膜上剥离，无需较大的吸力，以良好地保护晶片，并且可以避免取晶失败的问题产生，这样应用在固晶机中，可以提升固晶效率。
41.升降器114安装在支座115上，以通过支座115来支撑住升降器114，进而方便安装组件。
42.本技术实施例提供的穿刺机构100，与现有技术相比，本技术实施例的穿刺机构100，通过设置顶针111和升降器114，升降器114驱动针座112升降移动，以带动顶针111升降，进而使顶针111靠近晶圆，并刺破蓝膜，以将晶片从蓝膜上剥离，以便吸嘴吸取晶片，无需较大的吸力，从而避免吸取晶片失败。
43.在一个实施例中，请参阅图1、图2和图6，穿刺机构100还包括支撑臂113，针座112安装于支撑臂113上，支撑臂113与升降器114相连，针座112通过支撑臂113与升降器114相连。设置支撑臂113，以支撑针座112，进而支撑顶针111，并可以通过支撑臂113，将顶针111伸至指定位置，便于顶针111顶出刺破蓝膜，以顶出晶片。
44.在一个实施例中，支撑臂113上设有若干减重孔1131，以减轻支撑臂113的重量，便于升降器114灵活驱动支撑臂113升降。
45.可以理解地，一些实施方式时，也可以将针座112直接与升降器114相连。
46.在一个实施例中，支座115上安装有滑轨116，滑轨116竖直设置，滑轨116上安装有滑动座117，滑动座117可以沿滑轨116升降移动，从而通过滑轨116来引导滑动座117升降移动。针座112支撑于滑动座117上，升降器114与滑动座117相连。这样，升降器114驱动滑动座117沿滑轨116升降，进而带动针座112及顶针111升降移动。
47.在一个实施例中，当设有支撑臂113时，支撑臂113安装于滑动座117上，以通过滑动座117来支撑住支撑臂113，并且平稳带动支撑臂113升降移动。
48.在一个实施例中，升降器114为音圈电机，使用音圈电机，速度快，体积小，且方便控制。可以理解地，升降器114也可以采用直线电机等直线驱动机构。
49.在一个实施例中，穿刺机构100还包括弹性件118，弹性件118用于弹性拉动滑动座117，弹性件118的一端与滑动座117相连，弹性件118的另一端与支座115相连。设置弹性件118，以便与升降器114配合，以拉动滑动座117下移，以灵活驱动针座112及顶针111升降移动，以提升穿刺蓝膜，以顶出晶片的效率，进而在应用于固晶机中时，可以提升固晶效率。
50.在一个实施例中，弹性件118为弹簧。在一些实施例中，弹性件118也可以为绳带结构。
51.在一个实施例中，请参阅图1至图3，穿刺机构100还包括平面移动模块120，支座115安装于平面移动模块120上，平面移动模块120用于调整顶针111水平方向位置，也就是说，平面移动模块120带动支座115平行于水平面移动，进而调节顶针111的位置，以便顶针111精准推出指定位置的晶片。
52.为了方便描述，定义垂直于竖直方向的面上相互垂直的两个方向，这两个方向分别为横向与纵向，则横向与纵向均垂直于竖直方向，并且横向与纵向均平行于水平方向，横向与纵向限定的平面平行于水平面。
53.在一个实施例中，请参阅图3至图5，平面移动模块120包括横向移动模组121和纵向移动模组122，支座115安装于横向移动模组121上，横向移动模组121安装于纵向移动模组122上。横向移动模组121用于调整顶针111横向位置，纵向移动模组122用于调整顶针111纵向位置。通过横向移动模组121来调整顶针111横向位置，而纵向移动模组122调整顶针111纵向位置，使用时，纵向移动模组122带动横向移动模组121，沿纵向移动，以带动针座112和顶针111沿纵向移动。而横向移动模组121驱动支座115横向移动，以带动针座112和顶针111沿横向移动，以通过横向移动模组121和纵向移动模组122配合来调节顶针111的位置。
54.在一个实施例中，横向移动模组121包括横向滑座1211、横向连杆1212和横移组件1214，支座115安装于横向滑座1211上，横向滑座1211滑动安装于纵向移动模组122上，以便横向滑座1211可以在纵向移动模组122上沿横向平移。横向连杆1212与横向滑座1211相连，
横移组件1214用于带动横向连杆1212横向移动，支座115安装于横向滑座1211上。从而通过横移组件1214带动横向连杆1212沿横向移动，进而带动横向滑座1211横向移动，以带动支座115、升降器114、顶针111和针座112横向移动。在一些实施例中，横向移动模组121也可以直接使用丝杆螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机等直线驱动机构。
55.在一个实施例中，纵向移动模组122包括支板1221、纵向滑座1222、纵向连杆1224和纵移组件1225，横向滑座1211滑动安装于纵向滑座1222上，纵向滑座1222滑动安装于支板1221上，以便纵向滑座1222可以在支板1221上沿纵向平移。纵向连杆1224与纵向滑座1222相连，纵移组件1225用于带动纵向连杆1224纵向移动，横向滑座1211安装于纵向滑座1222上，以便横向滑座1211可以在纵向滑座1222上沿横向移动。横移组件1214与纵向滑座1222相连，通过纵移组件1225带动纵向连杆1224沿纵向移动，进而带动纵向滑座1222纵向移动，以带动横向滑座1211、横移组件1214、支座115、升降器114、顶针111和针座112纵向移动，也就是说，通过纵向滑座1222带动横向移动模组121、支座115、升降器114、顶针111和针座112纵向移动。在一些实施例中，纵向移动模组122也可以直接使用丝杆螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机等直线驱动机构。
56.在一个实施例中，横向滑座1211通过横向导轨1213滑动安装在纵向滑座1222上，以便横向滑座1211可以在纵向滑座1222上灵活移动。
57.在一个实施例中，纵向滑座1222通过纵向导轨1223滑动安装在支板1221上，以便纵向滑座1222可以在支板1221上灵活移动。
58.在一个实施例中，横向连杆1212上开设有第一竖向槽12121，横移组件1214包括第一偏心轮12142和横移驱动电机12141。第一偏心轮12142安装在横移驱动电机12141上，并且第一偏心轮12142配合置于第一竖向槽12121中，这样在横移驱动电机12141驱动第一偏心轮12142转动时，可以推动第一竖向槽12121的侧壁沿横向往复移动，进而带动横向连杆1212沿横向往复移动，而通过横移驱动电机12141控制第一偏心轮12142的转动角度，可以实现调节横向连杆1212的移动位置，进而调节支座115、升降器114、针座112及顶针111的横向移动位置。横移驱动电机12141与纵向滑座1222相连，以便支撑横移驱动电机12141，并且使横移驱动电机12141可以随纵向滑座1222移动。另外，使用第一偏心轮12142驱动横向连杆1212移动，速度快，效率高，以更快调节顶针111位置，提升效率。可以理解地，横移组件1214也可以使用直线电机等直线驱动机构，以驱动横向连杆1212沿横向移动。
59.在一个实施例中，纵向连杆1224上开设有第二竖向槽12241，纵移组件1225包括第二偏心轮12252和纵移驱动电机12251。第二偏心轮12252安装在纵移驱动电机12251上，并且第二偏心轮12252配合置于第二竖向槽12241中，这样在纵移驱动电机12251驱动第二偏心轮12252转动时，可以推动第二竖向槽12241的侧壁沿纵向往复移动，进而带动纵向连杆1224沿纵向往复移动，而通过纵移驱动电机12251控制第二偏心轮12252的转动角度，可以实现调节纵向连杆1224的移动位置，进而调节横向移动模组121、支座115、升降器114、针座112及顶针111的纵向移动位置。纵移驱动电机12251与支板1221相连，以便支撑纵移驱动电机12251。另外，使用第二偏心轮12252驱动纵向连杆1224移动，速度快，效率高，以更快调节顶针111位置，提升效率。可以理解地，纵移组件1225也可以使用直线电机等直线驱动机构，以驱动纵向连杆1224沿纵向移动。
60.在一个实施例中，请参阅图1至图3，穿刺机构100还包括升降模块130，升降模块
130用于调整顶针111高度位置，平面移动模块120安装于升降模块130上。从而升降模块130驱动平面移动模块120升降移动，进而驱动支座115、升降器114、顶针111及针座112升降移动，进而可以实现调节顶针111高度。使用升降模块130，可以在较大的高度范围内调节顶针111的位置，以方便该穿刺机构100的安装使用。
61.在一个实施例中，升降模块130包括安装座132、滑动安装于安装座132上的调节座131和驱动调节座131升降移动的直线驱动器133，平面移动模块120安装于调节座131上，直线驱动器133安装于安装座132上，调节座131与直线驱动器133相连，从而通过直线驱动器133来驱动调节座131升降，以调节平面移动模块120的高度，进而调节顶针111的高度。
62.在一个实施例中，直线驱动器133可以为丝杆螺母机构。当然，直线驱动器133也可以使用直线电机、齿轮齿条机构等等。
63.以上所述仅为本技术的可选实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。