电感器部件的制作方法

1.本发明涉及电感器部件。


背景技术：

2.以往，作为电感器部件，具有日本特开2019－57581号公报(专利文献1)所记载的电感器部件。该电感器部件具备坯体和设置于坯体内并沿着轴向卷绕成螺旋状的线圈。线圈具有沿着与轴向正交的平面卷绕的多个线圈布线和连接相邻的线圈布线的导通电极。线圈布线的纵横比为1.0以上。线圈布线的纵横比为(线圈布线的轴向的厚度)/(线圈布线的宽度)。
3.专利文献1：日本特开2019－57581号公报
4.在专利文献1所公开的电感器部件中，导通电极与相邻的线圈布线沿着轴向连接。若线圈布线的纵横比较大，则轴向的线圈布线的厚度也增大。在这里，线圈布线在烧制时会收缩。因此，在轴向的线圈布线的厚度较大的专利文献1的电感器部件中，在烧制时，线圈布线的轴向的收缩量也增大，在导通电极产生轴向的较大的应力，存在导通电极从线圈布线剥离的担忧。


技术实现要素：

5.因此，本公开在于提供能够减少在烧制时产生的导通电极的应力的电感器部件。
6.为了解决上述课题，作为本公开的一个方式的电感器部件具备坯体和线圈，上述线圈设置于上述坯体内并沿着轴向卷绕成螺旋状，
7.上述线圈具有第一线圈布线、第二线圈布线以及导通电极，其中，上述第一线圈布线沿着与上述轴向正交的平面卷绕而成，上述第二线圈布线在上述轴向上与上述第一线圈布线相邻，并沿着与上述轴向正交的平面卷绕而成，上述导通电极连接上述第一线圈布线与上述第二线圈布线，
8.上述第一线圈布线具有第一厚壁部和第一薄壁部，其中，上述第一厚壁部的纵横比超过1.00，上述第一薄壁部是上述第一线圈布线的端部，平均厚度小于上述第一厚壁部的厚度，
9.上述第二线圈布线具有第二厚壁部和第二薄壁部，其中，上述第二厚壁部的纵横比超过1.00，上述第二薄壁部是上述第二线圈布线的端部，平均厚度小于上述第二厚壁部的厚度，
10.上述导通电极连接上述第一薄壁部与上述第二薄壁部。
11.在这里，所谓的轴向是指与卷绕线圈而成的螺旋的中心轴平行的方向。另外，所谓的纵横比是(第一厚壁部的厚度)/(第一厚壁部的宽度)。所谓的第一厚壁部的厚度是指与第一厚壁部的延伸方向正交的截面上的线圈的轴向的厚度。所谓的第一厚壁部的宽度是指与第一厚壁部的延伸方向正交的截面上的与线圈的轴向正交的方向的尺寸。对于第二厚壁部的纵横比也同样地定义。
12.另外，所谓的第一薄壁部的平均厚度是(第一薄壁部的截面积)/(第一薄壁部的截面上的沿着第一薄壁部的延伸方向的第一薄壁部的布线长度)。所谓的第一薄壁部的截面积是指是与线圈的轴向平行的截面上的、且从线圈的轴向观察包含导通电极的中心并与第一薄壁部的延伸方向平行的截面上的面积。对于第二薄壁部的平均厚度也同样地定义。
13.根据上述实施方式，导通电极连接于第一薄壁部和第二薄壁部。第一薄壁部和第二薄壁部由于平均厚度分别小于第一厚壁部以及第二厚壁部的厚度，因此烧制时的轴向的收缩量减小。因此，能够减少在烧制时产生的导通电极的应力。
14.优选在电感器部件的一个实施方式中，
15.上述导通电极的中心轴相对于上述轴向倾斜。
16.在这里，所谓的导通电极的中心轴是指导通电极从第一薄壁部朝向第二薄壁部延伸的方向，且穿过导通电极的中心的线。
17.根据上述实施方式，由于导通电极倾斜，因此能够使在烧制时在导通电极产生的应力在倾斜方向上分散。
18.优选在电感器部件的一个实施方式中，
19.上述导通电极的中心轴通过交替地重复沿着与上述轴向平行的方向延伸的部分和沿着与上述轴向正交的方向延伸的部分，相对于上述轴向阶梯状地倾斜。
20.根据上述实施方式，能够使用光刻工序容易地制造倾斜的导通电极。另外，通过导通电极相对于轴向倾斜，能够使在烧制时在导通电极产生的应力在倾斜方向上分散。
21.优选在电感器部件的一个实施方式中，
22.上述第一薄壁部的厚度沿着上述第一薄壁部的延伸方向且是从与上述第一线圈布线的上述端部相反侧的端部朝向上述端部的方向减少。
23.在这里，所谓的第一薄壁部的厚度是指与第一薄壁部的延伸方向正交的截面上的线圈的轴向的厚度。另外，所谓的第一薄壁部的厚度减少是指第一薄壁部的厚度阶段性或者连续地减少。
24.根据上述实施方式，由于第一薄壁部的厚度沿着上述方向减少，因此能够使在烧制时在导通电极产生的应力分散。
25.优选在电感器部件的一个实施方式中，
26.上述第一薄壁部的厚度连续地减少。
27.根据上述实施方式，能够更有效地使在烧制时在导通电极产生的应力分散。
28.优选在电感器部件的一个实施方式中，
29.上述第二薄壁部的厚度沿着上述第二薄壁部的延伸方向且是从与上述第二线圈布线的上述端部相反侧的端部朝向上述端部的方向减少。
30.在这里，所谓的第二薄壁部的厚度是指与第二薄壁部的延伸方向正交的截面上的线圈的轴向的厚度。另外，所谓的第二薄壁部的厚度减少是指第二薄壁部的厚度阶段性或者连续地减少。
31.根据上述实施方式，由于第二薄壁部的厚度沿着上述方向减少，因此能够使在烧制时在导通电极产生的应力分散。
32.优选在电感器部件的一个实施方式中，
33.上述第二薄壁部的厚度连续地减少。
34.根据上述实施方式，能够更有效地使在烧制时在导通电极产生的应力分散。
35.优选在电感器部件的一个实施方式中，
36.上述坯体的表面具有：第一端面；第二端面，与上述第一端面对置；底面，连接在上述第一端面与上述第二端面之间；以及顶面，与上述底面对置，
37.上述电感器部件还具备第一外部电极和第二外部电极，其中，上述第一外部电极遍及上述第一端面和上述底面来设置，上述第二外部电极遍及上述第二端面和上述底面来设置，
38.上述线圈设置为上述轴向与上述第一端面、上述第二端面、上述底面以及上述顶面平行，
39.上述线圈的一端连接于上述第一外部电极，上述线圈的另一端连接于上述第二外部电极，
40.上述导通电极配置为与上述底面的距离为上述底面与上述顶面的距离的50％以下。
41.根据上述实施方式，由于导通电极配置为上述底面与上述顶面的距离的50％以下，因此平均厚度相对较小的第一薄壁部以及第二薄壁部也存在于上述底面与上述顶面的距离的50％以下的位置。由此，能够减少安装第一外部电极以及第二外部电极、电感器部件的基板与导通电极之间的杂散电容的影响。与此相对，在线圈布线仅由厚壁部构成的情况下，上述杂散电容的影响增大。
42.优选在电感器部件的一个实施方式中，
43.上述第一厚壁部以及上述第二厚壁部中的至少一个厚壁部的纵横比为1.08以上且2.54以下。
44.根据上述实施方式，能够提高q值。
45.优选在电感器部件的一个实施方式中，
46.上述第一薄壁部以及上述第二薄壁部中的至少一个薄壁部的纵横比为1.00以下。
47.在这里，所谓的第一薄壁部的纵横比是(第一薄壁部的平均厚度)/(第一薄壁部的宽度)。所谓的第一薄壁部的宽度是指与第一薄壁部的延伸方向正交的截面上的与线圈的轴向正交的方向的尺寸。对于第二薄壁部的纵横比也同样地定义。
48.根据上述实施方式，能够更有效地减少在烧制时在导通电极产生的应力。
49.优选在电感器部件的一个实施方式中，
50.在上述第一线圈布线的上述端部侧，上述第一薄壁部至少包含相当于从上述轴向观察与上述第二线圈布线的上述端部侧重叠的整个区域的部分，
51.在上述第二线圈布线的上述端部侧，上述第二薄壁部至少包含相当于从上述轴向观察与上述第一线圈布线的上述端部侧重叠的整个区域的部分。
52.根据上述实施方式，能够更有效地减少在烧制时在导通电极产生的应力。
53.优选在电感器部件的一个实施方式中，
54.上述第一厚壁部与上述第一薄壁部相邻且一体地形成。
55.在这里，所谓的“一体地形成”是指两个部件连续地形成，且没有形成界面。
56.根据上述实施方式，能够提高第一线圈布线的强度。
57.优选在电感器部件的一个实施方式中，
58.上述第二厚壁部与上述第二薄壁部相邻且一体地形成。
59.根据上述实施方式，能够提高第二线圈布线的强度。
60.优选在电感器部件的一个实施方式中，
61.上述导通电极中的分别连接于上述第一薄壁部以及上述第二薄壁部的端面的形状为圆形，上述端面的直径为30μm以上且50μm以下。
62.根据上述实施方式，由于能够确保导通电极与薄壁部的连接面积，因此能够提高连接可靠性。
63.根据本公开的一个方式的电感器部件，能够减少在烧制时产生的导通电极的应力。
附图说明
64.图1是表示电感器部件的第一实施方式的从底面侧观察的透视立体图。
65.图2是电感器部件的分解图。
66.图3是电感器部件的从第一侧面观察的透视侧面图。
67.图4是电感器部件的从底面侧观察的透视仰视图。
68.图5a是图3的a－a截面，且是线圈布线的厚壁部的剖视图。
69.图5b是图3的b－b截面，且是线圈布线的薄壁部的剖视图。
70.图6是表示电感器部件的第二实施方式的从底面侧观察的透视仰视图。
71.图7是表示电感器部件的第三实施方式的从底面侧观察的透视仰视图。
72.图8是表示电感器部件的第四实施方式的从底面侧观察的透视仰视图。
73.图9是表示电感器部件的第四实施方式的从底面侧观察的透视仰视图。
74.附图标记说明
75.1、1a、1b、1c...电感器部件；10...坯体；11...绝缘层；13...第一侧面；14...第二侧面；15...第一端面；16...第二端面；17...底面；18...顶面；20、20a...线圈；21、21a...第一线圈布线；21a、21b、21c...线圈导体层；22、22a...第二线圈布线；26、26a、26b...导通电极；30...第一外部电极；33...第一外部电极导体层；40...第二外部电极；43...第二外部电极导体层；211...第一厚壁部；212、212a...第一薄壁部；221...第二厚壁部；222、222a...第二薄壁部；a...第一薄壁部的截面积；l1...导通电极与底面的距离；l2...底面与顶面的距离；l3...第一薄壁部的布线长度；c1、c2...导通电极的中心轴；c2a...在中心轴中沿与轴向平行的方向延伸的部分；c2b...在中心轴中沿与轴向正交的方向延伸的部分；m1、m2...中心轴的中点；s1、s2...第一薄壁部的面；s3...第一厚壁部的端面；s4...第二厚壁部的端面；s5...第一薄壁部的倾斜面；s6...第二薄壁部的倾斜面；t...第一厚壁部的厚度；t
rev
...第一薄壁部的平均厚度；w...第一厚壁部的宽度。
具体实施方式
76.以下，根据图示的实施方式对作为本公开的一个方式的电感器部件进行详细说明。此外，附图包含部分示意性的部件，存在未反映出实际的尺寸、比例的情况。
77.(第一实施方式)
78.图1是表示电感器部件的第一实施方式的从底面侧观察的透视立体图。图2是电感
器部件的分解图。图3是电感器部件的从第一侧面(即线圈的轴向)观察的透视侧面图。图4是电感器部件的从底面侧观察的透视仰视图。
79.如图1～图4所示，电感器部件1具有坯体10、设置于坯体10内并沿着轴向卷绕成螺旋状的线圈20、以及设置于坯体10并与线圈20电连接的第一外部电极30和第二外部电极40。在图1、图3以及图4中，为了能够容易地理解结构，而将坯体10描绘成透明，但也可以为半透明、不透明。
80.电感器部件1经由第一外部电极30、第二外部电极40与未图示的电路基板的布线电连接。电感器部件1例如被用作高频电路的阻抗匹配用线圈(匹配线圈)，用于个人计算机、dvd播放器、数码相机、tv、移动电话、汽车电子、医疗用/工业用机械等的电子设备。但是，电感器部件1的用途并不限于此，例如，也能够用于调谐电路、滤波电路、整流平滑电路等。
81.坯体10形成为大致长方体状。坯体10的表面包含相互对置的第一端面15和第二端面16、相互对置的第一侧面13和第二侧面14、连接在第一端面15与第二端面16之间以及第一侧面13与第二侧面14之间的底面17、以及与底面17对置的顶面18。此外，如图示那样，x方向是与第一端面15和第二端面16正交的方向，y方向是与第一侧面13和第二侧面14正交的方向，z方向是与底面17以及顶面18正交的方向，且是与x方向以及y方向正交的方向。
82.坯体10通过层叠多个绝缘层11而构成。绝缘层11例如由以硼硅酸玻璃作为主要成分的材料、铁氧体、树脂等材料构成。绝缘层11的层叠方向是与坯体10的第一端面15、第二端面16以及底面17平行的方向(y方向)。即，绝缘层11为沿xz平面上扩展的层状。本技术中的所谓“平行”不限定于严格的平行关系，考虑到现实的偏差的范围，也包含实质上的平行关系。此外，坯体10存在因烧制等而多个绝缘层11彼此的界面变得不明确的情况。
83.第一外部电极30以及第二外部电极40例如由ag、cu、au、以这些材料作为主要成分的合金等导电性材料构成。第一外部电极30为从第一端面15形成到底面17的l字形状。第一外部电极30被埋入到坯体10，以使得从第一端面15和底面17露出。第二外部电极40为从第二端面16形成到底面17的l字形状。第二外部电极40被埋入到坯体10，以使得从第二端面16和底面17露出。
84.第一外部电极30以及第二外部电极40具有被埋入坯体10(绝缘层11)的层叠多个第一外部电极导体层33以及第二外部电极导体层43而成的结构。第一外部电极导体层33沿着第一端面15以及底面17延伸，第二外部电极导体层43沿着第二端面16以及底面17延伸。根据以上的结构，第一外部电极30遍及第一端面15和底面17来设置。另外，第二外部电极40遍及第二端面16和底面17来设置。根据上述的结构，由于能够将外部电极30、40埋入到坯体10内，因此与在坯体10外装外部电极的结构相比，能够实现电感器部件的小型化。另外，能够通过同一工序形成线圈20和外部电极30、40，减少线圈20与外部电极30、40之间的位置关系的偏差，从而能够减少电感器部件1的电气特性的偏差。
85.线圈20例如由与第一外部电极30、第二外部电极40相同的导电性材料构成。线圈20沿着绝缘层11的层叠方向(y方向)卷绕成螺旋状。线圈20设置为轴向与第一端面15、第二端面16、底面17以及顶面18平行。所谓的线圈20的轴向是指与线圈20所卷绕的螺旋的中心轴平行的方向。线圈20的一端连接于第一外部电极30，线圈20的另一端连接于第二外部电极40。此外，在本实施方式中，线圈20与第一外部电极30、第二外部电极40一体化，而不存在
明确的边界，但并不限于此，也可以通过以不同种类的材料、不同种类的方法来形成线圈和外部电极，而存在边界。
86.线圈20具有沿着与轴向正交的平面卷绕而成的第一线圈布线21、在轴向上与第一线圈布线21相邻且沿着与轴向正交的平面卷绕而成的第二线圈布线22、以及连接第一线圈布线21与第二线圈布线22的导通电极26。第一线圈布线21以及第二线圈布线22通过经由导通电极26连接而形成螺旋。第一线圈布线21的一侧的端部(与连接有导通电极26的一侧相反侧的端部)连接于第二外部电极40。第二线圈布线22的一侧的端部(与连接有导通电极26的一侧相反侧的端部)连接于第一外部电极30。
87.第一线圈布线21在与轴向正交的绝缘层11的主面(xz平面)上卷绕地形成。第一线圈布线21的卷绕数不足1周，但也可以为1周以上。如图1的假想线所示，第一线圈布线21包含相互面接触且在轴向层叠的三层线圈导体层21a、21b、21c。由此，能够提高第一线圈布线21的纵横比。各线圈导体层21a、21b、21c沿着与轴向正交的平面卷绕。此外，在本实施方式中，线圈导体层21a、21b、21c被一体化，而不存在明确的边界，但不限于此，也可以通过以不同种类的材料、不同种类的方法形成各线圈导体层，而存在边界。另外，第一线圈布线21也可以由一层线圈导体层构成，也可以由两层或者四层以上的线圈导体层构成。
88.第一线圈布线21具有第一厚壁部211和第一薄壁部212，上述第一厚壁部211的纵横比超过1.00，第一薄壁部212是第一线圈布线21的端部，且平均厚度小于第一厚壁部211的厚度。
89.第一厚壁部211是第一线圈布线21中的纵横比超过1.00的部分。若具体叙述，在本实施方式中，如图1所示，线圈导体层21a、线圈导体层21b以及线圈导体层21c中的除成为第一薄壁部212的部分以外的部分沿轴向层叠而构成第一厚壁部211。第一厚壁部211的纵横比为(第一厚壁部211的厚度)/(第一厚壁部211的宽度)。
90.图5a是图3的a－a截面，且是第一线圈布线的第一厚壁部的剖视图。如图5a所示，上述所谓的“第一厚壁部211的厚度”是指与第一厚壁部211的延伸方向正交的截面上的线圈的轴向(y方向)的尺寸t。上述所谓的“第一厚壁部211的宽度”是指与第一厚壁部211的延伸方向正交的截面上的与线圈的轴向正交的方向的尺寸w。从线圈20的轴向观察，第一厚壁部211形成为大致圆形，但不限定为该形状。第一厚壁部211的形状例如也可以为椭圆形、长方形、其他多边形等。
91.在图5a中，第一厚壁部211的截面为矩形状，但存在实际的第一厚壁部211中不呈矩形状的情况。即使在该情况下，也能够根据第一厚壁部211的截面积与第一厚壁部211的轴向的最大厚度来计算第一厚壁部211的纵横比。具体而言，将上述厚度t设为第一厚壁部211的轴向的最大厚度，将上述宽度w设为第一厚壁部211的截面积除以第一厚壁部211的最大厚度所得的值即可。由此，即使在第一厚壁部211的内表面、外表面形成有凹凸，也能够容易地求出纵横比。这样，第一厚壁部211的截面形状不限于矩形，也包含椭圆形、多边形、使这些形状凹凸后的形状等。在后述的第二厚壁部221、第一薄壁部212以及第二薄壁部222中的每个部分中的与的延伸方向正交的截面中也相同。
92.第一薄壁部212是第一线圈布线21中的平均厚度小于第一厚壁部211的厚度的部分。如图1～图4所示，从轴向观察，第一薄壁部212与第一厚壁部211连续并沿着第一厚壁部211的延伸方向延伸。在本实施方式中，第一薄壁部212由线圈导体层21c中的占据第一线圈
布线21的端部(与连接有第二外部电极40的一侧相反侧的端部)的部分构成。所谓的第一薄壁部212的平均厚度(t
ave
)是(第一薄壁部212的截面积)/(第一薄壁部212的截面上的沿着第一薄壁部212的延伸方向的第一薄壁部212的布线长度)。
93.图5b是图3的b－b截面，且是第一线圈布线的第一薄壁部的剖视图。如图5b所示，上述所谓的“第一薄壁部212的截面积”是指与线圈的轴向(y方向)平行的截面上的、并且从线圈的轴向观察包含导通电极的中心且与第一薄壁部212的延伸方向平行的截面上的面积a。上述所谓的“第一薄壁部212的截面上的沿着第一薄壁部212的延伸方向的第一薄壁部212的布线长度”是指图5b所示的截面的横向宽度l3。
94.如图1～图4所示，在本实施方式中，从轴向观察，第一薄壁部212从第一厚壁部211连续地延伸，且前端形成为圆弧状。然而，第一薄壁部212的形状并不限于此，从轴向观察，也可以采用圆形、矩形等各种形状。另外，如图4所示，从电感器部件1的底面侧观察，第一薄壁部212的形状为四边形。另外，第一厚壁部211与第一薄壁部212相邻且一体地形成。所谓的“一体地形成”是指两个部件连续地形成，且没有形成界面。由此，能够提高第一线圈布线21的强度。此外，第一厚壁部211与第一薄壁部212也可以独立地形成。
95.第二线圈布线22具有与第一线圈布线21同样的结构。即，第二线圈布线22具有第二厚壁部221和第二薄壁部222，第二厚壁部221的纵横比超过1.00，第二薄壁部222是第二线圈布线22的端部，且平均厚度小于第二厚壁部221的厚度。另外，第二厚壁部221与第二薄壁部222相邻且一体地形成。由此，能够提高第二线圈布线22的强度。此外，第二厚壁部221与第二薄壁部222也可以独立地形成。由于第二厚壁部221以及第二薄壁部222的结构分别与第一厚壁部211以及第一薄壁部212的结构相同，因此省略详细的说明。
96.如图4所示，导通电极26的轴向的一端连接于第一薄壁部212中的第二侧面14侧的面s1，轴向的另一端连接于第二薄壁部222中的第一侧面13侧的面s2。由此，导通电极26连接第一薄壁部212与第二薄壁部222。在本实施方式中，导通电极26为圆柱状。然而，导通电极26的形状并不限于此，例如，也可以为截面为椭圆的柱体、截面为多边形的柱体等其他形状。
97.根据上述实施方式，第一线圈布线21具有第一厚壁部211和第一薄壁部212，第二线圈布线22具有第二厚壁部221和第二薄壁部222。导通电极26连接于第一薄壁部212和第二薄壁部222中的每个薄壁部。第一薄壁部212的轴向的平均厚度小于第一厚壁部211的轴向的厚度，第二薄壁部222的轴向的平均厚度小于第二厚壁部221的轴向的厚度。因此，第一薄壁部212和第二薄壁部222的烧制时的轴向的收缩量小于第一厚壁部211和第二厚壁部221，能够减少在烧制时产生的导通电极的应力。因此，能够抑制导通电极26在烧制时从第一线圈布线21和第二线圈布线22剥离。
98.如图3所示，优选导通电极26配置为与底面17的距离l1为底面17与顶面18的距离l2的50％以下。距离l1是指从轴向观察时的导通电极26的中心与底面17的距离。
99.根据上述结构，由于导通电极26配置为底面17与顶面18的距离的50％以下，因此平均厚度相对较小的第一薄壁部212以及第二薄壁部222也存在于底面17与顶面18的距离的50％以下的位置。即，在该情况下，导通电极26和连接于该导通电极26的第一薄壁部212以及第二薄壁部222与安装于电感器部件1的底面17侧的基板(省略图示)相对较近，容易产生与上述基板的杂散电容。但是，由于通过厚度小于第一厚壁部211以及第二厚壁部221的
第一薄壁部212以及第二薄壁部222，与上述基板的对置面积较小，因此能够减少上述杂散电容的影响。与此相对，在第一线圈布线21和第二线圈布线分别仅由第一厚壁部211和第二厚壁部221构成的情况下，上述杂散电容的影响较大。
100.优选第一厚壁部211和第二厚壁部221中的至少一个厚壁部的纵横比为1.08以上且2.54以下。
101.根据上述结构，能够提高q值。
102.优选第一薄壁部212和第二薄壁部222中的至少一个薄壁部的纵横比为1.00以下。所谓的第一薄壁部212的纵横比是(第一薄壁部212的平均厚度)/(第一薄壁部212的宽度)。所谓的第一薄壁部212的宽度是指与第一薄壁部212的延伸方向正交的截面上的与轴向正交的方向的尺寸。此外，如上所述，在本实施方式中，从轴向观察，第一薄壁部212的延伸的方向的前端为圆弧状。因此，在第一薄壁部212的延伸方向上，第一薄壁部212的宽度并不是恒定的。在该情况下，上述“与第一薄壁部212的延伸方向正交的截面”为第一薄壁部212中的与第一厚壁部211连接的部分中的与第一薄壁部212的延伸方向正交的截面即可。对于第二薄壁部222的纵横比也同样地定义。
103.根据上述结构，能够更有效地减少在烧制时在导通电极26产生的应力。
104.优选在第一线圈布线21的端部侧，第一薄壁部212至少包含相当于从轴向观察与第二线圈布线22的端部侧重叠的整个区域的部分，在第二线圈布线22的端部侧，第二薄壁部222至少包含相当于从轴向观察与第一线圈布线21的端部侧重叠的整个区域的部分。若参照图3具体地说明，则第一薄壁部212在第一线圈布线21的端部侧包含与第二线圈布线22的端部侧重叠的区域亦即标记斜线的整个区域。另外，第二薄壁部222在第二线圈布线22的端部侧包含与第一线圈布线21的端部侧重叠的区域亦即标记斜线的整个区域。此外，在图3中，为了方便说明而标记有斜线。
105.根据上述结构，能够更有效地减少在烧制时在导通电极26产生的应力。
106.优选导通电极26中的分别与第一薄壁部212和第二薄壁部222连接的端面的形状为圆形，端面的直径为30μm以上且50μm以下。
107.根据上述结构，由于能够确保导通电极26与第一薄壁部212以及第二薄壁部222的连接面积，因此能够提高连接可靠性。
108.优选第一厚壁部211的厚度为第一薄壁部212的平均厚度的2倍以上且5倍以下，第二厚壁部221的厚度为第二薄壁部222的平均厚度的2倍以上且5倍以下。
109.根据上述结构，能够进一步减少在烧制时产生的导通电极26的应力，并且抑制第一线圈布线、第二线圈布线的电阻率降低。
110.(第二实施方式)
111.图6是表示电感器部件的第二实施方式的从底面侧观察的透视仰视图。第二实施方式的导通电极的形状与第一实施方式不同。以下对该不同的结构进行说明。其他结构为与第一实施方式相同的结构，标记与第一实施方式相同的附图标记而省略其说明。
112.如图6所示，从与轴向(y方向)正交并穿过导通电极26a的中心轴c1的中点m1的方向观察，第二实施方式的电感器部件1a的导通电极26a的中心轴c1相对于轴向倾斜。所谓的导通电极26a的中心轴c1是指导通电极26a从第一薄壁部212朝向第二薄壁部222延伸的方向，且穿过导通电极26a的中心的线。与此相对，从与轴向正交并穿过导通电极26的中心轴
的中点的方向观察，第一实施方式的导通电极26的中心轴与轴向平行。此外，在本实施方式中，在导通电极26a中，从与轴向正交并穿过导通电极26a的中心轴c1的中点m1的方向观察，中心轴c1相对于轴向倾斜，但只要中心轴c1相对于轴向倾斜，则并不对中心轴c1的倾斜方向进行特别限定，从任意方向观察，中心轴c1相对于轴向倾斜即可。
113.根据上述实施方式，由于导通电极26a倾斜，因此能够使在烧制时在导通电极26a产生的应力在倾斜方向分散。另外，由于导通电极26a倾斜，因此能够增大导通电极26a与第一薄壁部212以及第二薄壁部222的连接面积。因此，能够抑制导通电极26a在烧制时从第一线圈布线21和第二线圈布线22剥离。
114.(第三实施方式)
115.图7是表示电感器部件的第三实施方式的从底面侧观察的透视仰视图。第三实施方式的导通电极的形状与第一实施方式不同。以下，对该不同的结构进行说明。其他结构为与第一实施方式相同的结构，标记与第一实施方式相同的附图标记而省略其说明。
116.如图7所示，从与轴向(y方向)正交并穿过导通电极26b的中心轴c2的中点m2的方向观察，第三实施方式的电感器部件1b的导通电极26b的中心轴c2通过交替地重复沿与轴向平行的方向延伸的部分c2a和沿与轴向正交的方向延伸的部分c2b，而相对于轴向阶梯状地倾斜。此外，在本实施方式中，在导通电极26b中，从与轴向正交并穿过导通电极26b的中心轴c2的中点m2的方向观察，中心轴c2相对于轴向阶梯状地倾斜，但只要中心轴c2相对于轴向阶梯状地倾斜，则并不对中心轴c2的倾斜方向进行特别限定，从任意方向观察，中心轴c2相对于轴向阶梯状地倾斜即可。
117.根据上述实施方式，能够使用光刻工序容易地制造倾斜的导通电极。另外，通过导通电极26b延伸为相对于轴向倾斜，能够使在烧制时在导通电极26b产生的应力在倾斜方向分散。由此，能够抑制导通电极26b在烧制时从第一线圈布线21和第二线圈布线22剥离。
118.(第四实施方式)
119.图8和图9是表示电感器部件的第四实施方式的从底面侧观察的透视仰视图。第四实施方式的第一薄壁部以及第二薄壁部的形状与第二实施方式不同。以下，对该不同的结构进行说明。其他结构为与第二实施方式相同的结构，标记与第二实施方式相同的附图标记而省略其说明。
120.如图8所示，第四实施方式的电感器部件1c中的第一薄壁部212a的厚度沿着从连接有第二外部电极40侧的第一线圈布线21a的端部朝向连接有导通电极26a侧的端部的方向减少，该方向是第一线圈布线21a的延伸方向。上述所谓的“第一薄壁部212a的厚度”是指与第一薄壁部212a的延伸方向正交的截面上的线圈的轴向的厚度。在本实施方式中，第一薄壁部212a的厚度连续地减少。即，第一薄壁部212a在轴向上位于与连接有导通电极26a的面相反侧的面具有倾斜面s5。换言之，从电感器部件1c的底面侧观察，第一薄壁部212a的形状为三角形。
121.另外，第一薄壁部212a与第一厚壁部211的延伸方向的端面s3的一部分连接。由此，第一薄壁部212a的厚度进一步减少，能够进一步减少烧制时的第一薄壁部212a的收缩量。
122.另外，如图8所示，第四实施方式的电感器部件1c中的第二薄壁部222a的厚度沿着从连接有第一外部电极30的一侧的第二线圈布线22a的端部朝向连接有导通电极26a的一
侧的端部的方向减少，该方向是第二线圈布线22a的延伸方向。上述所谓的“第二薄壁部222a的厚度”是指与第二薄壁部222a的延伸方向正交的截面上的线圈的轴向的厚度。在本实施方式中，第二薄壁部222a的厚度连续地减少。即，第二薄壁部222a在轴向上位于与连接有导通电极26a的面相反侧的面具有倾斜面s6。换言之，从电感器部件1c的底面侧观察，第二薄壁部222a的形状为三角形。
123.另外，第二薄壁部222a与第二厚壁部221的延伸方向的端面s4的一部分连接。由此，第二薄壁部222a的厚度进一步减少，能够进一步减少烧制时的第二薄壁部222a的收缩量。
124.根据上述实施方式，由于第一薄壁部212a的厚度沿着第一线圈布线21a的延伸方向且是从连接有第二外部电极40的一侧的第一线圈布线21a的端部朝向连接有导通电极26a的一侧的端部的方向减少，因此能使在烧制时在导通电极26a产生的应力分散。特别是，通过第一薄壁部212a的厚度连续地减少，能够更有效地使在烧制时在导通电极26a产生的应力分散。另外，由于第二薄壁部222a的厚度沿着第二线圈布线22a的延伸方向且是从连接有第一外部电极30的一侧的第二线圈布线22a的端部朝向连接有导通电极26a的一侧的端部的方向减少，因此能够使在烧制时在导通电极26a产生的应力分散。特别是，通过第二薄壁部222a的厚度连续地减少，能够更有效地使在烧制时在导通电极26a产生的应力分散。
125.另外，如图9所示，第一薄壁部212a也可以与第一厚壁部211的延伸方向的端面s3的整个面连接。由此，在烧制时第一厚壁部211与第一薄壁部212a之间的应力差变小，能够抑制第一厚壁部211与第一薄壁部212a之间的破裂等损伤。同样地，第二薄壁部222a也可以与第二厚壁部221的延伸方向的端面s4的整个面连接。由此，在烧制时第二厚壁部221与第二薄壁部222a之间的应力差变小，能够抑制第二厚壁部221与第二薄壁部222a之间的破裂等损伤。此外，如图9中曲线假想线(双点划线)所示，在印刷层叠工序中，也可以第一薄壁部212a的一部分和第二薄壁部222a的一部分分别重叠于第一厚壁部211的一部分和第二厚壁部221的一部分。
126.此外，本公开并不限定于上述的实施方式，能够在不脱离本公开的主旨的范围内设计变更。例如，也可以对第一至第四实施方式中的每个实施方式的特征点进行各种组合。
127.在上述实施方式中，线圈的轴与坯体的侧面正交，但也可以与坯体的端面正交，或者也可以与坯体的底面正交。
128.在上述实施方式中，线圈具有第一线圈布线和第二线圈布线这两个线圈布线，但线圈布线的个数并不限于此，也可以为三个以上。
129.在上述实施方式中，第一外部电极、第二外部电极为l字形状，但例如也可以为五面电极。即，也可以第一外部电极设置于第一端面整个面以及第一侧面、第二侧面、底面以及顶面中每个面的一部分，第二外部电极设置于第二端面整个面以及第一侧面、第二侧面、底面以及顶面中的每个面的一部分。或者，第一外部电极以及第二外部电极也可以分别设置于底面的一部分。
130.在上述实施方式中，在第一线圈布线的端部侧，第一薄壁部至少包含相当于从轴向观察与第二线圈布线的端部侧重叠的整个区域的部分，在第二线圈布线的端部侧，第二薄壁部至少包含相当于从轴向观察与第一线圈布线的端部侧重叠的整个区域的部分。但是，第一薄壁部也可以在第一线圈布线的端部侧包含相当于从轴向观察与第二线圈布线的
端部侧重叠的区域的部分的一部分。另外，第二薄壁部也可以在第二线圈布线的端部侧包含相当于从轴向观察与第一线圈布线的端部侧重叠的区域的部分的一部分。或者，第一线圈布线的第一薄壁部也可以从轴向观察不与第二线圈布线的第二薄壁部重叠。
131.在上述实施方式中，连接于第一薄壁部以及第二薄壁部的导通电极配置为底面与顶面的距离的50％以下，但当存在未连接于第一薄壁部和第二薄壁部的其他导通电极时，其他导通电极也可以配置为超过底面与顶面的距离的50％。另外，连接于第一薄壁部和第二薄壁部的导通电极也可以配置为超过底面与顶面的距离的50％。由此，增加设计自由度。
132.在上述第四实施方式中，第一薄壁部212a以及第二薄壁部222a的厚度连续地减少，但也可以阶段性地减少。另外，也可以仅第一薄壁部212a和第二薄壁部222a中的任意一方的厚度减少。
133.(实施例)
134.以下，对电感器部件1的制造方法的实施例进行说明。
135.首先，反复通过丝网印刷将以硼硅酸玻璃作为主要成分的绝缘浆料涂覆于载体膜等基体材料上，形成绝缘层。该绝缘层成为位于比线圈导体层靠外侧的外层用绝缘层。此外，通过任意的工序将基体材料从绝缘层剥离，在电感器部件的状态下不会残留。
136.之后，在绝缘层上涂覆形成感光性导电浆料层，并通过光刻工序形成线圈导体层以及外部电极导体层。具体而言，在绝缘层上通过丝网印刷涂覆以ag作为金属主要成分的感光性导电浆料，来形成感光性导电浆料层。进一步，经由光掩模对感光性导电浆料层照射紫外线等，并通过碱溶液等进行显影。由此，在绝缘层上形成线圈导体层和外部电极导体层。此时，通过光掩模能够将线圈导体层以及外部电极导体层描绘成所希望的图案。
137.然后，在绝缘层上涂覆形成感光性绝缘浆料层，并通过光刻工序来形成设置有开口和导通孔的绝缘层。具体而言，在绝缘层上通过丝网印刷涂覆感光性绝缘浆料来形成感光性绝缘浆料层。进一步，经由光掩模对感光性绝缘浆料层照射紫外线等，并通过碱溶液等进行显影。此时，通过光掩模对感光性绝缘浆料层进行图案化，以使得在外部电极导体层的上方设置开口，在线圈导体层的端部设置导通孔。此外，当形成图6、图8以及图9所示的倾斜的导通电极26a时，例如使用激光加工、钻孔加工等形成导通孔即可。
138.之后，在设置有开口以及导通孔的绝缘层上涂覆形成感光性导电浆料层，并通过光刻工序形成线圈导体层以及外部电极导体层。具体而言，在绝缘层上通过丝网印刷涂覆以ag作为金属主要成分的感光性导电浆料以填充开口以及导通孔，来形成感光性导电浆料层。进一步，经由光掩模对感光性导电浆料层照射紫外线等，并通过碱溶液等进行显影。由此，在绝缘层上形成经由开口连接于下层侧的外部电极导体层的外部电极导体层和经由导通孔与下层侧的线圈导体层连接的线圈导体层。此外，当形成图7所示的阶梯状的导通电极26b时，在与线圈的轴向正交的方向上一边偏移导通孔的位置一边反复形成设置有导通孔的绝缘层的工序和经由导通孔与下层侧的线圈导体层连接的线圈导体层的工序即可。
139.通过反复上述那样的形成绝缘层和线圈导体层以及外部电极导体层的工序，来形成线圈和外部电极，该线圈包括形成在多个绝缘层上的线圈导体层，该外部电极包括形成在多个绝缘层上的外部电极导体层。进一步，在形成了线圈以及外部电极的绝缘层上，反复通过丝网印刷涂覆绝缘浆料，来形成绝缘层。该绝缘层是位于比线圈导体层靠外侧的外层用绝缘层。此外，若在以上的工序中在绝缘层上将线圈以及外部电极的组形成为矩阵状，则
能够得到母层叠体。
140.之后，通过切割成片等将母层叠体切割成多个未烧制的层叠体。在母层叠体的切割工序中，在通过切割形成的切割面使外部电极从母层叠体露出。此时，若产生一定量以上的切割偏差，则在上述工序中形成的线圈导体层的外周缘出现在端面或者底面。
141.然后，在规定条件下对未烧制的层叠体进行烧制而得到包含线圈以及外部电极的坯体。对该坯体实施滚筒加工来将其研磨为适当的外形尺寸，并且对外部电极从层叠体露出的部分实施具有2μm～10μm的厚度的ni镀层以及具有2μm～10μm的厚度的sn镀层。经由以上的工序，完成0.4mm
×
0.2mm
×
0.2mm的电感器部件。
142.此外，导体图案的形成方法并不限定于上述内容，例如也可以是利用开口为导体图案形状的丝网版的导体浆料的印刷层叠方法，也可以为通过蚀刻对通过溅射法、蒸镀法、箔的压接等形成的导体膜形成图案的方法，也可以为在如半加成法那样形成负图案并通过镀敷膜形成导体图案后，除去不需要的部分的方法。进而，通过形成多级导体图案来进行高纵横，从而能够减少由高频下的电阻引起的损耗。更具体而言，也可以为反复形成上述导体图案的工序，也可以为反复重叠通过半加成工序形成的布线的工序，也可以为通过半加成工序形成层叠的一部分，此外也可以是通过蚀刻形成镀敷生长的膜的工序，也可以组合进一步通过镀敷使通过半加成工序形成的布线生长而进行高纵横化的工序。
143.另外，导体材料并不限定于上述那样的ag浆料，只要是通过溅射法、蒸镀法、箔的压接、镀敷等形成的ag、cu、au这样的良导体即可。另外，绝缘层以及开口、导通孔的形成方法并不限定于上述内容，也可以是在绝缘材料片材的压接、旋涂、喷涂后，通过激光、钻孔加工来开口的方法。
144.另外，绝缘材料并不限定于上述那样的玻璃、陶瓷材料，也可以是环氧树脂、氟树脂、聚合物树脂那样的有机材料，也可以是玻璃环氧树脂那样的复合材料，但优选介电常数、介电损耗较小的材料。
145.另外，电感器部件的尺寸并不限定于上述内容。另外，对于外部电极的形成方法，并不限定于对通过切割而露出的外部导体实施镀敷加工的方法，也可以是在切割后进一步通过导体浆料的浸渍、溅射法等形成外部电极，并在该外部电极上实施镀敷加工的方法。