一种用于8寸晶圆的抓手的制作方法

1.本发明属于晶圆生产设备技术领域，特别是一种用于8寸晶圆的抓手。


背景技术：

2.半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(amhs)来提高工厂自动化程度，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。
3.空中自动搬运小车(oht)是自动物料传输系统中的重要子系统，主要负责搬运foup至不同的工艺设备或仓储设备。
4.现有的天车在使用过程中，由于12寸的晶圆盒上方设有“蘑菇头”形状的结构，天车可以通过晶圆盒上的蘑菇头结构对晶圆盒进行拿取，但是在8寸晶圆盒的生产过程中，由于8寸的晶圆盒没有蘑菇头的结构，使得现有的天车无法准确的对8寸的晶圆盒进行拿取。


技术实现要素：

5.本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于8寸晶圆的抓手，具有方便了对8寸晶圆盒的取放，提高了对晶圆盒的取放稳定性的特点。
6.本发明的目的可通过下列技术方案来实现：
7.一种用于8寸晶圆的抓手，包括安装板，在安装板下表面上安装有一导向杆，在导向板下表面上固定连接有一定位板，定位板呈十字设置，在定位板的四端下表面上均固定连接有一导向块，在两个相对的导向块的相对面的下端均开设有一导向面，在安装板两端下表面上均安装有一夹板，在两块夹板相对面的下端均固定连接有一提升板，提升板与夹板呈垂直设置，在安装板下表面上设有用于驱动两块夹板相对运动的驱动机构。
8.进一步的，所述驱动机构包括固定连接在安装板下表面上的双轴电机、同轴固定连接在双轴电机两根输出轴上的驱动丝杠和设置在夹板与安装板下表面之间用于限位夹板沿着驱动丝杠长度方向运动的限位件，两根所述驱动丝杠的螺纹旋向相反，两根所述驱动丝杠分别与两个夹板螺纹连接。
9.进一步的，所述限位件包括固定连接在安装板下表面上的滑轨、固定连接在夹板上表面上且呈u型设置的滑块、固定连接在滑块靠近开口的一端内壁上的防尘套，所述滑块的开口朝上设置，所述防尘套滑动连接在滑轨上。
10.进一步的，在所述安装板上螺纹连接有两个限位螺栓，限位螺栓的下端超出滑轨的下表面且两个限位螺栓分别位于滑轨的两端。
11.进一步的，在所述安装板下表面上固定连接有一导向管，导向管内壁截面呈矩形设置，所述导向杆的截面呈矩形设置，导向杆滑动连接在导向管中，在导向管外壁上螺纹连接有一防脱螺栓，防脱螺栓的一端伸入导向管中，在导向杆外壁上沿着导向杆长度方向开设有一长槽，所述防脱螺栓的一端滑动连接在长槽中。
12.进一步的，在夹板和安装板之间设有用于定位夹板在安装板上的位置的定位件，定位件包括固定连接在两块夹板相对面上的检测板、两个固定连接在安装板下表面上的第
一光电传感器，两个光电传感器的连线与滑轨的长度方向呈平行设置。
13.进一步的，在所述定位板上表面上固定连接有检知板，在安装板下表面上固定连接有一支架，在支架上沿着支架高度方向固定连接有两个第二光电传感器。
14.进一步的，在所述导向杆上端端面上开设有一安装孔，在安装孔孔底上固定连接有一安装弹簧，安装弹簧的另一端固定连接在安装板下表面上。
15.进一步的，在所述安装板侧壁上固定连接有一防护罩。
16.进一步的，在所述提升板上表面上设有用于检测晶圆盒上把手的第三光电传感器。
17.与现有技术相比，本发明具有以下优点：
18.1、本发明通过天车将安装板运送至晶圆盒上方，通过天车上的提升机构带动安装板向下运动，当导向块接触到晶圆盒时，在导向面和重力作用下，四个导向块的相对面分别抵接在晶圆盒的四侧外壁上，安装板继续向下运动，定位板下表面抵接在晶圆盒上表面上后，检知板脱离靠下的第二光电传感器，导向杆在导向管中滑动，导向杆压缩安装弹簧，当检知板运动到靠上的第二光电传感器时，安装板停止向下运动，此时双轴电机启动，双轴电机通过驱动丝杠带动夹板运动，两块夹板相对运动，提升板运动到晶圆盒的把手下方，此时检测板运动到远离夹板的第一光电传感器处，双轴电机停止工作，此时通过天车上的提升机构将安装板提升起来，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了对8寸晶圆盒的取放，提高了对晶圆盒的取放稳定性。
19.2、本发明通过双轴电机同时带动两个驱动丝杠转动，驱动丝杠带动夹板运动，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了控制两块夹板同时相对或相向运动，提高了对晶圆盒的取放的稳定性。
附图说明
20.图1是本发明的结构示意图。
21.图2是图1中a处放大图。
22.图3是本发明实施例中导向管中的结构示意图。
23.图中，1、安装板；2、导向杆；3、定位板；4、导向块；5、导向面；6、夹板；7、提升板；8、驱动机构；9、双轴电机；10、驱动丝杠；11、限位件；12、滑轨；14、滑块；15、防尘套；16、限位螺栓；17、导向管；18、防脱螺栓；19、长槽；20、定位件；21、检测板；22、第一光电传感器；23、检知板；24、支架；25、第二光电传感器；26、安装孔；27、安装弹簧；28、防护罩；29、第三光电传感器。
具体实施方式
24.以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。
25.如图1、图2、图3所示，一种用于8寸晶圆的抓手，包括安装板1，在安装板1下表面上安装有一导向杆2，在导向杆2下表面上盖固定连接有一定位板3，定位板3呈十字设置，在定位板3的四端下表面上均固定连接有一导向块4，在相对的两个导向块4的相对面的下端上均开设有一导向面5，导向面5朝下开设，在安装板1两端下表面上均安装有一夹板6，在两块
夹板6的相对面下端均固定连接有一提升板7，提升板7与夹板6呈垂直设置，在安装板1上设有用于驱动两块夹板6相对运动的驱动机构8。
26.如图1、图2、图3所示，驱动机构8包括双轴电机9、驱动丝杠10和限位件11，双轴电机9固定连接在安装板1下表面上，驱动丝杠10同轴固定连接在双轴电机9的输出轴上，在双轴电机9的两个输出轴上均固定连接有一驱动丝杠10，在夹板6上固定连接有一丝杠螺母，夹板6通过丝杠螺母与驱动丝杠10螺纹连接，限位件11设置在夹板6和安装板1下表面之间，限位件11用于限位夹板6只沿着驱动丝杠10长度方向运动。
27.如图1、图2、图3所示，限位件11包括滑轨12、滑块14和防尘套15，滑轨12固定连接在安装板1下表面上，滑块14固定连接在夹板6上表面上，滑块14截面呈u型设置且开口朝上设置，防尘套15固定连接在滑块14靠近开口的一端内壁上，防尘套15滑动连接在限位槽13中。
28.如图1、图2、图3所示，为了防止滑块14从滑轨12上脱离，在安装板1上螺纹连接有两个限位螺栓16，限位螺栓16的下端超出滑轨12的下表面且两个限位螺栓16分别位于滑轨12的两端。
29.如图1、图2、图3所示，在安装板1下表面上固定连接有一导向管17，导向管17的内壁截面呈矩形设置，导向杆2的截面呈矩形设置，导向杆2的一端滑动连接在导向管17中，在导向管17外壁上螺纹连接有一防脱螺栓18，防脱螺栓18的一端伸入导向管17内部，在导向杆2外壁上沿着导向杆2轴向开设有一长槽19，防脱螺栓18的一端滑动连接在长槽19中。
30.如图1、图2、图3所示，在导向杆2上表面上开设有一安装孔26，在安装孔26孔底上固定连接有一安装弹簧27，安装弹簧27的另一端固定连接在安装板1下表面上，安装弹簧27呈压缩设置。
31.如图1、图2、图3所示，为了方便操作者控制夹板6在安装板1上的位置，在夹板6和安装板1之间设有一定位件20，定位件20包括检测板21和两个第一光电传感器22，检测板21呈l型设置，检测板21的一端固定连接在夹板6上，第一光电传感器22固定连接在安装板1下表面上，在安装板1下表面上固定连接有两个第一光电传感器22，两个第一传感器的连线与滑轨12的长度方向呈平行设置，当检测板21位于靠近夹板6的第一光电传感器22时，说明夹板6处于打开最大的位置，当检测板21位于远离夹板6的第一光电传感器22时，说明夹板6处于打开最小的位置，同时夹板6下方的提升板7运动至8寸晶圆盒的把手下方。
32.如图1、图2、图3所示，在定位板3上表面上固定连接有一检知板23，检知板23呈l型设置，在安装板1下表面上固定连接有一支架24，在支架24上沿着支架24高度方向固定连接有两个第二光电传感器25，检知板23远离定位板3的一端的宽度小于两个第二光电传感器25之间的间距，当定位板3下表面抵接在晶圆盒上表面上时，此时检知板23位于靠下的第二光电传感器25处，此时安装板1继续向下运动，导向杆2在导向管17中滑动且压缩安装弹簧27，此时检知板23脱离靠下的第二光电传感器，说明此时定位板3已经抵紧在晶圆盒上，当检知板23运动到靠上的第二光电传感器25处时，安装板1停止向下运动；提升板7运动到晶圆盒上的把手下方且呈间隙设置，当提升板7将晶圆盒提升起来时，检知板23向下运动，检知板23运动至两个第二光电传感器25之间，此时说明提升板7准确的将晶圆盒提升起来。
33.如图1、图2、图3所示，为了提高装置运行的安全性，在安装板1侧壁上固定连接有一保护罩。
34.如图1、图2、图3所示，为了保证提升板7运动到晶圆盒的把手的下方，在提升板7上表面上固定连接有第三光电传感器29。
35.本发明实施例的工作原理：通过天车上的提升机构带动安装板1向下运动，当导向块4接触到晶圆盒时，在导向面5和重力作用下，四个导向块4的相对面分别抵接在晶圆盒的四侧外壁上，安装板1继续向下运动，定位板3下表面抵接在晶圆盒上表面上后，检知板23脱离靠下的第二光电传感器25，导向杆2在导向管17中滑动，导向杆2压缩安装弹簧27，当检知板23运动到靠上的第二光电传感器25时，安装板1停止向下运动，此时双轴电机9启动，双轴电机9通过驱动丝杠10带动夹板6运动，两块夹板6相对运动，提升板7运动到晶圆盒的把手下方，此时检测板21运动到远离夹板6的第一光电传感器22处，双轴电机9停止工作，此时通过天车上的提升机构将安装板1提升起来。
36.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
37.尽管本文较多地使用了1、安装板；2、导向杆；3、定位板；4、导向块；5、导向面；6、夹板；7、提升板；8、驱动机构；9、双轴电机；10、驱动丝杠；11、限位件；12、滑轨；13、限位槽；14、滑块；15、防尘套；16、限位螺栓；17、导向管；18、防脱螺栓；19、长槽；20、定位件；21、检测板；22、第一光电传感器；23、检知板；24、支架；25、第二光电传感器；26、安装孔；27、安装弹簧；28、防护罩；29、第三光电传感器等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。