一种纠偏结构及片式元器件生产输送设备的制作方法

1.本发明涉及光电子器件相关技术领域，具体为一种纠偏结构及片式元器件生产输送设备。


背景技术：

2.光电子器件是利用电-光子转换效应制成的各种功能器件，光电子器件的设计原理是依据外场对导波光传播方式的改变，它也有别于早期人们袭用的光电器件；其是光电子技术的关键和核心部件，是现代光电技术与微电子技术的前沿研究领域，是信息技术的重要组成部分；
3.而光电子器件的主要基础结构便是硅片，而传统切片之后的硅片在输送至加工平台上时，都是采用夹持结构将其从物料台上夹持移动至加工平台上，而输送带在将其输送至物料台的过程中，其硅片的摆位易出现偏差，从而导致夹持装置对其夹持位置存在一定的位置偏差，从而影响到其后续加工精度，为此，本发明提出一种纠偏结构及片式元器件生产输送设备用以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种纠偏结构及片式元器件生产输送设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种纠偏结构，所述纠偏结构包括：
6.安装台，所述安装台为矩形平台，其安装座上开设有矩形槽，所述矩形槽呈十字形设置有两组，且安装台的上表面设置有一级安装座和二级安装座，所述一级安装座和二级安装座均对称设置有一组，且一级安装座之间设置有一级导杆，所述二级安装座之间设置有二级导杆，所述安装台的上表面设置有连接杆，所述连接杆的顶端连接有连接板，所述连接板与加工设备上的机械臂相连接；
7.一级传动结构，所述一级传动结构设置在一级安装座上；
8.二级传动结构，所述二级传动结构设置在二级安装座上；
9.一级纠偏件，所述一级纠偏件通过一级传动结构进行驱动；
10.二级纠偏件，所述二级纠偏件通过二级传动结构进行驱动，且一级纠偏件、二级纠偏件上均开设有导杆孔和丝杠孔；
11.取板夹持组件，所述安装台的下表面安装有伸缩电缸，所述取板夹持组件安装在伸缩电缸的伸缩杆端部，且硅片通过取板夹持组件进行夹取。
12.优选的，所述一级传动结构、二级传动结构均由传动丝杠和锥齿轮组合构成，且一级传动结构和二级传动结构上传动丝杠分别转动安装在一级安装座和二级安装座上，且一级传动结构和二级传动结构上的锥齿轮之间为相啮合设置。
13.优选的，所述一级传动结构上传动丝杠的一端安装有从动齿轮，所述一级安装座的外侧壁上安装有电机支架，所述电机支架上固定安装有伺服电机，所述伺服电机的转子
上安装有传动齿轮，所述从动齿轮与传动齿轮之间为相啮合设置。
14.优选的，所述传动丝杠的两端分别开设有一级丝杠螺纹和二级丝杠螺纹，所述一级丝杠螺纹和二级丝杠螺纹的设置方向相反，且一级纠偏件、二级纠偏件均对称设置有一组，且同组一级纠偏件、二级纠偏件之间为对称设置，且同组的一级纠偏件、二级纠偏件分别位于传动丝杠两端的一级丝杠螺纹和二级丝杠螺纹的位置进行设置。
15.优选的，所述一级纠偏件、二级纠偏件均穿过矩形槽进行设置，且一级纠偏件、二级纠偏件的下端均设置有推板，且一级导杆、二级导杆、一级传动结构、二级传动结构之间均为错位设置。
16.优选的，所述取板夹持组件由吸附座、压敏电阻、复位弹簧、活动板、支撑杆、支撑板、弹性支撑件和顶座组合构成，所述吸附座为一个顶部封口的管体结构，且吸附座上预留有气管连接头和走线槽，所述压敏电阻通过导线与设备上的plc控制模块进行电信号连接，所述气管连接头通过气管与抽气设备相连接。
17.优选的，所述压敏电阻设置在吸附座的顶壁上，所述活动板活动设置在吸附座的内腔之中，且活动板通过复位弹簧与吸附座的顶壁相连接，所述支撑杆与活动板上侧面相连接，所述支撑板与支撑杆的上端相连接，所述弹性支撑件与支撑板固定连接，所述顶座与活动板的下表面固定连接，所述活动板的板体边缘位置开设有开口槽，且活动板的侧边与吸附座的内侧壁相靠合设置。
18.优选的，所述吸附座的下端面设置有橡胶密封环，所述顶座的下表面设置有弹性橡胶板。
19.优选的，所述弹性橡胶板的下表面低于橡胶密封环的下表面，所述复位弹簧处于复位状态时，其弹性支撑件与压敏电阻之间并未接触，且弹性橡胶板在受力时，其弹性支撑件与压敏电阻相靠合。
20.一种片式元器件生产输送设备，所述片式元器件生产输送设备具有上述纠偏结构。
21.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
22.1.通过设置由安装台、一级传动结构、二级传动结构、一级纠偏件、二级纠偏件和取板夹持组件组合构成的纠偏结构，并通过将一级传动结构、二级传动结构均设置成由传动丝杠和锥齿轮组合构成，并在传动丝杠的两端分别开设方向相反的一级丝杠螺纹和二级丝杠螺纹，从而通过其可以驱动两侧纠偏件逆向运动，并通过锥齿轮实现一级纠偏件、二级纠偏件的同步运动，从而通过一级纠偏件、二级纠偏件的共同作用，以实现对硅片的纠偏对位；
23.2.并通过将取板夹持组件设置成由吸附座、压敏电阻、复位弹簧、活动板、支撑杆、支撑板、弹性支撑件和顶座组合构成，从而通过负压的形式对硅片进行夹取，其相较于传统的直接夹持结构，其可以更好的对硅片进行保护。
附图说明
24.图1为本发明结构示意图；
25.图2为本发明一级传动结构、二级传动结构位置分布示意图；
26.图3为本发明一级纠偏件结构示意图；
27.图4为本发明一级传动结构示意图；
28.图5为本发明取板夹持组件半剖视图；
29.图6为图5中a处结构放大示意图；
30.图7为本发明实际使用效果图。
31.图中：安装台1、一级传动结构2、二级传动结构3、一级纠偏件4、二级纠偏件5、取板夹持组件6、矩形槽7、一级安装座8、二级安装座9、一级导杆10、二级导杆11、伸缩电缸12、连接杆13、连接板14、推板15、导杆孔16、丝杠孔17、传动丝杠18、锥齿轮19、从动齿轮20、一级丝杠螺纹21、二级丝杠螺纹22、电机支架23、伺服电机24、吸附座25、压敏电阻26、复位弹簧27、活动板28、支撑杆29、支撑板30、弹性支撑件31、顶座32、气管连接头33、走线槽34、导线35、橡胶密封环36、弹性橡胶板37、硅片38。
具体实施方式
32.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本发明实施例，并不用于限定本发明实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
34.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”、“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“一”、“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
35.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
36.出于简明和说明的目的，实施例的原理主要通过参考例子来描述。在以下描述中，很多具体细节被提出用以提供对实施例的彻底理解。然而明显的是，对于本领域普通技术人员，这些实施例在实践中可以不限于这些具体细节。在一些实例中，没有详细地描述公知方法和结构，以避免无必要地使这些实施例变得难以理解。另外，所有实施例可以互相结合使用。
37.实施例一
38.请参阅图1-7，本发明提供一种技术方案：一种纠偏结构，纠偏结构包括安装台1、
一级传动结构2、二级传动结构3、一级纠偏件4、二级纠偏件5、取板夹持组件6，安装台1为矩形平台，其安装座上开设有矩形槽7，矩形槽7呈十字形设置有两组，且安装台1的上表面设置有一级安装座8和二级安装座9，一级安装座8和二级安装座9均对称设置有一组，且一级安装座8之间设置有一级导杆10，二级安装座9之间设置有二级导杆11，安装台1的上表面设置有连接杆13，连接杆13的顶端连接有连接板14，连接板14与加工设备上的机械臂相连接，一级传动结构2设置在一级安装座8上，二级传动结构3设置在二级安装座9上，一级纠偏件4通过一级传动结构2进行驱动，二级纠偏件5通过二级传动结构3进行驱动，且一级纠偏件4、二级纠偏件5上均开设有导杆孔16和丝杠孔17，安装台1的下表面安装有伸缩电缸12，取板夹持组件6安装在伸缩电缸12的伸缩杆端部，且硅片38通过取板夹持组件6进行夹取。
39.一级传动结构2、二级传动结构3均由传动丝杠18和锥齿轮19组合构成，且一级传动结构2和二级传动结构3上传动丝杠18分别转动安装在一级安装座8和二级安装座9上，且一级传动结构2和二级传动结构3上的锥齿轮19之间为相啮合设置。
40.一级传动结构2上传动丝杠18的一端安装有从动齿轮20，一级安装座8的外侧壁上安装有电机支架23，电机支架23上固定安装有伺服电机24，伺服电机24的转子上安装有传动齿轮，从动齿轮20与传动齿轮之间为相啮合设置。
41.传动丝杠18的两端分别开设有一级丝杠螺纹21和二级丝杠螺纹22，一级丝杠螺纹21和二级丝杠螺纹22的设置方向相反，且一级纠偏件4、二级纠偏件5均对称设置有一组，且同组一级纠偏件4、二级纠偏件5之间为对称设置，且同组的一级纠偏件4、二级纠偏件5分别位于传动丝杠18两端的一级丝杠螺纹21和二级丝杠螺纹22的位置进行设置。
42.一级纠偏件4、二级纠偏件5均穿过矩形槽7进行设置，且一级纠偏件4、二级纠偏件5的下端均设置有推板15，且一级导杆10、二级导杆11、一级传动结构2、二级传动结构3之间均为错位设置。
43.工作原理：通过设置由安装台1、一级传动结构2、二级传动结构3、一级纠偏件4、二级纠偏件5和取板夹持组件6组合构成的纠偏结构，并通过将一级传动结构2、二级传动结构3均设置成由传动丝杠18和锥齿轮19组合构成，并在传动丝杠18的两端分别开设方向相反的一级丝杠螺纹21和二级丝杠螺纹22，从而通过其可以驱动两侧纠偏件逆向运动，并通过锥齿轮19实现一级纠偏件4、二级纠偏件5的同步运动，从而通过一级纠偏件4、二级纠偏件5的共同作用，以实现对硅片38的纠偏对位，实际使用时，通过驱动伺服电机24，从而带动一级传动结构2和二级传动结构3，从而带动一级纠偏件4、二级纠偏件5进行靠合运动，从而将硅片38推动至指定位置，从而实现对硅片38的纠偏工作。
44.实施例二
45.在实施例一的基础上，取板夹持组件6由吸附座25、压敏电阻26、复位弹簧27、活动板28、支撑杆29、支撑板30、弹性支撑件31和顶座32组合构成，吸附座25为一个顶部封口的管体结构，且吸附座25上预留有气管连接头33和走线槽34，压敏电阻26通过导线35与设备上的plc控制模块进行电信号连接，气管连接头33通过气管与抽气设备相连接。
46.压敏电阻26设置在吸附座25的顶壁上，活动板28活动设置在吸附座25的内腔之中，且活动板28通过复位弹簧27与吸附座25的顶壁相连接，支撑杆29与活动板28上侧面相连接，支撑板30与支撑杆29的上端相连接，弹性支撑件31与支撑板30固定连接，顶座32与活动板28的下表面固定连接，活动板28的板体边缘位置开设有开口槽，且活动板28的侧边与
吸附座25的内侧壁相靠合设置。
47.吸附座25的下端面设置有橡胶密封环36，顶座32的下表面设置有弹性橡胶板37，弹性橡胶板37的下表面低于橡胶密封环36的下表面，复位弹簧27处于复位状态时，其弹性支撑件31与压敏电阻26之间并未接触，且弹性橡胶板37在受力时，其弹性支撑件31与压敏电阻26相靠合，通过将取板夹持组件6设置成由吸附座25、压敏电阻26、复位弹簧27、活动板28、支撑杆29、支撑板30、弹性支撑件31和顶座32组合构成，从而通过负压的形式对硅片38进行夹取，其相较于传统的直接夹持结构，其可以更好的对硅片38进行保护。
48.实施例三
49.在实施例二的基础上，一种片式元器件生产输送设备，片式元器件生产输送设备具有上述纠偏结构。
50.尽管上面对本技术说明性的具体实施方式进行了描述，以便于本技术领域的技术人员能够理解本技术，但是本技术不仅限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员而言，只要各种变化只要在所附的权利要求限定和确定的本技术精神和范围内，一切利用本技术构思的申请创造均在保护之列。