字线驱动器的版图及存储器的制作方法

本公开涉及半导体版图设计领域，特别涉及一种字线驱动器的版图及存储器。

背景技术：

1、动态随机存储器(dynamic random access memory，dram)由于其存储密度高、传输速度快等特点，广泛应用于现代电子系统中。随着半导体技术的发展，dram技术越来越先进，存储单元的集成度越来越高；存储单元的集成度增大，需要控制存储单元的字线的集成度也相应增大。

2、字线的集成度决定字线版图的尺寸，而字线版图的尺寸会影响相应字线驱动器的版图设置；因此，亟需设计一种新的字线驱动器的版图布局方式，避免在字线的排列方向上，字线驱动器的版图尺寸，尤其是栅极长度受到字线版图尺寸的限制。

技术实现思路

1、本公开实施例提供一种字线驱动器的版图及存储器，避免在字线的排列方向上，字线驱动器的版图尺寸，尤其是栅极长度受到字线版图尺寸的限制。

2、本公开一实施例提供了一种字线驱动器的版图，包括：字线驱动器包括驱动nmos、控制pmos和驱动pmos，包括：多个沿第一方向排列的字线驱动版图，第一方向为字线的延伸方向；每一字线驱动版图包括：沿第二方向依次排列的驱动nmos版图、控制pmos版图和驱动pmos版图，第二方向为字线的排列方向；且在第一方向上，两两相邻的字线驱动版图中的驱动nmos版图共用源极层或漏极层、控制pmos版图共用源极层或漏极层、驱动pmos版图共用源极层或漏极层，其中，驱动nmos版图中的栅极层和控制pmos版图中的栅极层通过栅极连接层连接。

3、对于集成度逐渐增加的存储单元，相同数量的存储单元的版图尺寸减小，相应地，字线之间的间距缩小，字线版图在字线的排列方向上的版图尺寸减小；而字线版图在字线的排列方向上的版图尺寸减小，与之适配的字线驱动的版图尺寸也需相应减小。本实施例通过设置多个字线驱动版图在字线的延伸方向上排列，每一字线驱动版图在字线的排列方向上设置，使得相应减小字线驱动器的版图尺寸仅需相应调节字线驱动器的版图尺寸；对于每一字线驱动版图，字线的排列方向上的版图尺寸远大于字线的延伸方向上的版图尺寸，更容易实现尺寸的微缩，从而避免在字线的排列方向上，字线驱动器的版图尺寸，尤其是栅极长度受到字线版图尺寸的限制。

4、另外，相邻栅极连接层交错设置。

5、另外，驱动nmos版图中的栅极层、控制pmos版图中的栅极层和驱动pmos版图中的栅极层，边缘尺寸大于中间尺寸；以增大栅极层的接触面积，从而降低栅极层进行信号传输时的寄生电容。

6、另外，字线驱动器的版图，还包括：第一互连层，设置于驱动nmos版图、控制pmos版图和驱动pmos版图中栅极层的顶部，且设置有第一连接图案，第一连接图案于第二方向延伸，用于驱动nmos、控制pmos和驱动pmos各端子之间的互连；第二互连层，设置于第一互连层顶部，且设置有第二连接图案，第二连接图案于第一方向延伸，且连接第一连接图案，用于输入/输出驱动nmos、控制pmos和驱动pmos各端子对应的控制信号。

7、另外，第一连接图案，包括：输出接触图形，沿第二方向延伸，且设置于驱动nmos版图中漏极图案的顶部、控制pmos版图中漏极图案的顶部和驱动pmos版图顶部中漏极图案的顶部，用于连接驱动nmos的漏极、控制pmos的漏极和驱动pmos的漏极；第一接触图形，沿第二方向延伸，且设置于驱动nmos版图中源极图案的顶部，用于连接驱动nmos的源极；第二接触图形，设置于驱动nmos版图和控制pmos版图之间的间隙位置，用于连接驱动nmos的栅极和控制pmos的栅极；第三接触图形，沿第二方向延伸，且设置于驱动pmos版图和控制pmos版图中源极图案的顶部，用于连接控制pmos的源极和驱动pmos的源极；第四接触图形，设置于驱动pmos版图中栅极图案的顶部，用于连接驱动pmos的栅极。

8、另外，第二连接图案，包括：输出传输图形，于第一方向设置，用于连接输出接触图形和字线输入图案，字线输入图案用于向连接的字线提供驱动信号；第一传输图形，设置于第一接触图形顶部，用于连接第一接触图形和第一输入图案，第一输入图案用于接收驱动nmos的源极控制信号；第二传输图形，设置于第二接触图形顶部，用于连接第二接触图形和第二输入图案，第二输入图案用于接收驱动nmos和控制pmos的栅极控制信号；第三传输图形，设置于第三接触图形顶部，用于连接第三接触图形和第三输入图案，第三输入图案用于接收控制pmos和驱动pmos的源极控制信号；第四传输图形，设置于第四接触图形顶部，用于连接第四接触图形和第四输入图案，第四输入图案用于接收驱动pmos的栅极控制信号。

9、另外，在第一方向上，不同字线驱动版图对应的第三传输图形，在第一方向上的投影相互重合；第二连接图案，还包括：第三互连图形，于第一方向设置，用于连接在第一方向上设置的所有第三传输图形；且第三互连图形上设置有至少一个第三输入图案；通过第三互联图形连接多个第三传输图形，以实现基于同一输入图案同时为多个字线驱动版图提供控制信号，且避免设置多个信号接收图案，以降低字线驱动器的版图整体的寄生电容。

10、另外，第三互连图形上设置有两个第三输入图案，且第三输入图案于第一方向上设置在第三互连图形的两侧。

11、另外，字线驱动版图对应的第三传输图形，在第二方向上设置有多个；通过多个第三传输图形分段为第三接触图形提供控制信号，在一定程度上增大了第三传输图形与第三接触图形的接触面积，从而减小控制pmos的源极压降和驱动pmos的源极压降。。

12、另外，在第一方向上，不同字线驱动版图对应的第一传输图形，在第一方向上的投影部分重合；第二连接图案，还包括：多个第一互连图形，在第二方向上间隔设置，且于第一方向延伸，用于连接在第一方向上投影重合的所有第一传输图形；且每一第一互连图形上设置有至少一个第一输入图案。通过第一互连图形连接多个第一传输图形，以实现基于同一输入图案同时为多个字线驱动版图提供控制信号，且避免设置多个信号接收图案，以降低字线驱动器的版图整体的寄生电容。

13、另外，在第一方向上，不同字线驱动版图对应的第一传输图形，在第一方向上的投影完全重合；第二连接图案，还包括：第一互连图形，于第一方向设置，用于连接在第一方向上设置的所有第一传输图形；且第一互连图形上设置有至少一个第一输入图案。

14、另外，第一互连图形上设置有两个第一输入图案，且第一输入图案于第一方向上设置在第一互连图形的两侧。

15、另外，在第一方向上，第二传输图形连接多个第二接触图形；在第二方向上，多个第二传输图形间隔设置，且相邻第二传输图形在第二方向上投影的位置不同，通过第二传输图形连接多个第二接触图形，以实现基于同一输出图案同时为多个字线驱动版图提供第三控制信号，且避免设置多个信号接收图案，以降低字线驱动器的版图整体的寄生电容。

16、另外，在第一方向上，设置有多个第二传输图形，且多个第二传输图形的投影相互重合。

17、另外，第二传输图形上设置有至少一个第二输入图案，且所有第二输入图案在第二方向上的投影位置互不相同，通过错开第二输入图案的位置，以增大相邻第二输入图案之间的间距，以降低字线驱动器的版图整体的寄生电容。

18、另外，在第一方向上两两相邻的字线驱动版图对应的第二接触图形在第二方向上的投影相互重合；投影重合的第二接触图形对应连接的第二传输图形，在第二方向上的投影相互重合。

19、本公开另一实施例还提供了一种存储器，字线驱动器基于上述实施例提供的字线驱动器的版图进行版图布局，避免在字线的排列方向上，字线驱动器的版图尺寸，尤其是栅极长度受到字线版图尺寸的限制。