升降旋转组合运动装置的制作方法

1.本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种升降旋转组合运动装置。


背景技术：

2.在半导体湿制程设备中，尤其是单片式湿法设备中常常需要不同工艺介质在基板上扫描喷淋做工艺处理。同时为了使工艺介质喷淋装置能够越过流体防溅杯外壁进入防溅杯中心区域对基板进行工艺处理，常常需要其自身运动机构具备升降+旋转组合运动功能。
3.现有技术普遍为气缸提供升降动力、电机+带传动(间接驱动)提供旋转驱动力，配置滚珠丝杠副实现升降运动导向功能；上述装置存在机构叠加导致安装维护困难，且带传动需要调节皮带松紧度以及预防皮带打滑、皮带需要张紧装置、皮带容易疲劳失效等问题。


技术实现要素：

4.本发明为了有效的解决上述背景技术中的问题，提出了一种升降旋转组合运动装置。
5.具体技术方案如下：
6.一种升降旋转组合运动装置，包括基座、中空旋转摆台、滚珠花键副、气缸和浮动结构；所述中空旋转摆台固定于所述基座的上部，所述滚珠花键副的上部安装在所述中空旋转摆台内，滚珠花键副的下部与所述浮动结构连接，所述浮动结构通过提升板与所述气缸的活塞杆连接，所述气缸固定在所述基座的侧部。
7.优选地，所述浮动结构包括浮动接头、嵌套和锁套，所述嵌套套在滚珠花键副的下部，浮动接头套装在嵌套外，所述锁套固定在滚珠花键副的下部，限定嵌套和浮动接头的轴向运动。
8.优选地，所述滚珠花键副的内部为中空结构。
9.优选地，所述基座由上基座、下基座和支撑柱构成，所述上基座和下基座之间通过四根所述支撑柱连接在一起，所述中空旋转摆台安装在所述上基座上。
10.与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明采用模块化思想，利用气缸(升降动力源)+滚珠花键副(自身特性可实现旋转+升降运动)+中空旋转摆台(电机驱动可实现旋转运动)三种模块组合方式，即可实现相关功能。安装简单易于维护，有效减少了需要人工调节的环节。
附图说明
11.图1是本发明的立体图；
12.图2是发明的俯视图；
13.图3是图2中a-a方向的剖视图；
14.图4是本发明的另一个方向立体图。
具体实施方式
15.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
16.下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。
17.如图1-4所示，一种升降旋转组合运动装置，包括基座、中空旋转摆台1、滚珠花键副2、气缸3和浮动结构4；气缸用于提供升降运动动力，所述气缸固定在所述基座的侧部；所述中空旋转摆台固定于所述基座的上部，用于提供旋转动力，具体为，所述基座由上基座5、下基座6和支撑柱7构成，所述上基座和下基座之间通过四根所述支撑柱连接在一起，所述中空旋转摆台安装在所述上基座上。所述滚珠花键副的上部安装在所述中空旋转摆台内，滚珠花键副的下部与所述浮动结构连接，浮动接头用于修正滚珠花键副(滚珠花键轴+滚珠花键母法兰)中花键轴做直线运动产生的偏移，所述浮动结构通过提升板8与所述气缸的活塞杆连接。
18.具体为，所述浮动结构包括浮动接头9、嵌套10和锁套11，所述嵌套套在滚珠花键副的下部，浮动接头套装在嵌套外，所述锁套固定在滚珠花键副的下部，限定嵌套和浮动接头的轴向运动。滚珠花键轴可以相对浮动结构中嵌套10转动；锁套是常规标准件，它的锁轴原理与家里管道的管箍原理一致；嵌套起到润滑的作用。
19.所述滚珠花键副的内部为中空结构12。工艺流体管路可以在该中空结构内通过。
20.浮动结构中浮动接头可采用金属/非金属材质，嵌套采用非金属材质，锁套采用金属/非金属材质；固定基座、支撑柱和提升板可分别采用金属或非金属材质。
21.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。


技术特征：
1.一种升降旋转组合运动装置，其特征在于：包括基座、中空旋转摆台、滚珠花键副、气缸和浮动结构；所述中空旋转摆台固定于所述基座的上部，所述滚珠花键副的上部安装在所述中空旋转摆台内，滚珠花键副的下部与所述浮动结构连接，所述浮动结构通过提升板与所述气缸的活塞杆连接，所述气缸固定在所述基座的侧部。2.根据权利要1所述的升降旋转组合运动装置，其特征在于：所述浮动结构包括浮动接头、嵌套和锁套，所述嵌套套在滚珠花键副的下部，浮动接头套装在嵌套外，所述锁套固定在滚珠花键副的下部，限定嵌套和浮动接头的轴向运动。3.根据权利要1所述的升降旋转组合运动装置，其特征在于：所述滚珠花键副的内部为中空结构。4.根据权利要1所述的升降旋转组合运动装置，其特征在于：所述基座由上基座、下基座和支撑柱构成，所述上基座和下基座之间通过四根所述支撑柱连接在一起，所述中空旋转摆台安装在所述上基座上。

技术总结
本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种升降旋转组合运动装置，包括基座、中空旋转摆台、滚珠花键副、气缸和浮动结构；所述中空旋转摆台固定于所述基座的上部，所述滚珠花键副的上部安装在所述中空旋转摆台内，滚珠花键副的下部与所述浮动结构连接，所述浮动结构通过提升板与所述气缸的活塞杆连接，所述气缸固定在所述基座的侧部。本发明安装简单易于维护，有效减少了需要人工调节的环节。有效减少了需要人工调节的环节。有效减少了需要人工调节的环节。


技术研发人员：王淑梅 刘翠 蒋嘉
受保护的技术使用者：盛华基材（天津）科技有限公司
技术研发日：2022.09.02
技术公布日：2022/11/25