一种晶圆再生用上料装置及其方法与流程

1.本发明涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用上料装置及其方法。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，晶圆再生过程中需要进行各类的加工工序，在整体加工过程中需要不断地对晶圆进行上料传送，以便于进行不同程序的加工。
3.现有技术中，存在问题如下：（1）现有的上料装置在使用时通常无法更加便捷快速的对装置的角度和位置进行调节，在上料时无法根据不同的使用情况对装置的位置进行移动，无法适应不同的使用情况；（2）现有的上料装置在使用时通常无法更加便捷的对装置的高度和位置进行调节，在使用过程中无法根据使用的需求匹配不同的加工装置，使用具有一定的局限性。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种晶圆再生用上料装置及其方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.本发明的技术方案是：一种晶圆再生用上料装置及其方法，包括底座，还包括移位固定机构、高度调节机构和拼接转运机构，所述移位固定机构固定安装在底座底部两侧，所述高度调节机构固定安装在底座顶部，所述高度调节机构包括升降台，所述升降台两侧设置有延伸机构，所述延伸机构顶部两侧固定安装有移位调节机构，所述移位调节机构包括四个安装板、四个分别固定安装在四个安装板顶部的丝杆滑台、两个分别固定安装在四个丝杆滑台的滑动块顶部的第一支撑板、两个分别固定安装在两个第一支撑板顶部的第一电动转盘、两个分别固定安装在两个第一电动转盘顶部的连接块、两个分别固定安装在两个连接块顶部的电动升降套杆和两个分别固定安装在两个电动升降套杆的伸缩端的摇臂，两个所述摇臂底部分别固定安装有旋转机构，所述旋转机构底部固定安装有限位夹持机构，所述拼接转运机构固定安装在升降台一侧。
6.优选的，所述移位固定机构包括四个分别固定安装在底座底部两侧的滚轮、两个分别固定安装在底座两侧的固定板、四个分别固定安装在两个固定板底部的液压杆和四个分别固定安装在四个液压杆底端的固定脚。
7.优选的，所述高度调节机构包括机箱、伺服电机、螺纹杆、旋转块、顶板、升降台和两个分别固定连接在机箱与顶板之间的导杆，所述机箱固定安装在底座顶部，所述伺服电机固定安装在机箱内部，所述螺纹杆固定安装在伺服电机上午输出端，所述旋转块固定安
装在螺纹杆顶部，所述顶板固定安装在旋转块顶部，所述升降台配合安装在螺纹杆外部。
8.优选的，所述延伸机构包括两个分别开设在升降台两侧的安装槽、多个分别固定安装在两个安装槽内部的电动推杆和两个分别固定安装在多个电动推杆的伸缩端的延长板。
9.优选的，所述旋转机构包括两个分别固定安装在两个摇臂底部的安装块、两个分别固定安装在两个安装块底部的第二电动转盘和两个分别固定安装在两个第二电动转盘底部的第二支撑板。
10.优选的，所述限位夹持机构包括两个分别固定安装在两个第二支撑板底部一侧的定位板、两个分别固定安装在两个第二支撑板底部的电动滑轨、两个分别固定安装在两个电动滑轨的滑动块底部的活动板、四个分别固定安装在两个活动板和两个定位板内侧的伸缩套、多个分别固定安装在四个伸缩套内部的固定块和四个分别配合安装在四个伸缩套内侧的伸缩夹板，每个所述固定块与伸缩夹板之间均连接有一个伸缩弹簧。
11.优选的，所述限位夹持机构还包括四个分别开设在四个伸缩夹板一侧的限位槽、多个分别固定安装在四个限位槽一侧的活动块、四个分别配合安装在四个活动块内侧的活动钩和四个分别固定安装在多个活动钩一侧的防护垫。
12.优选的，所述拼接转运机构包括连接板、卡槽、卡块和传送带，所述连接板固定安装在升降台一侧，所述卡槽开设在连接板一侧，所述卡块配合安装在卡槽内侧，所述传送带固定连接在卡块一侧。
13.本发明通过改进在此提供一种晶圆再生用上料装置及其方法，与现有技术相比，具有如下改进及优点：其一：本发明通过设置有移位调节机构、旋转机构和限位夹持机构，推动防护垫使防护垫带动活动钩与活动块相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，从而使活动钩与活动块固定连接，从而使防护垫固定安装在限位槽内侧，可以在对晶圆夹持过程中对晶圆进行更好的防护，避免在使用时对晶圆造成伤害，同时限位槽的设置可以更好的对晶圆的位置进行限定，避免上料时产生晃动，再打开丝杆滑台使丝杆滑台带动第一支撑板移动至晶圆上方，再打开电动升降套杆使电动升降套杆带动摇臂向下移动，直至两个伸缩夹板分别移动至晶圆两侧，再打开电动滑轨使电动滑轨的滑动块带动一个伸缩夹板向内移动，直至防护垫与晶圆两侧相接触，伸缩夹板带动伸缩弹簧向内收缩，同时伸缩弹簧产生回弹力，从而更好对晶圆起到稳定夹持的效果，避免了上料过程中产生晃动，导致脱落，影响后续的使用，将晶圆夹持完成后打开第一电动转盘使第一电动转盘带动摇臂进行旋转，使摇臂带动晶圆旋转至所需的位置，再将晶圆缓慢放置，安装板、丝杆滑台、第一支撑板、第一电动转盘、连接块、电动升降套杆和摇臂的设置可以更加便捷的根据晶圆的位置对夹持装置的位置进行调节，以便于使装置可以适应不同的使用情况，使用更加的便捷，便于将晶圆拿起放下，同时第一电动转盘可以将晶圆转移至各个位置，适用范围更加的广泛，再第二电动转盘的设置，可以更加便于对晶圆的角度进行调节；其二：本发明通过设置有移位固定机构、高度调节机构和拼接转运机构，推动底座使底座带动滚轮进行滚动，将装置移动至加工设备一侧，再开液压杆使液压杆带动固定脚向下移动，直至固定脚与地面贴紧固定，从而使底座保持稳定，可以更加便捷的根据使用的需求对装置进行移位，使用更加的便捷，再打开伺服电机使伺服电机带动螺纹杆通过旋转
块进行旋转，螺纹杆旋转过程中使升降台沿着导杆向上或向下移动，对装置的高度进行调节，使上料装置的高度与加工设备的高度向匹配，以便于使晶圆可以更加准确进行上料，使用更加的便捷，当装置与加工设备之间距离较远时，推动传送带使传送带带动卡块与卡槽卡合固定，从而使传送带固定安装在升降台一侧，以便于对晶圆进行二次转运，可以更加便捷的适应各类设备，大大提升了装置的适用范围。
附图说明
14.下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释:图1是本发明的立体结构示意图；图2是本发明的高度调节机构和延伸机构结构示意图；图3是本发明的拼接转运机构结构示意图；图4是本发明的移位调节机构结构示意图；图5是本发明的旋转机构和限位夹持机构结构示意图；图6是本发明的图5中a处放大结构示意图。
15.附图标记说明：1、底座；2、移位固定机构；21、滚轮；22、固定板；23、液压杆；24、固定脚；3、高度调节机构；31、机箱；32、伺服电机；33、螺纹杆；34、旋转块；35、顶板；36、导杆；37、升降台；4、延伸机构；41、安装槽；42、电动推杆；43、延长板；5、移位调节机构；51、安装板；52、丝杆滑台；53、第一支撑板；54、第一电动转盘；55、连接块；56、电动升降套杆；57、摇臂；6、旋转机构；61、安装块；62、第二电动转盘；63、第二支撑板；7、限位夹持机构；71、定位板；72、电动滑轨；73、活动板；74、伸缩套；75、固定块；76、伸缩弹簧；77、伸缩夹板；78、限位槽；79、活动块；710、活动钩；711、防护垫；8、拼接转运机构；81、连接板；82、卡槽；83、卡块；84、传送带。
16.具体实施方式
17.下面对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
18.本发明通过改进在此提供一种晶圆再生用上料装置及其方法，本发明的技术方案是：实施例一：如图1-图4所示，一种晶圆再生用上料装置及其方法，包括底座1，还包括移位固定机构2、高度调节机构3和拼接转运机构8，移位固定机构2固定安装在底座1底部两侧，高度调节机构3固定安装在底座1顶部，高度调节机构3包括升降台37，升降台37两侧设置有延伸机构4，延伸机构4顶部两侧固定安装有移位调节机构5，移位调节机构5包括四个安装板51、四个分别固定安装在四个安装板51顶部的丝杆滑台52、两个分别固定安装在四个丝杆滑台52的滑动块顶部的第一支撑板53、两个分别固定安装在两个第一支撑板53顶部的第一电动转盘54、两个分别固定安装在两个第一电动转盘54顶部的连接块55、两个分别固定安装在
两个连接块55顶部的电动升降套杆56和两个分别固定安装在两个电动升降套杆56的伸缩端的摇臂57，两个摇臂57底部分别固定安装有旋转机构6，旋转机构6底部固定安装有限位夹持机构7，拼接转运机构8固定安装在升降台37一侧。
19.上述具体实施方案：打开丝杆滑台52使丝杆滑台52带动第一支撑板53移动至晶圆上方，再打开电动升降套杆56使电动升降套杆56带动摇臂57向下移动，直至两个伸缩夹板77分别移动至晶圆两侧，可以更加便捷的根据晶圆的位置对夹持装置的位置进行调节，以便于使装置可以适应不同的使用情况，使用更加的便捷，便于将晶圆拿起放下。
20.具体的，移位固定机构2包括四个分别固定安装在底座1底部两侧的滚轮21、两个分别固定安装在底座1两侧的固定板22、四个分别固定安装在两个固定板22底部的液压杆23和四个分别固定安装在四个液压杆23底端的固定脚24，通过设置有滚轮21、固定板22、液压杆23和固定脚24，使底座1保持稳定，可以更加便捷的根据使用的需求对装置进行移位，使用更加的便捷。
21.具体的，高度调节机构3包括机箱31、伺服电机32、螺纹杆33、旋转块34、顶板35、升降台37和两个分别固定连接在机箱31与顶板35之间的导杆36，机箱31固定安装在底座1顶部，伺服电机32固定安装在机箱31内部，螺纹杆33固定安装在伺服电机32上午输出端，旋转块34固定安装在螺纹杆33顶部，顶板35固定安装在旋转块34顶部，升降台37配合安装在螺纹杆33外部，通过设置有机箱31、伺服电机32、螺纹杆33、旋转块34、顶板35、导杆36和升降台37，可以对装置的高度进行调节，使上料装置的高度与加工设备的高度向匹配，以便于使晶圆可以更加准确进行上料，使用更加的便捷。
22.具体的，延伸机构4包括两个分别开设在升降台37两侧的安装槽41、多个分别固定安装在两个安装槽41内部的电动推杆42和两个分别固定安装在多个电动推杆42的伸缩端的延长板43，通过设置有安装槽41、电动推杆42和延长板43，可以更加便捷的根据使用的需求对装置的宽度进行调节，以便于同时对两侧的晶圆同时进行上料，有效的提升了装置的使用效率。
23.具体的，旋转机构6包括两个分别固定安装在两个摇臂57底部的安装块61、两个分别固定安装在两个安装块61底部的第二电动转盘62和两个分别固定安装在两个第二电动转盘62底部的第二支撑板63，通过设置有安装块61、第二电动转盘62和第二支撑板63，可以更加便于对晶圆的角度进行调节。
24.具体的，限位夹持机构7包括两个分别固定安装在两个第二支撑板63底部一侧的定位板71、两个分别固定安装在两个第二支撑板63底部的电动滑轨72、两个分别固定安装在两个电动滑轨72的滑动块底部的活动板73、四个分别固定安装在两个活动板73和两个定位板71内侧的伸缩套74、多个分别固定安装在四个伸缩套74内部的固定块75和四个分别配合安装在四个伸缩套74内侧的伸缩夹板77，每个固定块75与伸缩夹板77之间均连接有一个伸缩弹簧76，通过设置有定位板71、电动滑轨72、活动板73、伸缩套74、固定块75、伸缩弹簧76和伸缩夹板77，伸缩夹板77带动伸缩弹簧76向内收缩，同时伸缩弹簧76产生回弹力，从而更好对晶圆起到稳定夹持的效果，避免了上料过程中产生晃动，导致脱落，影响后续的使用。
25.具体的，限位夹持机构7还包括四个分别开设在四个伸缩夹板77一侧的限位槽78、多个分别固定安装在四个限位槽78一侧的活动块79、四个分别配合安装在四个活动块79内
侧的活动钩710和四个分别固定安装在多个活动钩710一侧的防护垫711，通过设置有限位槽78、活动块79、活动钩710和防护垫711，可以在对晶圆夹持过程中对晶圆进行更好的防护，避免在使用时对晶圆造成伤害，同时限位槽78的设置可以更好的对晶圆的位置进行限定，避免上料时产生晃动。
26.具体的，拼接转运机构8包括连接板81、卡槽82、卡块83和传送带84，连接板81固定安装在升降台37一侧，卡槽82开设在连接板81一侧，卡块83配合安装在卡槽82内侧，传送带84固定连接在卡块83一侧，通过设置有连接板81、卡槽82、卡块83和传送带84，以便于对晶圆进行二次转运，可以更加便捷的适应各类设备，大大提升了装置的适用范围。
27.工作原理：首先接通外部电源，推动底座1使底座1带动滚轮21进行滚动，将装置移动至加工设备一侧，再开液压杆23使液压杆23带动固定脚24向下移动，直至固定脚24与地面贴紧固定，从而使底座1保持稳定，再打开伺服电机32使伺服电机32带动螺纹杆33通过旋转块34进行旋转，螺纹杆33旋转过程中使升降台37沿着导杆36向上或向下移动，对装置的高度进行调节，然后当装置与加工设备之间距离较远时，推动传送带84使传送带84带动卡块83与卡槽82卡合固定，从而使传送带84固定安装在升降台37一侧，再打开电动推杆42使电动推杆42带动延长板43延伸至所需位置，其次推动防护垫711使防护垫711带动活动钩710与活动块79相接触，持续推动使活动钩710两侧向内折叠，直至通过活动块79，活动钩710再进行回弹，从而使活动钩710与活动块79固定连接，从而使防护垫711固定安装在限位槽78内侧，再打开丝杆滑台52使丝杆滑台52带动第一支撑板53移动至晶圆上方，再打开电动升降套杆56使电动升降套杆56带动摇臂57向下移动，直至两个伸缩夹板77分别移动至晶圆两侧，再打开电动滑轨72使电动滑轨72的滑动块带动一个伸缩夹板77向内移动，直至防护垫711与晶圆两侧相接触，伸缩夹板77带动伸缩弹簧76向内收缩，同时伸缩弹簧76产生回弹力，从而更好对晶圆起到稳定夹持的效果，最后将晶圆夹持完成后打开第一电动转盘54使第一电动转盘54带动摇臂57进行旋转，使摇臂57带动晶圆旋转至所需的位置，再将晶圆缓慢放置，其中液压杆23的型号为：cdm2b25，伺服电机32的型号为：ye2-132s-4，电动推杆42的型号为：ys-nz100-12a，丝杆滑台52的型号为：pkh40，第一电动转盘54的型号为：dg60-5，电动升降套杆56的型号为：xydha24-800，电动滑轨72的型号为：pkh40。
28.上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。