显示面板及其制备方法与显示装置与流程

1.本技术涉及显示技术领域，具体涉及一种显示面板及其制备方法与显示装置。


背景技术：

2.在目前常规的显示面板中，通常包括基板以及依次设置于基板上的薄膜晶体管层、平坦化层以及电极层，其中电极层需跨过形成于平坦化层中的接触孔与薄膜晶体管层连接，而由于所述平坦化层的厚度相对较厚，通常厚度会达到2um，使得该接触孔深度非常深，而所述电极层的材料通常为延展性较差的氧化铟锡，且厚度较薄，使得所述电极层在跨过对应的接触孔时可能会出现膜层断裂导致信号传输异常进而导致显示不良出现，或所述电极部在覆盖所述接触孔表面的区域膜质疏松导致所述电极层与薄膜晶体管层的接触电阻过高进而导致显示不良出现。


技术实现要素：

3.本发明提供一种显示面板及其制备方法与显示装置，可解决电极层易断裂以及电极层与薄膜晶体管层接触电阻高导致的显示不良的问题。
4.为解决上述问题，第一方面，本发明提供了一种显示面板，所述显示面板包括：
5.基板；
6.薄膜晶体管层，设置于所述基板上，包括多个薄膜晶体管；
7.平坦化层，设置于所述薄膜晶体管层上，包括对应多个所述薄膜晶体管设置的多个第一接触孔；
8.电极层，设置于所述平坦化层上，包括多个电极部；
9.其中，所述平坦化层与所述电极层之间还设置有导电连接层，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接。
10.在本发明实施例所提供的一种显示面板中，一所述导电连接部包括第一导电部与第二导电部，所述第一导电部覆盖对应的所述第一接触孔的侧壁并与对应的所述薄膜晶体管连接，所述第二导电部与所述第一导电部远离所述基板的一端连接并延伸至所述平坦化层远离所述基板的侧面上，所述电极部至少与所述第二导电部搭接。
11.在本发明实施例所提供的一种显示面板中，所述电极层与所述导电连接层之间还设置有第一钝化层，所述第一钝化层包括对应多个所述导电连接部设置的多个第二接触孔，所述第二接触孔的孔径大于对应的所述第一接触孔的孔径，一所述电极部通过对应的一所述第二接触孔与所述导电连接部电性连接且所述电极部与所述第二导电部至少部分搭接。
12.在本发明实施例所提供的一种显示面板中，一所述电极部在所述平坦化层上的正投影覆盖对应的所述第一接触孔，所述电极部通过对应的所述第二接触孔还与所述第一导
电部搭接。
13.在本发明实施例所提供的一种显示面板中，所述导电连接层包括第一导电连接子层，所述第一导电连接子层的材料为铜。
14.在本发明实施例所提供的一种显示面板中，所述导电连接层还包括设置于所述第一导电连接子层与所述平坦化层之间的第二导电连接子层，所述第二导电连接子层的材料为氧化铟锡。
15.在本发明实施例所提供的一种显示面板中，所述平坦化层与所述薄膜晶体管层之间还设置有第二钝化层，所述第二钝化层包括对应多个所述第一接触孔设置的多个第三接触孔，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔以及一对应的所述第三接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接；
16.其中，在一所述第一接触孔与对应的一所述第三接触孔中，所述第一接触孔靠近所述基板的一端与所述第三接触孔远离所述基板的一端连接。
17.在本发明实施例所提供的一种显示面板中，所述第一接触孔的侧壁相较所述基板的形成的锐夹角的角度大于所述第三接触孔的侧壁相较所述基板的形成的锐夹角的角度。
18.第二方面，本发明提供了一种显示面板的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
19.s10：提供一基板，在所述基板上形成薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管；
20.s20：在所述薄膜晶体管层上形成平坦化层，所述平坦化层包括对应多个所述薄膜晶体管形成的多个第一接触孔；
21.s30：在所述平坦化层上形成导电连接层，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接；
22.s40：在所述导电连接层上形成电极层，所述电极层包括多个电极部，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性。
23.第三方面，本发明提供了一种显示装置，所述显示装置包括上述的显示面板。
24.有益效果：本发明提供了一种显示面板及其制备方法与显示装置，所述显示面板包括基板；薄膜晶体管层，设置于所述基板上，包括多个薄膜晶体管；平坦化层，设置于所述薄膜晶体管层上，包括对应多个所述薄膜晶体管设置的多个第一接触孔；电极层，设置于所述平坦化层上，包括多个电极部；其中，所述平坦化层与所述电极层之间还设置有导电连接层，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接，通过设置所述导电连接层，并使用所述导电连接部替代所述电极部跨过所述第一接触孔与所述薄膜晶体管直接连接，进而所述电极部再通过与所述导电连接部连接实现与所述薄膜晶体管的电性连接，由于所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，从而提升了所述电极部与所述薄膜晶体管的连接可靠性，且所述导电连接部与所述电极部作为等效电极部的这一整体与所述薄膜晶体管之间的接触电阻得以降低，进而使得所述显示面板具有更高的显示良率。
附图说明
25.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是本发明现有技术提供的一种显示面板的截面结构示意图；
27.图2是本发明实施例提供的第一种显示面板的截面结构示意图；
28.图3是本发明实施例提供的第二种显示面板的截面结构示意图；
29.图4是本发明实施例提供的第三种显示面板的截面结构示意图；
30.图5是本发明实施例提供的第四种显示面板的截面结构示意图；
31.图6是本发明实施例提供的一种显示面板的制备方法的文字流程示意图；
32.图7a-7e是本发明实施例提供的一种显示面板的制备方法的结构流程示意图。
具体实施方式
33.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
34.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
35.在本技术中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本技术中被描述为“示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为了使本领域任何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本技术所公开的原理和特征的最广范围相一致。
36.请参阅图1示出的现有技术中的一种常规的显示面板的截面结构，通常包括基板100以及依次设置于所述基板100上的薄膜晶体管层200、第二钝化层300、平坦化层400、第一钝化层500以及电极层600，其中，所述薄膜晶体管层200包括栅极层210、栅极绝缘层220、有源层230以及源漏电极层240，所述栅极层210包括多个栅极211，所述有源层230包括对应多个所述栅极211设置的多个有源部231，所述源漏电极层240包括对应多个所述有源部231设置的多个源极241与漏极242，所述电极层600包括多个电极部610，一所述电极部需跨过
形成于所述第一钝化层500、平坦化层400以及第二钝化层300中的接触孔与对应的所述漏极242电性连接，而由于所述平坦化层400的厚度相对较厚，通常厚度会达到2um，使得该接触孔深度较深，而所述电极层的材料通常为延展性较差的氧化铟锡，且厚度较薄，使得所述电极部在跨过对应的接触孔时可能会出现膜层断裂导致信号传输异常进而导致不良，或所述电极部在覆盖所述接触孔表面的区域膜质疏松导致所述电极部与所述漏极的接触电阻过高进而导致不良；
37.为了改善上述问题，目前常规的改善手段为调整所述第一钝化层500与第二钝化层300的刻蚀工艺以改善接触孔的taper角，然而此方法对接触电阻的降低仍十分有限，在改善后所述电极部与所述漏极的接触电阻仍大于10千欧，仍有导致显示不良的风险。
38.基于上述问题，本发明实施例提供了一种显示面板，下结合图2进行详细说明：
39.具体地，所述显示面板包括层叠设置的基板100、薄膜晶体管层200、平坦化层400以及电极层600；
40.所述基板100根据所述显示面板的显示形态的需求，可以为刚性基板或柔性基板；所述薄膜晶体管层200设置于所述基板100上，包括多个薄膜晶体管tft以及交错设置的多条扫描线与信号线等结构，作为显示面板实现显示的驱动结构；所述平坦化层400设置于所述薄膜晶体管层200上，包括对应多个所述薄膜晶体管tft设置的多个第一接触孔h1，所述第一接触孔h1用于使得所述薄膜晶体管tft与上层的像素结构进行连接，所述平坦化层400的材料通常由液态的有机光阻材料经涂布曝光以及固化工艺形成，且具有一定的厚度，从而可填补下层的薄膜晶体管层200中具有的段差，使得所述平坦化层400远离所述基板100一侧的表面具有较高的平坦度；所述电极层600设置于所述平坦化层400上，包括多个间隔设置的电极部610，当所述显示面板为液晶显示面板时，所述电极部610即为像素电极；
41.其中，所述平坦化层400与所述电极层600之间还设置有导电连接层700，所述导电连接层700的材料的延展性大于所述电极层600的材料的延展性，所述导电连接层700包括多个导电连接部710，一所述导电连接部710通过一所述第一接触孔h1与一所述薄膜晶体管tft电性连接，一所述电极部610与一所述导电连接部710电性连接，即一所述电极部610与对应的一所述薄膜晶体管tft通过一所述导电连接部710实现电性连接；
42.在本实施例所提供的显示面板中，通过在所述平坦化层400与所述电极层600之间增设所述导电连接层700，使用所述导电连接部710中替代所述电极部610通过第一接触孔h1与所述薄膜晶体管tft连接，又由于所述导电连接层700的材料的延展性大于所述电极层600的材料的延展性，使得所述导电连接部710在跨过所述第一接触孔h1形成的台阶时，相较于所述电极部在跨过所述第一接触孔h1形成的台阶时，可更好地覆盖于所述第一接触孔h1形成的台阶上，即可使得附着于所述第一接触孔h1的孔壁与孔底上的膜层具有更小的断裂风险以及具有更致密的膜质；
43.此时，若假设将所述电极部610与所述导电连接部710作为一具有复合结构的等效电极部，一方面该等效电极部因为具有更小的断裂风险，从而相当于提升了所述电极部610与所述薄膜晶体管tft的连接可靠性；另一方面，该等效电极部与所述薄膜晶体管tft的连接界面具有更致密的膜质，从而该等效电极部与所述薄膜晶体管tft之间具有更小的接触电阻；
44.综上，通过设置所述导电连接层700，并使用所述导电连接部710替代所述电极部
610跨过所述第一接触孔h1与所述薄膜晶体管tft连接，提升了所述电极部610与所述薄膜晶体管tft的连接可靠性，且所述导电连接部710与所述电极部610作为等效电极部的这一整体与所述薄膜晶体管tft之间的接触电阻得以降低，进而使得所述显示面板具有更高的显示良率。
45.补充说明的是，关于本发明实施例限定的所述导电连接层700的材料的延展性大于所述电极层600的材料的延展性，其中，所述电极层600的材料通常为氧化铟锡，导电连接层700的材料则可为本领域常用的金属材料，例如可以为铜、铝、钼、钛中的一种或多种。
46.在本实施例中，所述薄膜晶体管层200中的所述薄膜晶体管tft可选用本领域常规的薄膜晶体管即可，本发明实施例对此不作特殊限定；
47.示例性地，所述薄膜晶体管tft可以为背沟道刻蚀型薄膜晶体管，具体地，所述薄膜晶体管层200包括栅极层210、栅极绝缘层220、有源层230以及源漏电极层240，所述栅极层210包括多个栅极211，所述有源层230包括对应多个所述栅极211设置的有源部231，所述源漏电极层240包括对应多个所述有源部231设置的多个源极241与漏极242；
48.一所述薄膜晶体管tft包括一所述栅极211、一所述有源部231、一所述源极241与一所述漏极242；
49.进一步地，一所述导电连接部710通过一所述第一接触孔h1具体与所述薄膜晶体管tft中的漏极242连接。
50.在一些实施例中，请继续参阅图2，一所述导电连接部710包括第一导电部711与第二导电部712，所述第一导电部711覆盖对应的所述第一接触孔h1的侧壁设置并与对应的所述薄膜晶体管tft连接，所述第一导电部711完全覆盖所述第一接触孔h1的侧壁与孔底，并在内部形成一凹槽；
51.所述第二导电部712与所述第一导电部711远离所述711基板100的一端连接并延伸至所述平坦化层400远离所述基板100的侧面上，所述电极部610至少与所述第二导电部712搭接，即将所述电极部610与所述第二导电部712直接搭接，避免所述电极部610因爬所述第一导电部711内部形成的凹槽时发生断裂的情形出现，提升了所述电极部610与所述导电连接部710的连接可靠性，进而提升了所述电极部610与所述薄膜晶体管tft的连接可靠性；
52.具体地，所述第二导电部712环绕所述第一接触孔h1的开口设置于所述平坦化层400上，进而使得所述电极部610与所述第二导电部712的搭接面呈环形，保证一定的搭接面积以进一步提升连接可靠性。
53.在一些实施例中，所述电极层600与所述导电连接层700以及所述平坦化层400之间还设置有第一钝化层500，所述第一钝化层500通常为氮化硅膜层，所述第一钝化层500包括对应多个所述导电连接部710设置的多个第二接触孔h2，所述第二接触孔h2的孔径大于对应的所述第一接触孔h1的孔径，因此所述第二接触孔h2可使得所述第二导电部712远离所述基板100的表面至少部分的显露，进而一所述电极部610可通过对应的一所述第二接触孔h2与所述导电连接部710电性连接且所述电极部610与所述第二导电部712至少部分搭接；
54.补充说明的是，设置所述第一钝化层500的目的是为了将所述电极层与所述公共电极层(图中未示出)实现绝缘，其中所述公共电极层设置于所述平坦化层400与所述第一
钝化层500之间，同时所述公共电极层与所述导电连接层的设置位置不会相互干涉，因此两者之间不会相互影响。
55.在一些实施例中，请参阅图3，一所述电极部610在所述平坦化层400上的正投影覆盖对应的所述第一接触孔h1，所述电极部通过对应的所述第二过孔除了与所述第二导电部712搭接以外，还进一步延伸覆盖于第一导电部711形成的凹槽表面并与所述第一导电部711搭接；在这种设置方式中，所述电极部610不需要在对应所述第一接触孔h1的区域开孔，从而可避免在具体的制备过程中因孔与孔的对位偏移造成连接异常的问题；
56.可以理解的是，虽然所述电极部610在爬所述第一导电部711形成的凹槽时存在断裂的风险，但是在所述电极部610已经所述第二导电部712搭接的前提下，已经可保证所述电极部610与所述导电连接部710的连接可靠性，即便所述电极部610在对应所述第一导电部711的区域出现微小裂纹也不会产生影响。
57.在一些实施例中，请参阅图4，所述导电连接层700包括第一导电连接子层700a，所述第一导电连接子层700a的材料为铜，一方面，金属铜具有较好的延展性，使得所述导电连接层700在爬所述平坦化层400中的所述第一接触孔h1时发生断裂的风险大大降低，另一方面，金属铜具有较低的电阻率，可使得所述导电连接层700与所述薄膜晶体管tft中的所述漏极242具有较小的接触电阻，有利于进一步提升显示良率。
58.进一步地，在一些实施例中，所述导电连接层700还包括设置于所述第一导电连接子层700a与所述平坦化层400之间的第二导电连接子层700b，所述第二导电连接子层700b的材料为氧化铟锡，一方面，由于铜材质的所述第一导电连接子层700a与所述平坦化层400之间的粘附力不足，存在发生膜层剥离的风险，因此在所述第一导电连接子层700a与所述平坦化层400之间在增加一有氧化铟锡材料形成的所述第二导电连接子层700b，以增加所述导电连接层700与所述平坦化层400之间的粘附力，另一方面，所述第二导电连接子层700b还可作为阻隔功能层，用于在溅射形成所述第二导电连接子层700b，避免高能量的等离子体轰击所述平坦化层400造成膜层损伤。
59.补充说明的是，所述第二导电连接子层700b与所述第一导电连接子层700a具有完全相同的图案，其中，所述第二导电连接子层700b的厚度通常大于300埃，以起到较高的阻隔效果，所述第一导电连接子层700a的厚度则根据具体的电阻需求而定，具体此处不作限定。
60.在一些实施例中，请参阅图5，所述平坦化层400与所述薄膜晶体管层200之间还设置有第二钝化层300，所述第二钝化层300包括对应多个所述第一接触孔设置的多个第三接触孔h3，一所述导电连接部710通过一所述第一接触孔h1以及一对应的所述第三接触孔h3与一所述薄膜晶体管tft电性连接，其中，所述第二钝化层300通常为层叠设置的氧化硅层与氮化硅层，用于对所述薄膜晶体管层200进行保护；
61.其中，在一所述第一接触孔h1与对应的一所述第三接触孔h3中，所述第一接触孔h1靠近所述基板100的一端与所述第三接触孔h3远离所述基板100的一端连接，即所述第一接触孔h1下端开口与所述第三接触孔h3的上端开口重合，使得所述第一接触孔h1的孔壁与所述第三接触孔h3的孔壁相连接，不会形成台阶结构，使得所述导电连接部710可更好地跨过所述第一接触孔h1与所述第三接触孔h3与所述薄膜晶体管tft连接。
62.进一步地，在一些实施例中，请参阅图5，所述第一接触孔h1的侧壁相较所述基板
100的形成的锐夹角的角度大于所述第三接触孔h3的侧壁相较所述基板的形成的锐夹角的角度，即为图中所示的第一锐夹角α的角度大于第二锐夹角β的角度，从而使得所述第一接触孔h1与所述第三接触孔h3连通形成的接触孔的孔壁具有更平缓的坡度，进一步使得所述导电连接部710可更好地跨过所述第一接触孔h1与所述第三接触孔h3与所述薄膜晶体管tft连接。
63.本发明另一实施例提供了一种显示面板的制备方法，请参阅图6，所述制备方法包括如下步骤：
64.s10：提供一基板，在所述基板上形成薄膜晶体管层，所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管；
65.s20：在所述薄膜晶体管层上形成平坦化层，所述平坦化层包括对应多个所述薄膜晶体管形成的多个第一接触孔；
66.s30：在所述平坦化层上形成导电连接层，所述导电连接层的材料的延展性大于所述电极层的材料的延展性，所述导电连接层包括多个导电连接部，一所述导电连接部通过一所述第一接触孔与一所述薄膜晶体管电性连接；
67.s40：在所述导电连接层上形成电极层，所述电极层包括多个电极部，一所述电极部与一所述导电连接部电性连接。
68.进一步地，如下结合图7a-7e进行详述：
69.请参阅图7a，提供一基板100，在所述基板100上形成薄膜晶体管层200，所述薄膜晶体管层200包括多个薄膜晶体管tft；
70.其中，形成所述薄膜晶体管200包括依次形成栅极层210、栅极绝缘层220、有源层230以及源漏电极层240，所述栅极层210包括多个栅极211，所述有源层230包括对应多个所述栅极211设置的有源部231，所述源漏电极层240包括对应多个所述有源部231设置的多个源极241与漏极242，一所述薄膜晶体管tft包括一所述栅极211、一所述有源部231、一所述源极241与一所述漏极242；
71.再在所述薄膜晶体管层200上沉积一绝缘膜层300a；
72.请参阅图7b，在所述绝缘膜层300a上形成平坦化层400，所述平坦化层400中形成有对应多个所述薄膜晶体管tft设置的多个第一接触孔h1；
73.进一步地，以所述平坦化层400作为遮罩对所述绝缘膜层300a进行刻蚀，使得所述绝缘膜层300a中形成对应所述第一接触孔h1的第三接触孔h3，即形成第二钝化层300，一方面所述第二钝化层300的形成不需通过额外的光罩，使得制备工艺简单，另一方面，可使得形成的所述接触孔h3的孔壁与所述第一接触孔h1的孔壁恰好连接，有利于后续制备的导电连接层与所述薄膜晶体管层200更好的连接；
74.请参阅图7c，在所述平坦化层400上形成导电连接层700，所述导电连接层700包括多个导电连接部710，一所述导电连接部710通过一所述第一接触孔h1以及一所述第三接触孔h3与一所述薄膜晶体管tft中的所述漏极242电性连接；
75.请参阅图7d，在所述平坦化层400以及所述导电连接层700上形成第一钝化层500，所述第一钝化层500包括对应多个所述导电连接部710的多个第二接触孔h2，可以理解的是，由于第一钝化层500的厚度较薄，所述第二接触孔h2的形状易于控制，通过控制刻蚀工艺可使得所述第二接触孔h2具有较小的taper角，有利于电极部与所述导电连接部710的连
接；
76.请参阅图7e，在所述第一钝化层500上形成电极层600，包括多个间隔设置的电极部610，一所述电极部610与一所述导电连接部710电性连接，即一所述电极部610与对应的一所述薄膜晶体管tft通过一所述导电连接部710实现电性连接。
77.在上述制备方法中，所述第一钝化层500与所述第二钝化层300分开进行刻蚀工艺，可使得所述第二接触孔h2与所述第三接触孔h3均具有较优的形状；
78.进一步地，在现有技术中由于需要一同刻蚀第二接触孔h2与所述第三接触孔h3，所述第一接触孔h1的孔径需设置的较大，为所述第二接触孔h2与所述第三接触孔h3的刻蚀提供空间，而在本实施例中，由于将第三接触孔h3与所述第二接触孔h2分开刻蚀，且使用所述平坦化层400作为遮罩刻蚀形成所述第三接触孔h3，使得所述平坦化层400中的所述第一接触孔h1的孔径可设计得更小，有利于降低非开口区的面积，进而提升有效开口率。
79.本发明另一实施例提供了一种显示装置，所述显示装置包括前述实施例中所提供的显示面板，所述显示装置包括但不限于为手机、智能手表、平板电脑。笔记本电脑、电视机以及车载显示屏等。
80.在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。
81.以上对本发明实施例所提供的一种显示面板及其制备方法与显示装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。