顶针辅助安装装置的制作方法

1.本技术涉及晶圆辅助取片技术领域，特别涉及顶针辅助安装装置。


背景技术：

2.晶圆取片时顶针可辅助设备进行取片，但安装顶针时需要保证每根顶针在同一水平面上，否则容易造成取片时晶圆上的芯片碎裂。


技术实现要素：

3.本技术实施例提供一种顶针辅助安装装置，以解决相关技术中辅助设备进行晶圆取片时，多个顶针不在同一水平面上，容易造成晶圆取片时芯片碎裂的技术问题。
4.第一方面，本技术提供了一种顶针辅助安装装置，包括框体结构、升降机构和压板结构，所述框体机构，包括顶板、侧板和底板，所述顶板、侧板和所述底板围合成前方具有敞口的框体结构，所述顶板上开设有第一通孔，所述侧板内壁面上固定有丝杆固定结构，所述丝杆固定结构开设有第二通孔，所述第二通孔和所述第一通孔同轴设置，所述底板用于固定顶针安装座；升降机构包括导杆、丝杆和导杆旋转结构，所述导杆位于所述丝杆的外周，所述丝杆穿过第一通孔，其底端固定于所述第二通孔内，所述导杆旋转结构固定于所述导杆顶端，用于在外力作用下带动导杆转动相对于丝杆发生升降运动；压板机构，包括压板和压板固定结构，所述压板底面水平方向设置，通过所述压板固定结构固定于顶板和丝杆固定结构之间的导杆外周上；所述压板用于下压顶针安装座上的顶针。
5.一些实施例中，所述导杆旋转结构包括第一导套以及沉孔接头，所述沉孔接头通过所述第一导套固定于位于顶板上方的所述导杆外周。
6.一些实施例中，所述沉孔为六角沉孔。
7.一些实施例中，所述压板固定装置包括第二导套，所述压板上开设有压板安装孔，所述导杆穿过所述压板安装孔，所述压板通过所述第二导套固定于位于所述顶板和所述丝杆固定结构之间的所述导杆外周。
8.一些实施例中，所述丝杆固定结构包括一固定块，所述固定块包括两凸耳以及开设于其中部的第二通孔，两所述凸耳螺接固定于侧板的内侧，所述丝杆的底端固定于所述第二通孔内。
9.一些实施例中，所述底座上开设有圆槽，所述圆槽用于固定顶针安装座。
10.一些实施例中，所述导杆外周与所述第一通孔的孔壁之间具有间隙。
11.一些实施例中，所述第一导套的底部设有固定于所述导杆的外周的螺母。
12.一些实施例中，所述螺母和所述顶板之间的间隙大于所述压板的下移最大距离。
13.一些实施例中，所述丝杆的底端通过同轴法兰固定于所述第二通孔内。
14.本技术提供的技术方案带来的有益效果包括：
15.本技术实施例提供了一种顶针辅助安装装置，通过升降机构带动压板下压于顶针安装座的所有顶针，使其处于同一水平面上，避免顶针安装座上的所有顶针在辅助设备进
行晶圆取片时，不在同一水平面上的顶针造成晶圆上的芯片碎裂的问题产生，装置结构简单，易于实现，顶针取齐效果好，有效保障了顶针辅助取片时的芯片质量。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本技术实施例提供的顶针辅助安装装置的结构示意图；
18.图2为本技术实施例提供的顶针辅助安装装置的另一结构示意图。
19.图中：11、顶板；12、侧板；13、底板；130、圆槽；14、固定块；140、第二通孔；21、沉孔接头；22、第一导套；23、导杆；25、丝杆；31、第二导套；32、压板。
具体实施方式
20.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
21.本技术实施例提供了一种顶针辅助安装装置，其能解决现有技术中顶针安装座上的顶针不处于同一水平面上，造成顶针辅助晶圆取片时芯片易于碎裂的技术问题。
22.如上所述，所述辅助晶圆取片为辅助从晶圆上取芯片。
23.第一方面，请参考图1，本技术提供了一种顶针辅助安装装置，包括框体结构、升降机构和压板32结构，所述框体机构包括顶板11、侧板12和底板13，所述顶板11、所述侧板12和所述底板13围合成前方具有敞口的框体结构，所述顶板11上开设有第一通孔，所述侧板12内壁面上固定有丝杆25固定结构，所述丝杆25固定结构开设有第二通孔140，所述第二通孔140和所述第一通孔同轴设置，所述底板13用于固定顶针安装座；升降机构包括导杆23、丝杆25和导杆23旋转结构，所述导杆23位于所述丝杆25的外周，所述丝杆25穿过第一通孔，其底端固定于所述第二通孔140内，所述导杆23旋转结构固定于所述导杆23顶端，用于在外力作用下带动导杆23转动相对于丝杆25发生升降运动；压板32机构包括压板32和压板32固定结构，所述压板32底面水平方向设置，通过所述压板32固定结构固定于顶板11和丝杆25固定结构之间的导杆23外周上；所述压板32用于下压顶针安装座上的顶针进行所有顶针的顶端取齐。
24.本技术实施例提供了一种顶针辅助安装装置，通过升降机构带动压板32下压于顶针安装座的所有顶针，使所有顶针的顶端处于同一水平面上，避免顶针安装座上的所有顶针在辅助设备进行晶圆取片时，不在同一水平面上造成晶圆上的芯片碎裂的问题产生，装置结构简单，易于实现，顶针取齐效果好，有效保障了顶针辅助取片时的芯片质量。
25.在一实施例中，所述侧板12的数量可以实现为一个、两个或三个，只要所述顶板11、底板13和侧板12围合成的框体具有前方敞口，便于从该前方敞口向底板13上放置顶针安装座即可。
26.在一实施例中，所述侧板12的数量为一个，所述顶板11、侧板12和底板13围合成半围合并具有前后敞口的框体。
27.在一实施例中，所述侧板12的数量为两个，所述顶板11、两个侧板12和底板13围合成整围合具有前后敞口的框体。
28.在一实施例中，所述侧板12的数量为三个，所述顶板11、三个侧板12以及底板13围合成整围合具有前敞口的框体。
29.在一实施例中，本技术提供的顶针安装装置包括框体机构、升降机构和压板32机构，所述框体机构，包括顶板11、侧板12和底板13，所述顶板11、侧板12和所述底板13围合成前方具有敞口的框体结构，所述顶板11上开设有第一通孔，所述侧板12内壁面上固定有丝杆25固定结构，所述丝杆25固定结构开设有第二通孔140，所述第二通孔140和所述第一通孔同轴设置，所述底板13用于固定顶针安装座；所述升降机构包括导杆23、丝杆25、第一导套22和沉孔接头21，导杆23位于所述丝杆25的外周，所述丝杆25穿过第一通孔，其底端固定于所述第二通孔140内，所述沉孔接头21通过第一导套22同轴固定于所述导杆23的顶端，用于在外力作用于沉孔接头21的沉孔内，带动沉孔接头21从而带动所述导杆23旋转相对于所述丝杆25发生升降运动；所述压板32结构包括压板32和压板32固定结构，所述压板32底板13水平方向设置，所述压板32通过压板32固定结构固定于顶板11和丝杆25固定结构之间的导杆23外周上，所述导杆23相对于丝杆25升降运动带动压板32升降运动，以下压于顶针安装座上的所有顶针，使其处于同一水平面上。本技术提供的顶针辅助安装装置，通过外力作用于沉孔，带动导杆23旋转从而带动压板32下压作用于顶针安装座上的所有顶针，操作简单，导杆23沿着丝杆25上下运动，升降运动控制精度高，适用于精细零件特别是顶针安装座上的取齐操作，而不会造成顶针取齐过程中的损伤。
30.如上所述，所述取齐为通过压板32的底板13下压于顶针安装座上的顶针顶端，使所有顶针的顶端处于同一水平面上。
31.在一实施例中，所述沉孔接头21上的沉孔为六角沉孔，通过六角起子配合六角沉孔，带动导杆23转动，通过手动操作带动压板32下压，操作精细度高，实现对顶针安装座上的所有顶针取齐，并且不会损伤顶针。
32.在一实施例中，所述导杆23穿过所述第一通孔并通过第一导套23螺接固定于所述顶板11上。
33.在一实施例中，本技术提供的顶针安装装置包括框体机构、升降机构和压板32机构，所述框体机构，包括顶板11、侧板12和底板13，所述顶板11、侧板12和所述底板13围合成前方具有敞口的框体结构，所述顶板11上开设有第一通孔，所述侧板12内壁面上固定有丝杆25固定结构，所述丝杆25固定结构开设有第二通孔140，所述第二通孔140和所述第一通孔同轴设置，所述底板13用于固定顶针安装座；所述升降机构包括导杆23、丝杆25、第一导套22和沉孔接头21，导杆23位于所述丝杆25的外周，所述丝杆25穿过第一通孔，其底端固定于所述第二通孔140内，所述沉孔接头21通过第一导套22同轴固定于所述导杆23的顶端，用于在外力作用于沉孔接头21的沉孔内，带动沉孔接头21从而带动所述导杆23旋转相对于所述丝杆25发生升降运动；所述压板32结构包括压板32、第二导套，所述压板32底板13水平方向设置，所述压板32通过第二导套固定于顶板11和丝杆25固定结构之间的导杆23外周上，所述导杆23相对于丝杆25升降运动带动压板32升降运动，以下压于顶针安装座上的所有顶
针，使其处于同一水平面上。
34.在一实施例中，所述第二导套螺接固定于所述压板32上。
35.在一实施例中，本技术提供的顶针安装装置包括框体机构、升降机构和压板32机构，所述框体机构，包括顶板11、侧板12和底板13，所述顶板11、侧板12和所述底板13围合成前方具有敞口的框体结构，所述顶板11上开设有第一通孔，所述侧板12内壁面上固定有固定块14，所述固定块14开设有第二通孔140，所述第二通孔140和所述第一通孔同轴设置，以保证所述导杆23竖直升降移动，所述底板13用于固定顶针安装座；所述升降机构包括导杆23、丝杆25、第一导套22和沉孔接头21，导杆23位于所述丝杆25的外周，所述丝杆25穿过第一通孔，其底端固定于所述第二通孔140内，所述沉孔接头21通过第一导套22同轴固定于所述导杆23的顶端，用于在外力作用于沉孔接头21的沉孔内，带动沉孔接头21从而带动所述导杆23旋转相对于所述丝杆25发生升降运动；所述压板32结构包括压板32、第二导套，所述压板32底板13水平方向设置，所述压板32通过第二导套固定于顶板11和丝杆25固定结构之间的导杆23外周上，所述导杆23相对于丝杆25升降运动带动压板32升降运动，以下压于顶针安装座上的所有顶针，使其处于同一水平面上。本技术通过固定块14将丝杆25竖向固定于所述侧板12上，通过外力带动所述导杆23升降移动，导杆23带动压板32升降移动，从而下压于顶针安装座上的所有顶针实现顶针取齐。
36.在一实施例中，所述固定块14包括两凸耳以及开设于固定块14中部的第二通孔140，两所述凸耳螺接固定于所述侧板12的内侧，所述丝杆25的底端或底部固定于所述第二通孔140内。
37.在一实施例中，所述丝杆25的底部或底端通过同轴法兰固定于所述第二通孔140内。
38.在一实施例中，丝杆25的底端或底部固定于所述固定块14上。
39.在一实施例中，所述丝杆25的底部固定于所述固定块14上，并底端延伸出所述第二通孔140。
40.在一实施例中，所述丝杆25的底部固定于所述固定块14的第二通孔140内，其底端延伸出所述第二通孔140，以实现所述丝杆25穿设固定于所述固定座内，起到更佳的竖向固定效果，所述丝杆25的底部与底板13之间具有间隙，避免底板13对丝杆25底端的抵触影响其竖向固定效果或影响丝杆25和固定块14之间的固定连接的可靠性。
41.在一实施例中，所述第二通孔140的外周设有圆形沉槽，所述圆形沉槽为导杆23提供下移空间，并起到进一步下移的限位作用。因此，可以根据顶针安装座上的顶针的最大下压位移，设置固定块14固定于侧板12内侧的高度位置。
42.在一实施例中，所述底板13上开设有圆槽130，所述圆槽130用于安设圆形的顶针安装座，实现方便简单。
43.在本技术的其他实施例中，所述底板13上还可通过可拆卸式安装凸台，所述凸台上开设圆槽130，以安设顶针安装座，通过拆卸式安设不同尺寸的圆槽130的凸台，实现适配不同尺寸的晶圆的顶针安装座上的顶针取齐。
44.本技术实施例原理/使用方法为使用方法为：
45.第一步，将顶针安装座安设于底板13的圆槽130内；
46.第二步，将六角起子适配沉孔接头21的六角沉孔内，转动六角起子，带动导套以及
压板32向下移动，下压于顶针安装座上的顶针，进行顶针顶端取齐。
47.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
48.需要说明的是，在本技术中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
49.以上所述仅是本技术的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。