一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法与流程

本发明涉及一种晶圆检测装置，具体为一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，属于晶圆加工。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。加工好的晶圆需要使用显微镜做外观检验。显微镜检验晶圆前，为防止晶圆放入显微镜载物台时，显微镜物镜镜头刮伤晶圆，要求显微镜载物台必须降到最低点，显微镜的物镜的倍率调为最低50x，后将载物台移至最右端，将晶圆放入载物台，重新将载物台移入物镜下，调整显微镜的倍数，焦距，方可开始检验动作。但是这种操作，动作要求过多，步骤烦琐，需要人工对晶圆片进行上料，定位，耗费时间。

2、并且现有晶圆辅助照明检测装置一般采用发光二极管、卤素灯等来进行照明，这种检测装置在照射之后会形成一个光斑，能够检查出晶圆表面的一些外观缺陷。为了改善检测效果，现有的晶圆辅助照明检测装置中的照明光源装置中都会采用有纹理(一般是网格状)的反光杯，以增强照明光源的照度。照明光源的位置一般也是固定的，不容易进行移动，操作使需要移动晶圆来检测晶圆上不同的位置，使用时很不方便。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，以解决现有技术中对晶圆片的目检操作动作要求过多，步骤烦琐，需要人工对晶圆片进行上料，定位，耗费时间，照明光源的位置一般也是固定的，不容易进行移动，操作使需要移动晶圆来检测晶圆上不同的位置，使用时很不方便的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，包括箱体，所述箱体内部固定连接有直线导轨，所述直线导轨内部滑动连接有滑动块，所述滑动块顶部固定连接有支架，所述支架顶部固定连接有固定板，所述固定板顶部设置有夹持组件，所述箱体内部两侧均固定连接有led灯，所述箱体一侧设置有传输带，所述传输带两侧均固定连接有侧板，所述箱体顶部两侧均固定连接有竖板，所述竖板内部设置有螺纹杆，所述螺纹杆外侧套设有照明调节组件，所述箱体一侧固定连接有支板，所述支板顶部设置有目镜组件。

5、优选地，所述夹持组件包括固定套、转动盘、转动杆、多个限位套和多个移动杆，所述固定套固定连接于固定板顶端，所述转动盘转动连接于固定套内部，所述转动杆贯穿固定套并与固定套转动连接，所述转动杆顶端与转动盘固定连接，多个所述限位套均固定连接于固定套内部，多个所述移动杆分别滑动连接于多个限位套内部，有利于对多个移动杆进行限位。

6、优选地，所述移动杆一端顶部固定连接有导向杆，所述限位套顶部开设有滑槽，所述导向杆贯穿滑槽并与滑槽滑动连接，所述转动盘内部开设有多个弧形槽，所述导向杆贯穿弧形槽并与弧形槽滑动连接，所述移动杆另一端顶部固定连接有固定杆，所述固定杆顶端固定连接有限位板，使弧形槽和滑槽对导向杆进行限位，从而使导向杆同时沿着滑槽和导向杆进行移动，使导向杆带动移动杆进行移动，从而带动限位板进行移动，对限位板进行限位。

7、优选地，所述箱体内部固定连接有滑轨，所述滑轨外侧滑动连接有移动架，所述固定套一侧与移动架固定连接，所述箱体内部一侧固定连接有开关，所述移动架与开关相对应，使移动架在滑轨外侧滑动，并且使移动架移动对开关进行按压。

8、优选地，所述照明调节组件包括移动壳、转动套、转块和照明灯，所述照明灯与开关电性连接，所述移动壳一侧固定连接有转动环，所述转动环内部通过单向轴承固定连接有螺纹环，所述移动壳内部另一侧固定连接有支撑环，所述支撑环内部通过单向轴承固定连接有转动套，所述转动套套设于螺纹杆外侧并与螺纹杆滑动连接，所述转动套内部固定连接有导向块，所述螺纹杆外侧开设有导向槽，所述导向块与导向槽相适配，有利于对转动套进行限位，使螺纹杆转动带动转动套转动。

9、优选地，所述照明灯顶部固定连接有转块，所述转块贯穿移动壳并与移动壳转动连接，所述转块顶端固定连接有第一锥齿轮，所述转动套一侧固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮套设于螺纹杆外侧并与螺纹杆滑动连接，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接，使第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动转块转动，从而带动照明灯进行转动，有利于对照明灯进行限位。

10、优选地，所述螺纹杆一端转动连接有连接板，所述连接板一侧固定连接有支杆，所述支杆贯穿其中一个竖板并与竖板转动连接，另一个所述竖板内部转动连接有转轴，所述螺纹杆一端贯穿转轴并与转轴转动连接，有利于对螺纹杆进行限位支撑。

11、优选地，所述连接板外侧固定连接有半齿圈，所述竖板一侧转动连接有传动齿轮，所述传动齿轮与半齿圈啮合连接，所述连接板底部一侧固定连接有限位杆，所述移动壳后侧固定连接有导向板，所述限位杆贯穿导向板并与导向板转动连接，有利于对导向板进行限位，从而对移动壳进行限位。

12、优选地，所述目镜组件包括定位套、安装套、壳体、套筒、丝杆和显微镜，所述定位套转动连接于支板顶部，所述安装套固定连接于定位套外侧，所述壳体固定连接于安装套一侧，所述套筒转动连接于壳体内部，所述套筒底端固定连接有延伸杆，所述延伸杆贯穿定位套并与定位套转动连接，所述支板顶部固定连接有螺纹套，所述螺纹套顶端和延伸杆一端均固定连接有固定块，两个所述固定块啮合连接，所述套筒内部开设有多个竖槽，所述丝杆一端固定连接有多个滑板，多个所述滑板分别滑动连接于多个套筒内部，所述壳体前端固定连接有螺纹套，所述丝杆贯穿螺纹套并与螺纹套螺纹连接，所述丝杆一端固定连接有固定块，所述固定块一侧固定连接有夹套，所述显微镜设置于夹套内部。

13、一种晶圆目检用显微装置的自动照明方法，具体包括以下步骤：

14、步骤一、在检测时，先通过传输带对晶圆片进行传输，使传输带带动晶圆片移动，并且使晶圆片落到固定套顶部，转动杆转动带动转动盘进行转动，使转动盘转动时使弧形槽对导向杆进行限位，使转动盘带动导向杆进行移动，从而带动移动杆进行移动，移动杆带动固定杆移动，固定杆带动限位板进行移动，从而对晶圆片进行限位，直线导轨启动带动滑动块移动，从而带动晶圆片移动到检测位；

15、步骤二、通过螺纹杆正转带动转动环进行移动，转动环移动带动移动壳移动，从而使移动壳带动转块移动，转块移动带动照明灯移动，通过螺纹杆反转时，螺纹杆通过导向槽带动转动套转动，转动套转动带动第二锥齿轮转动，从而使第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动转块转动，从而带动照明灯转动，并且在晶圆片移动到观测位时，移动架移动到开关一侧对开关进行按压，从而使开关控制照明灯打开，通过传动齿轮启动带动半齿圈转动，半齿圈转动带动连接板转动，连接板转动带动限位杆移动，使限位杆带动导向板移动，从而使导向板带动照明灯进行移动；

16、步骤三、通过将壳体转动到观测位，使壳体带动安装套转动，安装套带动定位套转动，定位套转动时带动延伸杆移动，延伸杆移动带动固定块转动，从而使固定块对延伸杆进行限位，从而使延伸杆转动，延伸杆转动带动套筒转动，套筒转动带动滑板转动，从而使滑板带动丝杆转动，因为螺纹套对丝杆进行限位，使丝杆在转动时进行移动，从而使丝杆带动固定块移动，固定块移动带动夹套移动，从而带动显微镜进行移动。

17、本发明提供了一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，其具备的有益效果如下：

18、1、该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，在检测时，先通过传输带对晶圆片进行传输，使传输带带动晶圆片移动，并且使晶圆片落到固定套顶部，转动杆转动带动转动盘进行转动，使转动盘转动时使弧形槽对导向杆进行限位，使转动盘带动导向杆进行移动，从而带动移动杆进行移动，移动杆带动固定杆移动，固定杆带动限位板进行移动，从而对晶圆片进行限位，直线导轨启动带动滑动块移动，从而带动晶圆片移动到检测位，方便对晶圆片进行传输。

19、2、该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，通过螺纹杆正转带动转动环进行移动，转动环移动带动移动壳移动，从而使移动壳带动转块移动，转块移动带动照明灯移动，通过螺纹杆反转时，螺纹杆通过导向槽带动转动套转动，转动套转动带动第二锥齿轮转动，从而使第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动转块转动，从而带动照明灯转动，从而可以对照明灯的照明角度进行调节，方便使用，可以照射需要观测的部位，减少暗面，提高观测效果，并且在晶圆片移动到观测位时，移动架移动到开关一侧对开关进行按压，从而使开关控制照明灯打开，便于观察，在不使用时节约能源。通过传动齿轮启动带动半齿圈转动，半齿圈转动带动连接板转动，连接板转动带动限位杆移动，使限位杆带动导向板移动，从而使导向板带动照明灯进行移动，有利于对照明灯的照射角度进行调节。

20、3、该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，通过将壳体转动到观测位，使壳体带动安装套转动，安装套带动定位套转动，定位套转动时带动延伸杆移动，延伸杆移动带动固定块转动，从而使固定块对延伸杆进行限位，从而使延伸杆转动，延伸杆转动带动套筒转动，套筒转动带动滑板转动，从而使滑板带动丝杆转动，因为螺纹套对丝杆进行限位，使丝杆在转动时进行移动，从而使丝杆带动固定块移动，固定块移动带动夹套移动，从而带动显微镜进行移动，有利于对显微镜的位置进行调节，方便观测，使用便捷，在不使用使可以减少空间占用。