一种晶圆卡盘装置的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种晶圆卡盘装置。


背景技术：

2.在半导体晶圆制造工艺过程中，为了防止人员接触污染晶圆问题、节约人工成本、实现全自动工艺，更充分的进行单晶圆工艺，逐渐的都采用全自动单片式设备。
3.全自动单片式设备工艺过程中，一个很重要的关键因素就是防止晶圆进行高速旋转工艺时产生飞片现象。如果产生飞片，晶圆会破损，晶圆的单价很昂贵，增加厂商的成本、设备的宕机时间。厂商会同时进行多种规格尺寸晶圆的工艺，为了适应国内市场的需求，进行多种规格尺寸晶圆的工艺，且为了防止飞片现象的产生，进行了本技术晶圆卡盘装置的设计。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种晶圆卡盘装置，其能够对多种规格的晶圆进行夹紧，并且可以解决晶圆高速旋转过程中的飞片问题。
5.本发明的技术方案是这样实现的：
6.一种晶圆卡盘装置，包括转动轴、驱动电机、卡盘、升降盘、夹紧机构和支撑机构；
7.所述转动轴竖直设置，所述转动轴的底端与所述驱动电机的输出轴固定连接，所述转动轴从上到下依次套接所述卡盘和所述升降盘，所述卡盘的顶面和所述升降盘的顶面均与水平面平行，所述卡盘与所述转动轴固定连接，所述升降盘与所述转动轴活动连接；
8.所述卡盘上设置所述支撑机构，所述支撑机构包括多个不同高度的支撑模块，能够支撑多种尺寸的晶圆；
9.所述升降盘上设置所述夹紧机构，所述夹紧机构包括多个不同高度的夹紧模块，用于夹紧所述支撑模块所支撑的晶圆。
10.进一步地，多个所述支撑模块包括第一支撑模块和第二支撑模块，所述第一支撑模块和所述第二支撑模块均围绕所述转动轴均匀设置于所述卡盘的顶部，且所述第二支撑模块与所述转动轴的距离大于所述第一支撑模块与所述转动轴的距离，所述第二支撑模块的高度高于所述第一支撑模块的高度；
11.所述第一支撑模块包括第一支撑块和第一支撑柱，所述第一支撑块设置于所述卡盘的顶部，所述第一支撑块的顶部设置所述第一支撑柱；
12.所述第二支撑模块包括第二支撑块和第二支撑柱，所述第二支撑块设置于所述卡盘的顶部，所述第二支撑块的顶部设置所述第二支撑柱。
13.进一步地，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱相同，且所述第二支撑块的高度高于所述第一支撑块的高度。
14.进一步地，多个所述夹紧模块包括第一夹紧模块和第二夹紧模块，所述第一夹紧模块和所述第二夹紧模块均设置于所述升降盘；
15.每个所述第一支撑模块均对应设置有所述第一夹紧模块，所述第一夹紧模块用于夹紧所述第一支撑柱上所支撑的晶圆的外边缘；
16.每个所述第二支撑模块均对应设置有所述第二夹紧模块，所述第二夹紧模块用于夹紧所述第二支撑柱上所支撑的晶圆的外边缘。
17.进一步地，所述夹紧机构还包括升降单元，所述升降单元与所述升降盘连接，用于带动所述升降盘沿所述转动轴升降，同时控制所述第一夹紧模块和所述第二夹紧模块的松开和夹紧。
18.进一步地，所述卡盘上开设多个竖直贯穿的第一活动孔，所述第一活动孔与所述第一支撑块一一对应设置，所述第一活动孔内设置第一转轴，所述第一转轴的中心轴与水平面平行；
19.所述第一夹紧模块包括第一连杆结构，所述第一连杆结构包括第一转动杆和第一开合杆，所述第一转动杆的底端与所述升降盘通过第二转轴转动连接，所述第一转动杆的顶端与所述第一开合杆的底端通过第三转轴转动连接，所述第一转轴、所述第二转轴和所述第三转轴相互平行设置，所述第一开合杆穿设于所述第一活动孔，且所述第一开合杆的中部设置有第一安装孔，所述第一转轴穿设于所述第一安装孔，所述第一开合杆的顶端设置有第一卡槽，用于夹紧所述第一支撑柱上所支撑的晶圆的外边缘。
20.进一步地，所述卡盘上开设多个竖直贯穿的第二活动孔，所述第二活动孔与所述第二支撑块一一对应设置，所述第二活动孔内设置第四转轴，所述第四转轴的中心轴与水平面平行；
21.所述第二夹紧模块第二连杆结构，所述第二连杆结构包括第二转动杆和第二开合杆，所述第二转动杆的底端与所述升降盘通过第五转轴转动连接，所述第二转动杆的顶端与所述第二开合杆的底端通过第六转轴转动连接，所述第四转轴、所述第五转轴和所述第六转轴相互平行设置，所述第二开合杆穿设于所述第二活动孔，且所述第二开合杆的中部设置有第二安装孔，所述第四转轴穿设于所述第二安装孔，所述第二开合杆的顶端设置有第二卡槽，用于夹紧所述第二支撑柱上所支撑的晶圆的外边缘。
22.进一步地，所述第一开合杆的底端设置有第一上升限位块，所述第二开合杆的底端设置有第二上升限位块。
23.进一步地，所述升降单元包括伸缩气缸、推动环和弹簧，所述卡盘与所述升降盘之间设置多个所述弹簧，所述弹簧的顶端与所述卡盘连接、底端与所述升降盘连接；
24.所述转动轴穿设于所述推动环，且所述推动环位于所述升降盘的下方，所述推动环下方均设置所述伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸缩杆与所述所述推动环连接，所述伸缩气缸能够带动所述推动环上升并推动所述升降盘上升。
25.进一步地，所述升降盘的顶面开设多个下端弹簧槽，所述卡盘的底面开设多个上端弹簧槽，所述下端弹簧槽的中心轴线和所述上端弹簧槽的中心轴线同轴设置，所述下端弹簧槽和所述上端弹簧槽的数量均与所述弹簧的数量相同，且所述弹簧的上部位于所述上端弹簧槽内，所述弹簧的下部位于所述下端弹簧槽内。
26.相比于现有技术而言，本发明的有益效果是：
27.本技术通过支撑机构对多种规格尺寸的晶圆进行支撑，并且可以通过夹紧机构对支撑机构所支撑的晶圆进行夹紧，进而能够避免晶圆在高速旋转下的飞片问题。
附图说明
28.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
29.图1为本发明晶圆夹紧装置的立体结构示意图；
30.图2为本发明图1的正视结构示意图；
31.图3为本发明图1中上半部的结构示意图；
32.图4为本发明图3中a处结构局部放大图；
33.图5为本发明晶圆夹紧装置的俯视图；
34.图6为本发明第一连杆结构的结构示意图；
35.图7为本发明第二连杆结构的结构示意图；
36.图8为本发明推动环的俯视结构示意图；
37.图9为本发明卡盘的俯视结构示意图；
38.图10为本发明卡盘的仰视结构示意图；
39.图11为本发明升降盘的俯视结构示意图；
40.图12为本发明第一支撑柱上放置晶圆后的结构示意图。
41.图中：(附图标记说明)
42.1-转动轴；2-驱动电机；3-卡盘；31-第一活动孔；32-第一转轴；33-第二活动孔；34-第四转轴；
43.4-升降盘；5-夹紧机构；51-第一夹紧模块；511-第一转动杆；512-第一开合杆；513-第二转轴；514-第三转轴；515-第一安装孔；516-第一卡槽；517-第一上升限位块；
44.52-第二夹紧模块；521-第二转动杆；522-第二开合杆；523-第五转轴；524-第六转轴；525-第二安装孔；526-第二卡槽；527-第二上升限位块；
45.53-升降单元；531-伸缩气缸；532-加长杆；533-推动环；534-连接杆；535-弹簧；
46.6-支撑机构；61-第一支撑块；62-第二支撑块；63-第一支撑柱；64-第二支撑柱；65-第一限位体；66-第二限位体；
47.7-下端弹簧槽；8-上端弹簧槽；9-第一安装槽；10-第二安装槽；11-固定板；12-立柱；13-安装板；14-第一扇形区域；15-第二扇形区域。
具体实施方式
48.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
49.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
50.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
51.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
52.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
53.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
54.下面结合附图，对本发明的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
55.实施例
56.参照图1-图12，本实施例提供一种晶圆卡盘装置，包括转动轴1、驱动电机2、卡盘3、升降盘4、夹紧机构5和支撑机构6，所述转动轴1竖直设置，所述转动轴1的底端与所述驱动电机2的输出轴固定连接，所述转动轴1从上到下依次套接所述卡盘3和所述升降盘4，所述卡盘3的顶面和所述升降盘4的顶面均与水平面平行，所述卡盘3与所述转动轴1固定连接，所述升降盘4与所述转动轴1活动连接，所述卡盘3上设置支撑机构6，所述支撑机构6包括多个不同高度的支撑模块，能够支撑多种尺寸的晶圆；所述升降盘4上设置夹紧机构5，所述夹紧机构5包括多个不同高度的夹紧模块，用于夹紧所述支撑模块所支撑的晶圆。驱动电机2用于带动转动轴1、升降盘4、卡盘3、支撑机构6、夹紧模块和晶圆共同飞速旋转，能够实现对多种规格尺寸晶圆进行工艺，同时由于夹紧机构5对晶圆的夹紧作用，避免了晶圆在高速旋转时的飞片问题。
57.在本实施例中，多个支撑模块包括第一支撑模块和第二支撑模块，所述第一支撑模块和所述第二支撑模块均围绕所述转动轴1均匀设置于所述卡盘3的顶部，即多个第一支撑模块和多个第二支撑模块均围绕转动轴1圆周阵列设置，且所述第二支撑模块与所述转动轴1的距离大于所述第一支撑模块与所述转动轴1的距离，所述第二支撑模块的高度高于所述第一支撑模块的高度，那么多个第一支撑模块所在的圆处于内圈，而多个第二支撑模块所在的圆处于外圈。
58.所述第一支撑模块包括第一支撑块61和第一支撑柱63，所述第一支撑块61设置于所述卡盘3的顶部，所述第一支撑块61的顶部设置用于支撑晶圆的所述第一支撑柱63；所述第二支撑模块包括第二支撑块62和第二支撑柱64，所述第二支撑块62设置于所述卡盘3的顶部，所述第二支撑块62的顶部设置用于支撑晶圆的所述第二支撑柱64。所述第二支撑柱
64的顶端的所在高度高于所述第一支撑柱63的顶端的所在高度。
59.更优选地，所述第一支撑柱63和所述第二支撑柱64相同，且所述第二支撑块62的高度高于所述第一支撑块61的高度，如此能够保证所述第二支撑柱64的顶端的所在高度高于所述第一支撑柱63的顶端的所在高度。
60.在本实施例中，多个夹紧模块包括第一夹紧模块51和第二夹紧模块52，所述第一夹紧模块51和所述第二夹紧模块52均设置于所述升降盘4。
61.每个所述第一支撑块61均对应设置有所述第一夹紧模块51，所述第一夹紧模块51用于夹紧所述第一支撑柱63上所支撑的晶圆的外边缘，而多个所述第一夹紧模块51用于共同夹紧所述第一支撑柱63上所支撑的晶圆的外边缘，实现对晶圆的夹紧。
62.每个所述第二支撑块62均对应设置有所述第二夹紧模块52，所述第二夹紧模块52用于夹紧所述第二支撑柱64上所支撑的晶圆的外边缘，而多个所述第二夹紧模块52用于共同夹紧所述第二支撑柱64上所支撑的晶圆的外边缘，实现对晶圆的夹紧。
63.在本实施例中，如图3所示，第一支撑块61和第二支撑块62的数量相同，且第一支撑块61与转动轴1之间的连线与第二支撑块62与转动轴1之间的连线共线。因此，第一夹紧模块51和第二夹紧模块52的数量也是与第一支撑块61、第二支撑块62的数量一致的。
64.所述夹紧机构5还包括升降单元53，所述升降单元53与所述升降盘4抵接，用于带动所述升降盘4沿所述转动轴1升降，同时控制所述第一夹紧模块51和所述第二夹紧模块52的松开和夹紧。升降单元53带动升降盘4上升时，卡盘3与转动轴1固定连接的，因此，卡盘3的位置不变，升降盘4上升朝向卡盘3移动。
65.在这里需要注意的是：升降单元53与升降盘4通过抵接的连接方式进行连接，具体地，升降单元53包括伸缩气缸531、加长杆532、推动环533和弹簧535，所述卡盘3与所述升降盘4之间设置多个所述弹簧535，所述弹簧535的顶端与所述卡盘3连接、底端与所述升降盘4连接，优选地多个弹簧535均竖直设置，弹簧535的弹力方向位于竖直方向。推动环533位于升降盘4的正下方且推动环533的顶部与升降盘4的底部抵接，转动轴1穿过推动环533而不与其接触，推动环533的顶面和底面均匀水平面平行，推动环533的左右两侧对称设置连接杆534，两个连接杆534的正下方均设置伸缩气缸531，两个伸缩气缸531固定安装于固定板11上，固定板11与水平面平行设置，伸缩气缸531的伸缩杆在竖直方向伸缩，伸缩气缸531的伸缩杆的顶端通过加长杆532与连接杆534固定连接，且加长杆532竖直设置。升降单元53的工作原理为：两个伸缩气缸531同步运行带动推动环533上升，推动环533上升一定高度抵住升降盘4的底面使推动环533顶部与升降盘4底部抵接，伸缩气缸531的伸缩杆继续伸出上升并使推动环533推动升降盘4上升，进而使第一夹紧模块51和第二夹紧模块52同时松开晶圆，在升降盘4上升的同时，多个弹簧535受到挤压而起到缓冲作用。
66.本实施例，当升降单元53与升降盘4抵接时，升降单元53的伸缩杆伸出并上升到一定高度与升降盘4的底部抵接，进而继续带动升降盘4向上运动，而升降单元53的伸缩杆收缩下降时，升降盘4则不能够跟随升降单元53的伸缩杆一起下降，此时由于多个弹簧535收到挤压的弹性恢复，在所有弹簧535的自身弹力作用下，使得升降盘4下降。而在本实施例中优选的实施方式为第二种连接方式，通过弹簧535的弹性恢复带动升降盘4下降，节省电力，运动平稳。
67.在这里定义：第一支撑块61上靠近转动轴1的一侧为第一支撑块61的内侧、远离转
动轴1的一侧为第一支撑块61的外侧，第二支撑块62上靠近转动轴1的一侧为第二支撑块62的内侧、远离转动轴1的一侧为第二支撑块62的外侧。在第一支撑块61的外侧设置第一限位体65，用于在水平方向对晶圆限位，防止晶圆在水平方向发生位置偏移。在第二支撑块62的外侧设置第二限位体66，用于在水平方向对晶圆限位，防止晶圆在水平方向发生位置偏移。
68.所述卡盘3上开设多个竖直贯穿的第一活动孔31，所述第一活动孔31与所述第一支撑块61一一对应设置，具体地，在每个第一支撑块61的外侧的下方的卡盘3均开设第一活动孔31。在每个所述第一活动孔31内均设置第一转轴32，并且所述第一转轴32的中心轴与水平面平行。
69.所述第一夹紧模块51包括第一连杆结构，所述第一连杆结构包括第一转动杆511和第一开合杆512，所述第一转动杆511的底端与所述升降盘4通过第二转轴513转动连接，所述第一转动杆511的顶端与所述第一开合杆512的底端通过第三转轴514转动连接，所述第一转轴32、所述第二转轴513和所述第三转轴514相互平行设置，所述第一开合杆512穿设于所述第一活动孔31，且所述第一开合杆512的中部设置有第一安装孔515，所述第一转轴32穿设于所述第一安装孔515，所述第一开合杆512的顶端设置有第一卡槽516，用于夹紧所述第一支撑柱63上所支撑的晶圆的外边缘。
70.具体地，在升降盘4的顶面且位于每个第一活动孔31的正下方均开设第一安装槽9，第一安装槽9内安装第二转轴513，第一转动杆511通过第二转轴513与升降盘4转动连接。另外，所述第一开合杆512的底端设置有第一上升限位块517，而且，第一开合杆512的底端的两侧对称设置第一上升限位块517，升降单元53带动升降盘4上升至一定高度时，第一转动杆511围绕第二转轴513转动，第一转动杆511的底端随之上升，并通过第一上升限位块517抵住卡盘3的底面，而实现升降盘4上升高度的限位，第一开合杆512与第一转动杆511属于连杆结构，当第一转动杆511转动时，第一开合杆512也随之转动，为了避免第一开合杆512在第一活动孔31内乱晃或者偏斜的情况，通过设计第一转轴32，使得第一开合杆512的中部围绕第一转轴32转动而使得第一开合杆512的顶端向外张开(即第一开合杆512的顶端朝向远离晶圆的方向移动)，进而实现对晶圆的松开。反之，当升降盘4在所有弹簧535的作用下向下下降至最低位置时，此时第一开合杆512顶端朝向晶圆一侧转动，使得第一开合杆512顶端的第一卡槽516正好能够将晶圆的外边缘夹紧。
71.所述卡盘3上开设多个竖直贯穿的第二活动孔33，所述第二活动孔33与所述第二支撑块62一一对应设置，具体地，在每个第二支撑块62的外侧的下方的卡盘3均对应开设第二活动孔33。每个所述第二活动孔33内均设置第四转轴34，所述第四转轴34的中心轴与水平面平行。
72.所述第二夹紧模块52第二连杆结构，所述第二连杆结构包括第二转动杆521和第二开合杆522，所述第二转动杆521的底端与所述升降盘4通过第五转轴523转动连接，所述第二转动杆521的顶端与所述第二开合杆522的底端通过第六转轴524转动连接，所述第四转轴34、所述第五转轴523和所述第六转轴524相互平行设置，所述第二开合杆522穿设于所述第二活动孔33，且所述第二开合杆522的中部设置有第二安装孔525，所述第四转轴34穿设于所述第二安装孔525，所述第二开合杆522的顶端设置有第二卡槽526，用于夹紧所述第二支撑柱64上所支撑的晶圆的外边缘。
73.具体地，在升降盘4的顶面且位于每个第二活动孔33的正下方均开设第二安装槽
10，第二安装槽10内安装第五转轴523，第二转动杆521通过第五转轴523与升降盘4转动连接。另外，所述第二开合杆522的底端设置有第二上升限位块527，而且，第二开合杆522的底端的两侧对称设置第二上升限位块527，升降单元53带动升降盘4上升至一定高度时，第二转动杆521围绕第五转轴523转动，第二转动杆521的底端随之上升，并通过第二上升限位块527抵住卡盘3的底面，而实现升降盘4上升高度的限位，第二开合杆522与第二转动杆521属于连杆结构，当第二转动杆521转动时，第二开合杆522也随之转动，为了避免第二开合杆522在第二活动孔33内乱晃或者偏斜的情况，通过设计第四转轴34，使得第二开合杆522的中部围绕第四转轴34转动而使得第二开合杆522的顶端向外张开(即第二开合杆522的顶端朝向远离晶圆的方向移动)，进而实现对晶圆的松开。反之，当升降盘4在所有弹簧535的作用下向下下降至最低位置时，此时第二开合杆522顶端朝向晶圆一侧转动，使得第二开合杆522顶端的第二卡槽526正好能够将晶圆的外边缘夹紧。
74.需要注意的是：第一限位体65的中部开设竖直贯穿的槽结构，以便于第一开合杆512在该槽结构中移动，进而实现对晶圆的松开和夹紧。第二限位体66的中部开设竖直贯穿的槽结构，以便于第二开合杆522在该槽结构中移动，进而实现对晶圆的松开和夹紧。
75.在本实施例中，第一夹紧模块51和第二夹紧模块52的夹紧或松开的原理相同。所有的第一支撑柱63上用于共同支撑规格为第一种较小规格尺寸的晶圆，所有的第二支撑柱64上用于共同支撑规格为第二种较大规格尺寸的晶圆。因此，第一夹紧模块51用于夹紧规格为第一种较小规格尺寸的晶圆，而第二夹紧模块52用于夹紧规格为第二种较大规格尺寸的晶圆。升降单元53带动升降盘4上升时，第一夹紧模块51和第二夹紧模块52同步张开或夹紧，进而能够对第一种较小规格尺寸的晶圆或第二种较大规格尺寸的晶圆进行夹紧。
76.在本实施例中，所述升降盘4的顶面开设多个下端弹簧槽7，所述卡盘3的底面开设多个上端弹簧槽8，所述下端弹簧槽7的中心轴线和所述上端弹簧槽8的中心轴线同轴设置，所述下端弹簧槽7和所述上端弹簧槽8的为圆形槽且其直径略大于弹簧535的外径，使得弹簧535能够卡置于其中。所述下端弹簧槽7和所述上端弹簧槽8的数量均与所述弹簧535的数量相同，且所述弹簧535的上部位于所述上端弹簧槽8内，所述弹簧535的下部位于所述下端弹簧槽7内。进一步地，所述弹簧535的内部中空处设置定位轴，定位轴起到定位弹簧535的作用，所述弹簧535的高度高于所述定位轴的高度。
77.需要注意的是，本技术的支撑模块包括了第一支撑块61和第二支撑块62用于支撑两种规格尺寸的晶圆，只是以针对两种规格的晶圆为例，同理，以此类推，支撑模块还可以包括第三支撑块、第四支撑块、第五支撑块等，以用于支撑第三种规格的晶圆、第四种规格的晶圆和第五种规格的晶圆。同理，多种夹紧模块还可以相应地包括第三夹紧模块、第四夹紧模块和第五夹紧模块等，以实现对多种规格的晶圆夹紧，提高稳定性和多样性。
78.在本实施例中，第一转轴32、第二转轴513、第三转轴514、第四转轴34、第五转轴523和第六转轴524相同，由于其总数量较多，在将其设计为相同后，便于一次性批量生产或购买，比较方面。第一开合杆512和第二开合杆522相同，且第一上升限位块517和第二上升限位块527相同，第一开合杆512与其两侧的第一上升限位块517为一体结构，第二开合杆522与其两侧的第二上升限位块527为一体结构。且第一开合杆512与其两侧的第一上升限位块517的结合和第二开合杆522与其两侧的第二上升限位块527的结合为相同的。
79.在本实施例中，第一卡槽516和第二卡槽526均为直角型槽，不仅能将晶圆夹紧而
且还能防止晶圆上下晃动。
80.固定板11的顶面还设置了四根立柱12，四根立柱12的顶部共同支撑安装板13，安装板13的中心处开设有圆形通孔，驱动电机2安装于安装板13的底部，转动轴1穿设于圆形通孔，两个伸缩气缸531分别位于驱动电机2的两侧。
81.如图9和图10所示，对卡盘3上相邻的第一支撑块61之间、相邻的第二支撑块62之间多余的第一扇形区域14进行切除，以及对升降盘4上相邻的第一夹紧模块51之间、相邻的第二夹紧模块52之间多余的第二扇形区域15进行切除，切除后如图11所示，不仅可以减重，还可以便于整体结构的安装。
82.本技术晶圆夹紧装置的工作原理为：
83.首先升降单元53的伸缩气缸531带动推动环533上升并与升降盘4的底部抵接，伸缩气缸531继续运行并使推动环533推动升降盘4向上移动，使升降盘4移动至最高位置，第一夹紧模块51和第二夹紧模块52处于松开状态，同时所有弹簧535受到挤压而处于压缩状态，然后将第一种较小规格尺寸的晶圆放置于第一支撑柱63上或者将第二种较大规格尺寸的晶圆放置于第二支撑柱64上，升降单元53的伸缩杆收缩下降，推动环533下降并与升降盘4分离，但是在所有弹簧535的弹性恢复作用下，升降盘4自动下降，同时使所有第一夹紧模块51共同夹紧第一种较小规格尺寸的晶圆外边缘或者所有第二夹紧模块52夹紧第二种较大规格尺寸的晶圆的外边缘，驱动电机2运行带动晶圆高速旋转。因此本技术晶圆夹紧装置能够对多种规格的晶圆进行夹紧，并且在对晶圆夹紧后，可以解决晶圆高速旋转过程中的飞片问题。
84.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
85.此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在上面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
86.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
87.以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。