光电系统和方法与流程

本公开涉及一种光电系统，其可以例如但不排他地应用于光学电信应用、光探测和测距(lidar)或传感器应用。本公开还涉及一种根据本公开的光电系统的基于半导体的可调谐激光光源的改进调谐方法。

背景技术：

1、光电系统可以例如但不排他地应用于光学电信应用、lidar或传感器应用领域。例如可用于光学电信应用的光电系统可包括光子集成电路(pic)，其可具有基于半导体的可调谐激光光源，该基于半导体的可调谐激光光源可配置为以适合于光学电信的工作波长发射辐射。基于半导体的可调谐激光光源所发射的辐射的工作波长可以在无意中被改变，例如由于温度变化和/或老化。这限制了基于半导体的可调谐激光光源和包括这种激光光源的pic在光学电信应用中的应用，在光学电信应用中，利用波长复用来提高数据速率。

2、基于半导体的可调谐激光光源通常有许多需要设置的控制，以便在所需的工作波长上实现单模激射。由于对每个单独的激光光源来说对基于半导体的可调谐激光光源所发射的辐射的控制的效果都是不同的，因此需要对激光光源的效果和校准进行映射。传统上，校准是在基于半导体的可调谐激光光源的切割和安装之后进行的，需要外部设备，而且处理时间长。已知的控制基于半导体的激光光源所发射的辐射的工作波长的解决方案依赖于分割发射的辐射，并将发射的辐射的一部分提供给外部的波长锁定器(wll)。这种已知解决方案的一个缺点是，外部wll给光电系统增加了体积和成本。另一个缺点是，使用外部wll需要对外部wll和光电系统的pic进行繁琐的光学校准。后者使pic的基于半导体的可调谐激光光源的调谐变得缓慢。

3、本领域的技术人员将理解，对更高数据速率的需求不断增加，通常在光学电信应用中，特别是光电系统的pic的基于半导体的可调谐激光光源，需要更快和更精确地控制。因此，有必要提供一种光电系统，它能够改进基于集成半导体的可调谐激光光源的调谐。

技术实现思路

1、本公开的目的是提供一种光电系统，该光电系统可以例如但不排他地应用于光学电信应用、激光雷达lidar或传感器应用，预先阻止或至少减少与本领域已知的可用于上述应用领域的光电系统相关的上述和/或其他缺点中的至少一个。

2、本公开的另一个目的是提供一种根据本公开的光电系统的基于半导体的可调谐激光光源的改进调谐方法。

3、本公开的各方面在所附的独立和从属权利要求中陈述。从属权利要求的特征可以适当地与独立权利要求的特征组合，而不仅仅是如权利要求中明确阐述的那样。此外，所有特征都可以替换为其他技术上等效的特征。

4、上述目标中的至少一个是通过一种光电系统实现的，该系统被配置和布置为能够改进基于集成半导体的可调谐激光光源的调谐。光电系统包括pic，该pic包括：基于半导体的可调谐激光光源，所述基于半导体的可调谐激光光源可配置为实现单模激射，从而在预定义工作波长上发射具有预定义线宽的光辐射；以及光学测量单元，该光学测量单元被配置和布置为接收由基于半导体的可调谐激光光源发射的光辐射，并提供代表所接收到的光辐射的至少一个信号。光电系统还包括控制单元，该控制单元与pic的基于半导体的可调谐激光光源和光学测量单元可操作地连接，所述控制单元被配置为：接收第一输入，所述第一输入包括所述基于半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长的设定值，所述基于半导体的可调谐激光光源以所述预定义工作波长发射光辐射；基于所接收到的第一输入生成第一控制设置；向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第一控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源能够以所述预定义工作波长发射光辐射；接收代表所述接收到的光辐射的所述至少一个信号；基于所述接收到的至少一个信号确定所述接收到的光辐射的工作波长；确定所述预定义工作波长的所述设定值与所述确定的工作波长之间的波长偏移；基于所述确定的波长偏移生成第一经调整的控制设置；以及向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第一经调整的控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源至少能够减少所述确定的波长偏移，从而能够锁定所述基于半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长。

5、与本领域已知的使用外部光学测量设备实现上述基于集成半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长锁定的解决方案相比，上述光电系统的实施例为锁定基于集成半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长提供了一个更快的解决方案。本领域已知的解决方案需要对外部光学测量设备和基于集成半导体的可调谐激光光源进行精确的光学对准，涉及到光纤对pic对准技术。因此，已知的解决方案相当繁琐，因此比根据本公开的光电系统提供的解决方案慢，因为根据本公开的光电系统不再需要上述繁琐的光纤到pic对准技术，所以可以避免这些缺点。至少由于根据本公开的光电系统的上述实施例提供的更快的波长锁定过程，pic的基于半导体的可调谐激光光源的初始化、校准和模式映射中的至少一项可以比本领域已知的使用外部光学测量设备的解决方案更快并因此花费的成本更低。此外，根据本公开的光电系统能够实现pic的基于集成半导体的可调谐激光光源的片上模式映射。

6、应注意，无论所发射的光辐射的线宽以何种方式测量和/或在何种条件下，例如时间段、温度和/或湿度，本公开上下文中的预定义线宽将被解释为可被控制为在基于集成半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长处具有所需的、且因此具有预定义值的线宽。

7、本领域技术人员将理解，光学测量单元向控制单元提供的至少一个信号可以是电信号或光信号。此外，控制单元可以是电子控制单元或光电控制单元，并且第一控制设置和第一经调整的控制设置可以由控制单元使用单个控制算法或使用多个控制算法生成。此外，应注意，在预定义工作波长的所述设定值和所述确定的工作波长之间确定的波长偏移将被解释为两个值之间的差。

8、根据本公开的光电系统可以例如但不排他地应用于电信应用、lidar或传感器应用。在那种情况下，光电系统可以是发射器、接收器、收发器、相干发射器、相干接收器和相干收发器之一。

9、在根据本公开的光电系统的实施例中，pic的光学测量单元被配置为提供至少三个电信号，所述至少三个电信号中的每一个电信号具有时变强度并且代表从基于半导体的可调谐激光光源接收到的光辐射，并且其中所述控制单元被配置为基于所述至少三个电信号的相位信息来确定所述预定义工作波长的设定值和所确定的工作波长之间的波长偏移，所述相位信息可从所述至少三个电信号的时变强度推导出来。

10、根据上述光电系统的实施例，光学测量单元能够确定预定义工作波长的设定值和确定的工作波长之间的波长偏移，这有利于调整基于半导体的可调谐激光光源以保持恒定的工作波长。需要注意的是，如果预定义工作波长的设定值和确定的工作波长之间的波长偏移变得较大，则相应电信号的相移(该相移与相应电信号的强度相关)会突然从-π切换到+π。需要考虑这种所谓的相位包裹，以避免波长锁定过程中的不稳定性。控制单元可以被配置为相位解卷绕(unwrap)相应的电信号，以得到基于半导体的可调谐激光光源的平滑模式图。

11、根据本公开的光电系统的波长锁定光学测量单元的优点在于可以自由选择自由光谱区(fsr)或周期。传统的基于标准具的两相波长锁定光学测量单元的响应只对交叉点敏感，因此在典型的50ghz(0.4nm)通道间隔上是预先确定自由光谱区(fsr)和周期性。因此，很难跟踪在多个通道上漂移的基于半导体的可调谐激光光源，因为在通道之间存在一个点，在该点处不能确定基于半导体的可调谐激光光源在哪个方向上移动。

12、根据本公开的光电系统的光学测量单元可以被解释为在整个频带上具有相同灵敏度的集成三相波长锁定器。只要可以确定基于半导体的可调谐激光光源在哪个周期开始，就可以沿着几个周期跟踪它。此外，可以组合双级波长锁定器，其中具有宽fsr的第一级可以提供工作波长的粗略估计，而具有窄fsr的第二级可以提供工作波长的精确值。

13、本领域技术人员将理解，也可以设计非常窄的fsr，以便能够测量小的波长偏差。这对于测量频率噪声特别有用，该频率噪声提供了在特定调谐设置中基于半导体的可调谐激光光源的稳定性的指示。

14、此外，可以使用根据本公开的光电系统的波长锁定光学测量单元来确定基于半导体的可调谐激光光源的快速切换效应。通常，如果基于半导体的可调谐激光光源需要从一个波长切换到另一个波长，则需要将电调谐电流变化到不同的设定值。电流的这种变化会导致热平衡的变化，而热平衡本身会导致小的波长漂移。因此，基于半导体的可调谐激光光源需要一些时间才能达到目标波长。因此，基于半导体的可调谐激光光源本身具有的潜在纳秒切换时间被限制为毫秒切换时间。根据本公开的光电子系统的波长锁定光学测量单元可以用来确定上述效应的时间常数，由于生产工艺中的变化，每个组装的基于半导体的可调谐激光光源的时间常数是不同的。根据本公开的光电系统的控制单元可以使用确定的时间常数来补偿这些上述效应。根据本公开的光电系统的集成的光学测量单元允许映射所有可能的切换事件的时间常数，而不需要昂贵的外部光学测量设备。

15、在根据本公开的光电系统的实施例中，pic的基于半导体的可调谐激光光源包括背镜，该背镜被配置为具有部分反射率，允许通过背镜发射预定义光功率量的光辐射。

16、本领域技术人员将理解，基于半导体的可调谐激光光源通常包括前镜，前镜被配置为具有允许发射光辐射的部分反射率，而背镜则被配置为具有理想的防止通过背镜发射光辐射的反射率。然而，由于加工公差，在实践中背镜可能具有允许通过背镜泄漏光学辐射的部分反射率。显然，用作背镜的镜子的反射率总是高于用作前镜的镜子的反射率。

17、在本公开的上下文中，经由背镜发射的预定义光功率量的光辐射应当足以允许光学测量单元向控制单元提供代表所接收到的光辐射的至少一个信号，以向基于半导体的可调谐激光光源生成上述第一经调整的控制设置。如果通过背镜发射的预定义光功率量在1μw(-30dbm)到10mw(10dbm)的范围内，则是足够的。

18、在根据本公开的光电系统的实施例中，pic的光学测量单元包括：第一分光合光器单元，该第一分光合光器单元具有至少设置有第一光学接口的第一端部，和至少设置有第二光学接口和第三光学接口的第二端部；第二分光合光器单元，第二分光合光器单元具有至少设置有第四光学接口和第五光学接口的第三端部，和至少设置有第六光学接口、第七光学接口和第八光学接口的第四端部；一组至少三个光电探测器，所述至少三个光电探测器中的每一个光电探测器被配置为检测所接收的经由所述基于半导体的可调谐激光光源的背镜发射的光辐射的至少一部分；多个光波导，其中：所述多个光波导中的第一光波导被布置为将所述第一分光合光器单元的第一端部的第一光学接口与所述基于半导体的可调谐激光光源的背镜光学互连；所述多个光波导中的第二光波导具有第一光路长度l1，所述第二光波导被布置为将所述第一分光合光器单元的第二端部的第二光学接口与所述第二分光合光器单元的第三端部的第四光学接口光学互连；所述多个光波导中的第三光波导具有不同于所述第二光波导的第一光路长度l1的第二光路长度l2，所述第三光波导被布置为将所述第一分光合光器单元的第二端部的第三光学接口与所述第二分光合光器单元的第三端部的第五光学接口光学互连；所述多个光波导中的第四光波导被布置为将所述第二分光合光器单元的第四端部的第六光学接口与所述一组光电探测器中的第一光电探测器光学互连；所述多个光波导中的第五光波导被布置为将所述第二分光合光器单元的第四端部的第七光学接口与所述一组光电探测器中的第二光电探测器光学互连；所述多个光波导中的第六光波导被布置为将所述第二分光合光器单元的第四端部的第八光学接口与所述一组光电探测器中的第三光电探测器光学互连；并且其中所述光电系统包括：第一组至少三个电气连接元件，所述至少三个电气连接元件中的每一个被布置为将所述pic的光学测量单元的所述一组光电探测器中的相应光电探测器与控制单元电互连；和第二组电气连接元件，所述第二组电气连接元件中的每一个电气连接元件被布置为将所述控制单元和所述pic的基于半导体的可调谐激光光源电互连。

19、根据上述光电系统的实施例，与控制单元协作的光学测量单元可用于更快和更准确地锁定基于半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长。经由基于半导体的可调谐激光光源的背镜发射的光辐射由第一光波导引导至第一分光合光器单元。第一分光合光器单元被配置为将所接收到的光辐射分成第一部分和第二部分。所接收到的光辐射的第一部分由多个光波导中的第二光波导引导至第二分光合光器单元的第三端部的第四光学接口。所接收到的光辐射的第二部分由多个光波导中的第三光波导引导至第二分光合光器单元的第三端部的第五光学接口。由于第二光波导的第一光路长度l1不同于第三光波导的第二光路长度l2，所以所接收到的光辐射的第一部分在第二分光合光器单元的第三端部的第四光学接口处具有第一相位φ1，并且所接收到的光辐射的第二部分在第二分光合光器单元的第三端部的第五光学接口处具有第二相位φ2，其中第一相位φ1和第二相位φ2彼此不同。

20、第二分光合光器单元被配置为提供三个具有时变强度的光信号，这三个光学信号基于所接收到的光辐射的第一部分和第二部分。三个光信号中的第一光信号由多个光波导中的第四光波导从第二分光合光器单元的第四端部的第六光学接口引导至所述一组光电探测器中的第一光电探测器。三个光信号中的第二光信号由多个光波导中的第五光波导从第二分光合光器单元的第四端部的第七光学接口引导至所述一组光电探测器中的第三光电探测器，以及三个光信号中的第三光信号由多个光波导中的第六光波导从第二分光合光器单元的第四端部的第八光学接口引导至所述一组光电探测器中的第三光电探测器。

21、所述三个光电探测器中的每一个光电探测器被配置为提供代表所接收到的三个光信号中的相应光信号的电信号。三个电信号中的每一个经由第一组至少三个电气连接元件被提供给控制单元。控制单元被配置为基于所接收的三个电信号的时变强度来确定预定义工作波长的设定值和所确定的工作波长之间的波长偏移，并基于所确定的波长偏移来生成第一经调整的控制设置。如上所述，所确定的波长偏移将被解释为两个值之间的差。

22、所生成的第一经调整的控制设置经由第二组电气连接元件被提供给基于半导体的可调谐激光光源。所生成的第一经调整的控制设置使得至少能够减少所确定的波长偏移，从而使得能够锁定基于半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长，基于半导体的可调谐激光光源以所述预定义工作波长发射光辐射。通过这种方式，控制单元可用于调节基于半导体的可调谐激光光源，以保持恒定的工作波长。

23、在根据本公开的光电系统的实施例中，控制单元被配置为：接收第二输入，所述第二输入包括所述基于半导体的可调谐激光光源将要发射的光辐射的相对强度噪声的设定值；基于所接收到的第二输入生成第二控制设置；向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第二控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源能够发射所述相对强度噪声为所述设定值的光辐射；接收代表所述接收到的光辐射的所述至少一个信号；基于所述接收到的至少一个信号确定所述接收到的光辐射的相对强度噪声；确定所述相对强度噪声的所述设定值与所述确定的相对强度噪音之间的偏移；基于所述确定的偏移生成第二经调整的控制设置；以及向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第二经调整的控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源至少能够减少所述确定的偏移，从而能够发射预定义线宽的光辐射。

24、根据上述光电系统的实施例，控制单元使得所确定的相对强度噪声能够用作反馈信号，以控制基于半导体的可调谐激光光源发射预定义线宽的光辐射。本领域技术人员将理解，激光器的线宽将被解释为在波长、频率或波数方面发射电场的功率谱密度的宽度。如上所述，无论所发射的光辐射的线宽以何种方式测量和/或在何种条件下，例如，时间段、温度和/或湿度，本公开上下文中的预定义线宽将被解释为可被控制为在基于集成半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长处具有所需的、且因此具有预定义值的线宽。

25、应注意，相对强度噪声的所述设定值与所述确定的相对强度噪声之间的确定的偏移将被解释为两个值之间的差。

26、光电系统的上述实施例的优点在于，光学测量单元的部件不需要具有比基于半导体的可调谐激光光源的腔模式间隔高的带宽，以允许使用相对强度噪声作为反馈信号。光电系统的上述实施例的另一个优点是可以省略对线宽的直接测量，或对基于半导体的可调谐激光光源发射的光辐射的光谱的直接测量。光电系统的上述实施例的另一个优点是它提供了对基于半导体的激光光源发射的光辐射的线宽的快速和精确控制。

27、在根据本公开的光电系统的实施例中，pic的光学测量单元被配置为提供至少一个电信号，该电信号包括至少三个光电探测器中的一个光电探测器的时变输出电流，并且其中控制单元被配置为随时间对所述至少一个电信号进行采样，以获得所述至少一个电信号的一组单独的时间采样分量，将所述一组单独的时间采样分量转换为用于提供所述至少一个电信号的频率信息的一组单独的频谱分量，并基于所述频率信息确定所接收到的光辐射的相对强度噪声。根据上述光电系统的实施例，控制单元可以被配置为使用单个转换算法或使用多个转换算法来生成一组单独的频谱分量。

28、在根据本公开的光电系统的实施例中，控制单元被配置为涉及傅里叶变换以获得所述一组单独的频谱分量。根据上述光电系统的实施例，控制单元被配置为执行作为快速傅里叶变换(fft)的傅里叶变换可能是有利的。

29、在根据本公开的光电系统的实施例中，pic的光学测量单元的第一分光合光器单元和/或第二分光合光器单元是基于多模干涉、基于mmi的分光合光器单元。本领域技术人员将理解，基于mmi的第一分光合光器单元和基于mmi的第二分光器合并器单元可以被实现为任何合适的nxm mmi，其中n和m分别是表示光输入端口和光输出端口数量的自然数。关于第一分光合光器单元，本领域技术人员将理解，它可以有利地实现为1x2 mmi。然而，也可以设想其他选项，例如2x2 mmi。关于第二分光合光器单元，本领域技术人员将理解，它可以有利地实现为2x3 mmi。同样，也可以设想其他选项，例如3x3 mmi。

30、在根据本公开的光电系统的实施例中，pic的基于半导体的可调谐激光光源是基于inp的可调谐激光光源。特别是在光电系统应用于光学电信应用的情况下，如果基于inp的可调谐激光光源被配置为提供具有1300nm至1600nm范围内的光辐射，则是有利的。

31、在根据本公开的光电系统的实施例中，所述一组至少三个光电探测器中的至少一个光电探测器包括基于inp的光电二极管(pd)和/或基于inp半导体的光放大器(soa)。本领域技术人员将理解，基于inp的pd是电反向偏置的，以便检测入射光辐射，而基于inp的soa不需要电反向偏置。然而，如果需要，基于inp的soa可以是电反向偏置的。

32、在根据本公开的光电系统的实施例中，多个光波导中的至少一个光波导是基于inp的光波导。

33、在根据本公开的光电系统的实施例中，pic是混合pic或单片pic。应当理解，混合pic使得本公开的优点为既应用于硅光子学领域，也应用于iii-v光子学的领域。混合pic的优点在于，包括iii-v族半导体材料(例如基于inp的半导体材料)的功能光子块可以与包括iv族半导体材料(例如基于si的半导体材料)的功能光子模块一起使用在单个裸片上。根据本公开的pic的混合集成的另一个优点是，例如在其发生故障或失效的情况下，可以交换功能光子块。

34、例如但不排他地应用于光学电信应用、激光雷达或传感器应用领域的pic正变得越来越复杂，这至少是因为越来越多的功能光子块需要集成在单个裸片上，该裸片优选具有尽可能小的尺寸。本领域技术人员将理解，这种pic的最通用的技术平台，特别是用于上述应用领域的技术平台，使用由inp基半导体材料组成的晶圆。

35、基于inp的单片pic的优点在于，根据本公开的光电系统的有源部件(例如可调谐激光光源和光电探测器)和根据本公开的光电系统的无源部件(例如本公开的光电子系统的光波导)都可以集成在单个裸片的同一inp基半导体衬底上。因此，基于inp的单片pic的制造可以不那么复杂，因此比混合集成pic的组装的成本低，后者需要将有源和无源光电器件混合互连的组装步骤，每个有源和无源光电器件通常在不同的衬底上制造。此外，基于inp的单片pic可能允许pic具有比混合pic的总尺寸更小的总尺寸。

36、在根据本公开的光电系统的一个实施例中，光电系统是混合的单裸片光电系统或基于inp的单片光电系统。混合的单裸片光电系统或基于inp的单片光电系统的优点在于，根据本公开的光电系统的可调谐激光光源、光电探测器和控制单元等光子和电子的有源功能块，以及光子和电子的无源功能部件，如光波导和电气连接元件，都可以集成在单个裸片上。

37、混合的单裸片光电系统的优点在于，包括iii-v族半导体材料(例如基于inp半导体材料)的功能性光子和/或电子块可以与包括iv族半导体材料(例如基于si的半导体材料)的功能性光电子和/或电子块一起使用在单个裸片上。混合的单裸片光电系统的另一个优点是，例如在其故障或故障的情况下，可以交换功能性光子和/或电子块。

38、基于inp的单片光电系统的优点在于，它的制造可以不那么复杂，因此可以比混合的单裸片光电子系统的组装成本低，后者需要将有源和无源光电器件混合互连的组装步骤。此外，基于inp的单片光电系统可能允许光电系统具有比混合单芯片光电系统的总尺寸更小的总尺寸。

39、根据本公开的另一个方面，提供了一种根据本公开的光电系统的基于集成半导体的可调谐激光光源的改进调谐方法，其中该光电系统包括控制单元，该控制单元被配置成接收第一输入，所述第一输入包括所述基于半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长的设定值，所述基于半导体的可调谐激光光源以所述预定义工作波长发射光辐射，其中所述方法包括：操作所述控制单元以基于所接收到的第一输入生成第一控制设置；操作所述控制单元以向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第一控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源能够以所述预定义工作波长发射光辐射；操作所述光学测量单元以向所述控制单元提供代表所述接收到的光学辐射的所述至少一个信号；操作所述控制单元以基于所述接收到的至少一个信号来确定所述接收到的光辐射的工作波长；操作所述控制单元以确定所述预定义工作波长的所述设定值与所述确定的工作波长之间的波长偏移；操作所述控制单元以基于所述确定的波长偏移生成第一经调整的控制设置；以及操作所述控制单元以向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第一经调整的控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源至少能够减少所述确定的波长偏移，从而能够锁定所述基于半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长。

40、与本领域已知的使用外部光学测量设备实现上述基于集成半导体的可调谐激光光源预定义工作波长锁定的解决方案相比，根据本公开的方法的上述限定实施例为锁定光电系统pic的基于集成半导体的可调谐激光光源的预定义工作波长提供了一个更快的解决方案。本领域中已知的用于实现基于集成半导体的可调谐激光光源的波长锁定的方法需要对外部光学测量设备和基于集成半导体的可调谐激光光源进行精确的光学对准，涉及到光纤对pic对准技术。因此，已知的方法相当繁琐，且比根据本公开的方法慢，根据本公开的方法由于不再需要上述繁琐的光纤对pic对准技术，所以可以避免这些缺点。至少由于根据本公开方法的上述实施例提供的更快的波长锁定，光电系统的pic的基于集成半导体的可调谐激光光源的初始化、校准和模式映射中的至少一项可以比本领域已知的使用外部测量设备的方法更快并因此花费的成本更低。此外，根据本公开的方法使得能够对光电系统的pic的基于集成半导体的可调谐激光光源进行片上模式映射。

41、在根据本公开的方法的实施例中，控制单元被配置为：接收第二输入，所述第二输入包括基于半导体的可调谐激光光源将要发射的光辐射的相对强度噪声的设定值；其中所述方法包括操作所述控制单元以基于所接收到的第二输入生成第二控制设置；操作所述控制单元以向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第二控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源能够发射所述相对强度噪声为所述设定值的光辐射；操作所述光学测量单元以向所述控制单元提供代表所述接收到的光辐射的所述至少一个信号；操作所述控制单元以基于所述接收到的至少一个信号确定所述接收到的光辐射的相对强度噪声；操作所述控制单元以确定所述相对强度噪声的所述设定值与所述确定的相对强度噪音之间的偏移；操作所述控制单元以基于所述确定的偏移生成第二经调整的控制设置；以及操作所述控制单元以向所述基于半导体的可调谐激光光源提供所生成的第二经调整的控制设置，以使所述基于半导体的可调谐激光光源至少能够减少所述确定的偏移，从而能够控制发射预定义线宽的光辐射。

42、根据上述方法的实施例，控制单元使得所确定的相对强度噪声能够用作反馈信号，以控制基于半导体的可调谐激光光源发射预定义线宽的光辐射。